12月31日消息,国家知识产权局信息显示,西安奕斯伟材料科技股份有限公司、西安欣芯材料科技有限公司申请一项名为“硅片边缘抛光设备及方法、控制装置”的专利。申请公布号为CN121223677A,申请号为CN202511711516.1,申请公布日期为2025年12月30日,申请日期为2025年11月20日,发明人默玉海,专利代理机构北京银龙知识产权代理有限公司,专利代理师赵亮,分类号B24B37/02、B24B37/34、B24B37/27、B24B37/005、B24B29/04、B24B9/06、B24B1/00、B24B51/00。
专利摘要显示,本发明提供一种硅片边缘抛光设备及方法、控制装置,硅片边缘抛光设备包括:承载台;可转动件,相对承载台周向转动;多个抛光机构,抛光机构包括连杆、抛光垫、配重件及连杆调节结构,连杆的第一端连接配重件,连杆的第二端连接抛光垫,连杆的中部枢接可转动件;连杆调节结构用于调节连杆的工作参数,连杆的工作参数至少包括连杆的转动角度。本公开可改善边缘抛光效果。
西安奕材成立于2016年3月16日,于2025年10月28日在上海证券交易所上市,注册地和办公地均为陕西省西安市。该公司专注12英寸硅片领域,技术实力强,在半导体材料行业颇具竞争力。
西安奕材主营业务为12英寸硅片的研发、生产和销售,所属申万行业为电子 - 半导体 - 半导体材料,概念板块涵盖近端次新、次新股、存储概念。
2025年三季度,西安奕材实现营业收入19.33亿元,在行业25家公司中排名第6,高于行业平均数14.97亿元和中位数8.27亿元,但与第一名有研新材的67.7亿元、第二名雅克科技的64.67亿元仍有差距。净利润方面,当期亏损5.58亿元,行业排名24/25,远低于行业平均数6112.16万元和中位数7390.27万元,第一名雅克科技净利润达8.64亿元,第二名江丰电子为3.61亿元。
西安奕斯伟材料科技股份有限公司近期专利情况如下:
| 序号 | 专利名称 | 专利类型 | 法律状态 | 申请号 | 申请日期 | 公开(公告)号 | 公开(公告)日期 | 发明人 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 1 | 硅片边缘抛光设备及方法、控制装置 | 发明专利 | 公布 | CN202511711516.1 | 2025-11-20 | CN121223677A | 2025-12-30 | 默玉海 |
| 2 | 改善抛光垫平坦度的方法、双面抛光设备 | 发明专利 | 公布 | CN202511602298.8 | 2025-11-04 | CN121132500A | 2025-12-16 | 杨轩、柴朝军、马驰、王俊夫、邢东 |
| 3 | 研磨盘的平坦度测量装置及研磨盘的平坦度测量方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202511479663.0 | 2025-10-16 | CN121083517A | 2025-12-09 | 樊明溪、孙介楠、李龙、张鑫 |
| 4 | 一种抛光垫清洗设备及方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202511422964.X | 2025-09-30 | CN121082581A | 2025-12-09 | 李凡 |
| 5 | 砂轮修整设备、砂轮修整方法、装置、设备、产品及介质 | 发明专利 | 公布 | CN202511418705.X | 2025-09-30 | CN121104902A | 2025-12-12 | 朱海海 |
| 6 | 一种晶圆检测方法及装置 | 发明专利 | 公布 | CN202511296601.6 | 2025-09-11 | CN121123050A | 2025-12-12 | 蒙亮亮、王雷、王奔、赵李鑫、万珣 |
| 7 | 硅片边缘刻蚀装置和硅片边缘刻蚀方法 | 发明专利 | 公布 | CN202511297217.8 | 2025-09-11 | CN121149050A | 2025-12-16 | 贾帅、王力 |
| 8 | 一种晶圆检测结果可信度的确定方法及装置 | 发明专利 | 公布 | CN202511296784.1 | 2025-09-11 | CN121167181A | 2025-12-19 | 李安杰、兰洵、田雨欣、邹永鑫、张婉婉 |
| 9 | 晶圆边缘轮廓的量测方法及装置 | 发明专利 | 公布 | CN202511294502.4 | 2025-09-11 | CN121190413A | 2025-12-23 | 李彤、袁力军、霍延伟、兰洵 |
| 10 | 一种硅片制程部署方法及装置 | 发明专利 | 公布 | CN202511271660.8 | 2025-09-08 | CN121123048A | 2025-12-12 | 吴志刚、齐凌博 |
| 11 | 外延反应腔室恢复方法和外延生长装置 | 发明专利 | 公布 | CN202511274241.X | 2025-09-08 | CN121137798A | 2025-12-16 | 韩喜盈、张海博、金柱炫、孙毅、刘凯 |
| 12 | 一种虚拟量测方法及装置 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202511212931.2 | 2025-08-28 | CN121092862A | 2025-12-09 | 李安杰、田雨欣、邹永鑫、张婉婉、兰洵 |
| 13 | 一种拦截策略确定方法及装置 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202511189436.4 | 2025-08-25 | CN121051383A | 2025-12-02 | 马强强、万珣 |
| 14 | 硅片中体金属的去除方法及装置 | 发明专利 | 公布 | CN202511110372.4 | 2025-08-08 | CN120954971A | 2025-11-14 | 齐凌博 |
| 15 | 控制硅片中体金属的扩散方法及装置 | 发明专利 | 公布 | CN202511110415.9 | 2025-08-08 | CN120954972A | 2025-11-14 | 何刚、齐凌博 |
| 16 | 一种晶圆的清洗干燥方法及装置 | 发明专利 | 公布 | CN202511106481.9 | 2025-08-08 | CN120954964A | 2025-11-14 | 夏新超、张树星、陈海龙 |
| 17 | 一种标签检测方法、装置、设备及计算机存储介质 | 发明专利 | 公布 | CN202511111982.6 | 2025-08-08 | CN121190956A | 2025-12-23 | 叶森、冯智、郭盾、赵栋、郝胤祚 |
| 18 | 晶圆的处理方法及装置、电子设备 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202511102765.0 | 2025-08-07 | CN120854308A | 2025-10-28 | 杨震、王雷、王琳 |
| 19 | 一种晶圆缺陷的工艺段确定方法及装置 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202511095534.1 | 2025-08-06 | CN120933183A | 2025-11-11 | 贾聪、王雷、赵李鑫、万珣、丁泉泉 |
| 20 | 晶圆的检测装置及晶圆的检测方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202511096636.5 | 2025-08-06 | CN120933184A | 2025-11-11 | 苏旭文、戎淇舰、吕天爽、蒙亮亮 |
| 21 | 晶圆表面钝化方法、晶圆寿命测试方法 | 发明专利 | 公布 | CN202511095839.2 | 2025-08-06 | CN121149007A | 2025-12-16 | 杨雪莹 |
| 22 | 用于晶圆收纳盒的净化装置及晶圆收纳盒组件 | 发明专利 | 公布 | CN202511092282.7 | 2025-08-05 | CN121130583A | 2025-12-16 | 赵栋、叶森、郝胤祚、冯智 |
| 23 | 一种晶圆的制造方法及设备 | 发明专利 | 公布 | CN202511025878.5 | 2025-07-24 | CN120977870A | 2025-11-18 | 吴志刚 |
| 24 | 硅片机械性能的评估方法及装置 | 发明专利 | 公布 | CN202510984192.2 | 2025-07-17 | CN120761184A | 2025-10-10 | 袁力军、邹亚辉、衡鹏、尚荔阳 |
| 25 | 重掺单晶棒及其制备方法、重掺外延硅片及其制备方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202510986892.5 | 2025-07-17 | CN120797179A | 2025-10-17 | 霍慧文、刘倩、王晨阳 |
| 26 | 一种晶圆及其制造方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202510988379.X | 2025-07-17 | CN121054569A | 2025-12-02 | 薛浩波、张婉婉、衡鹏、邹亚辉 |
| 27 | 用于监测电阻率测试设备的稳定性的方法及系统 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202510987534.6 | 2025-07-17 | CN121049819A | 2025-12-02 | 何斌斌、俎世琦 |
| 28 | 一种抛光头及抛光设备 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202510968213.1 | 2025-07-14 | CN120620064A | 2025-09-12 | 吕绍沈、王明、贺云鹏 |
| 29 | 一种销环组件、双面抛光设备 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202510966103.1 | 2025-07-14 | CN120620063A | 2025-09-12 | 陈祖庆 |
| 30 | 硅片的厚度测量方法及装置 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202510964157.4 | 2025-07-14 | CN120740458A | 2025-10-03 | 蒙亮亮、王雷、苏旭文、贾聪、唐贝 |
| 31 | 一种硅片处理方法、装置、处理设备、程序产品及介质 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202510965838.2 | 2025-07-14 | CN120895461A | 2025-11-04 | 郭宏雁、陈光林、周伟、张立易、周国庆 |
| 32 | 单晶硅棒的制造方法、硅晶圆及其制造方法以及拉晶炉 | 发明专利 | 公布 | CN202510968033.3 | 2025-07-14 | CN120989701A | 2025-11-21 | 车宇航、兰洵、王文娟 |
| 33 | 一种半导体结构以及制备半导体结构的方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202510968093.5 | 2025-07-14 | CN121013402A | 2025-11-25 | 张博、兰洵、车宇航、王文娟、杨博康 |
| 34 | 一种硅片表面金属采集装置及方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202510934798.5 | 2025-07-08 | CN120800951A | 2025-10-17 | 段应娇 |
| 35 | 双面研磨装置和双面研磨方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202510863147.1 | 2025-06-25 | CN120461314A | 2025-08-12 | 郭宏雁、王俊夫 |
| 36 | 吊渣装置及晶体生长设备、单晶炉渣料去除方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202510863056.8 | 2025-06-25 | CN120649139A | 2025-09-16 | 冀泓宜 |
| 37 | 晶体生长方法、晶圆制作方法和晶体生长控制装置 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202510858615.6 | 2025-06-25 | CN120649138A | 2025-09-16 | 刘倩、霍慧文、王晨阳 |
| 38 | 晶圆干燥装置及方法、控制装置 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202510863016.3 | 2025-06-25 | CN120690723A | 2025-09-23 | 贾晓东 |
| 39 | 阻尼手指的调整方法及装置、晶圆平坦度检测装置及方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202510863146.7 | 2025-06-25 | CN120701698A | 2025-09-26 | 李宇卓 |
| 40 | 晶圆检测设备及晶圆检测方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202510863105.8 | 2025-06-25 | CN120895487A | 2025-11-04 | 郭宏雁、杨轩、胡文龙、王俊夫、马驰 |
| 41 | 硅片评价方法、制造方法、装置、存储介质及电子设备 | 发明专利 | 公布 | CN202510863018.2 | 2025-06-25 | CN120970526A | 2025-11-18 | 袁力军、兰洵、张婉婉、薛浩波 |
| 42 | 一种硅片边缘应力指标确定方法及装置 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202510848864.7 | 2025-06-24 | CN120690705A | 2025-09-23 | 苏博文、齐凌博 |
| 43 | 硅片运输装置及硅片运输方法、存储介质 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202510849509.1 | 2025-06-24 | CN120709210A | 2025-09-26 | 卢龙龙 |
| 44 | 物料搬运控制方法和物料搬运系统 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202510849275.0 | 2025-06-24 | CN120709209A | 2025-09-26 | 王允斌、陈建勇、任瑞明、张钊、何江博 |
| 45 | 一种导电切割线的状态检测方法及装置 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202510851822.9 | 2025-06-24 | CN120870242A | 2025-10-31 | 李昊、刘永亮、胡斌 |
| 46 | 承载装置及晶圆清洗设备 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202510851918.5 | 2025-06-24 | CN120895524A | 2025-11-04 | 郭宏雁、贾晓东、郭盾、叶森 |
| 47 | 用于晶圆的清洗方法以及晶圆 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202510852496.3 | 2025-06-24 | CN120895459A | 2025-11-04 | 郭宏雁、崔源进、左斌、张树星、夏新超 |
| 48 | 一种晶圆缺陷检测方法、装置及介质 | 发明专利 | 公布 | CN202510843172.3 | 2025-06-23 | CN120765556A | 2025-10-10 | 郭宏雁、付子成 |
| 49 | 用于晶棒内铁污染的评估方法 | 发明专利 | 公布 | CN202510835787.1 | 2025-06-20 | CN120779194A | 2025-10-14 | 冯举、齐凌博 |
| 50 | 一种药液供给装置 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202510822975.0 | 2025-06-19 | CN120480811A | 2025-08-15 | 张鹏奎 |
天眼查数据显示,西安欣芯材料科技有限公司成立日期2022年8月3日,法定代表人杨新元,所属行业为计算机、通信和其他电子设备制造业,企业规模为中型,注册资本504400万人民币,实缴资本355000万人民币,注册地址为陕西省西安市高新区西沣南路1888号1号办公楼1-1-046室。西安欣芯材料科技有限公司共对外投资了1家企业,参与招投标项目163次,财产线索方面有商标信息0条,专利信息149条,拥有行政许可23个。
西安欣芯材料科技有限公司近期专利情况如下:
| 序号 | 专利名称 | 专利类型 | 法律状态 | 申请号 | 申请日期 | 公开(公告)号 | 公开(公告)日期 | 发明人 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 1 | 硅片边缘抛光设备及方法、控制装置 | 发明专利 | 公布 | CN202511711516.1 | 2025-11-20 | CN121223677A | 2025-12-30 | 默玉海 |
| 2 | 一种抛光垫清洗设备及方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202511422964.X | 2025-09-30 | CN121082581A | 2025-12-09 | 李凡 |
| 3 | 一种晶圆检测方法及装置 | 发明专利 | 公布 | CN202511296601.6 | 2025-09-11 | CN121123050A | 2025-12-12 | 蒙亮亮、王雷、王奔、赵李鑫、万珣 |
| 4 | 一种晶圆的清洗干燥方法及装置 | 发明专利 | 公布 | CN202511106481.9 | 2025-08-08 | CN120954964A | 2025-11-14 | 夏新超、张树星、陈海龙 |
| 5 | 一种晶圆缺陷的工艺段确定方法及装置 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202511095534.1 | 2025-08-06 | CN120933183A | 2025-11-11 | 贾聪、王雷、赵李鑫、万珣、丁泉泉 |
| 6 | 晶圆的检测装置及晶圆的检测方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202511096636.5 | 2025-08-06 | CN120933184A | 2025-11-11 | 苏旭文、戎淇舰、吕天爽、蒙亮亮 |
| 7 | 一种销环组件、双面抛光设备 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202510966103.1 | 2025-07-14 | CN120620063A | 2025-09-12 | 陈祖庆 |
| 8 | 硅片的厚度测量方法及装置 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202510964157.4 | 2025-07-14 | CN120740458A | 2025-10-03 | 蒙亮亮、王雷、苏旭文、贾聪、唐贝 |
| 9 | 吊渣装置及晶体生长设备、单晶炉渣料去除方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202510863056.8 | 2025-06-25 | CN120649139A | 2025-09-16 | 冀泓宜 |
| 10 | 用于晶圆的清洗方法以及晶圆 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202510852496.3 | 2025-06-24 | CN120895459A | 2025-11-04 | 郭宏雁、崔源进、左斌、张树星、夏新超 |
| 11 | 一种晶圆清洗方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202510777036.9 | 2025-06-11 | CN120878538A | 2025-10-31 | 夏新超、李燦朝、张树星、陈海龙、左斌 |
| 12 | 一种晶圆缺陷检测方法、装置、设备及可读存储介质 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202510734809.5 | 2025-06-04 | CN120635018A | 2025-09-12 | 万珣、马强强 |
| 13 | 二次加料定位装置及单晶炉、二次加料方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202510690564.0 | 2025-05-27 | CN120443327A | 2025-08-08 | 郑永远 |
| 14 | 一种晶圆缺口定位装置 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202510669615.1 | 2025-05-23 | CN120545237A | 2025-08-26 | 刘文文 |
| 15 | 一种晶圆清洗方法及装置 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202510672784.0 | 2025-05-23 | CN120809603A | 2025-10-17 | 夏新超、陈海龙、张树星 |
| 16 | 用于边缘刻蚀装置的处理方法以及边缘刻蚀方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202510627483.6 | 2025-05-15 | CN120727555A | 2025-09-30 | 杨海龙 |
| 17 | 晶圆缺陷检测方法、装置、设备、存储介质及程序产品 | 发明专利 | 公布 | CN202510504732.2 | 2025-04-22 | CN120300019A | 2025-07-11 | 万珣、苗小明、蒙亮亮 |
| 18 | 一种晶圆夹持器件的处理方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202510499125.1 | 2025-04-21 | CN120581461A | 2025-09-02 | 吕天爽 |
| 19 | 硅片测量装置及其工作方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202510399227.6 | 2025-04-01 | CN120252586A | 2025-07-04 | 万珣、蒙亮亮、王雷 |
| 20 | 晶圆缺陷检测方法和装置 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202510391095.2 | 2025-03-31 | CN120261327A | 2025-07-04 | 苗小明、万珣 |
| 21 | 一种下料机械臂及研磨设备、研磨方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202510379561.5 | 2025-03-28 | CN120116135A | 2025-06-10 | 王辉、孙建科 |
| 22 | 晶圆缺陷检测方法、装置和设备 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202510380745.3 | 2025-03-28 | CN120237034A | 2025-07-01 | 万珣、马强强、史进 |
| 23 | 一种晶圆厚度检测设备 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202510379026.X | 2025-03-28 | CN120232334A | 2025-07-01 | 曹智 |
| 24 | 晶圆缺陷检测方法、装置和设备 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202510379720.1 | 2025-03-28 | CN120237033A | 2025-07-01 | 万珣、王雷 |
| 25 | 缺陷检测设备的优化方法、装置、设备、程序产品及介质 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202510364342.X | 2025-03-26 | CN120221428A | 2025-06-27 | 贾聪、仝临杰、万珣 |
| 26 | 晶圆缺陷检测方法、装置和设备 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202510363868.6 | 2025-03-26 | CN120213958A | 2025-06-27 | 万珣 |
| 27 | 硅片测量装置及其工作方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202510354676.9 | 2025-03-25 | CN120212916A | 2025-06-27 | 蒙亮亮、王雷 |
| 28 | 一种晶圆的导电类型检测设备和打标设备 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202510351503.1 | 2025-03-24 | CN120334699A | 2025-07-18 | 李亮亮、孙晓寅、吴磊 |
| 29 | 一种用于调整晶向的装置、方法及多线切割设备 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202510335093.1 | 2025-03-20 | CN120116344A | 2025-06-10 | 吴磊 |
| 30 | 一种用于多线切割晶棒的设备 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202510334349.7 | 2025-03-20 | CN120116343A | 2025-06-10 | 吴磊 |
| 31 | 基座支撑装置及外延生长设备 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202510219890.3 | 2025-02-26 | CN120158811A | 2025-06-17 | 李尧岗、贾帅 |
| 32 | 用于外延晶圆的清洗方法以及外延晶圆 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202510219597.7 | 2025-02-26 | CN120221391A | 2025-06-27 | 左斌、张树星、夏新超 |
| 33 | 用于晶圆的清洗方法以及晶圆 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202510219577.X | 2025-02-26 | CN120221390A | 2025-06-27 | 夏新超、张树星、左斌 |
| 34 | 一种加工检测方法、装置、设备及计算机存储介质 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202510217561.5 | 2025-02-26 | CN120221426A | 2025-06-27 | 任可 |
| 35 | 一种清洗载具的处理方法以及晶圆 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202510212270.7 | 2025-02-25 | CN120243531A | 2025-07-04 | 张树星、夏新超、左斌 |
| 36 | 一种单晶炉泄漏检测装置及方法 | 发明专利 | 授权、实质审查的生效、公布 | CN202411922137.2 | 2024-12-25 | CN119714690A | 2025-03-28 | 任龙飞 |
| 37 | 排气结构、单晶炉和晶体生长方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202411912030.X | 2024-12-24 | CN119685927A | 2025-03-25 | 雷海洋 |
| 38 | 一种检测石英坩埚的方法和装置 | 发明专利 | 授权 | CN202411917463.4 | 2024-12-24 | CN119901677B | 2025-12-09 | 陈凡 |
| 39 | 一种用于确定晶棒等径部分的装置和方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202411894544.7 | 2024-12-20 | CN119567099A | 2025-03-07 | 房大伟 |
| 40 | 一种加料装置以及加料方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202411894438.9 | 2024-12-20 | CN119929472A | 2025-05-06 | 陈凡、孙洪涛 |
| 41 | 硅片边缘研磨方法和装置 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202411869137.0 | 2024-12-18 | CN119550153A | 2025-03-04 | 刘成隆、王诚 |
| 42 | 一种晶棒加工装置、晶棒加工方法及设备 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202411858471.6 | 2024-12-17 | CN119526232A | 2025-02-28 | 刘文文 |
| 43 | 单晶炉、单晶炉熔体间隙测量方法及单晶炉漏硅检测方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202411859585.2 | 2024-12-17 | CN119553355A | 2025-03-04 | 赵亮、杨松 |
| 44 | 晶棒支撑结构和晶棒支撑平整度的调节方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、实质审查的生效、公布 | CN202411837471.8 | 2024-12-13 | CN119407981A | 2025-02-11 | 王晋飞 |
| 45 | 用于扫描硅片的扫描电子显微镜的故障诊断方法和装置 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202411837012.X | 2024-12-13 | CN119672712A | 2025-03-21 | 万珣、贾聪、宁沛娜 |
| 46 | 一种对中校准装置 | 实用新型 | 授权 | CN202423090158.0 | 2024-12-13 | CN223522724U | 2025-11-07 | 刘超 |
| 47 | 一种湿法刻蚀用容器及湿法刻蚀系统 | 实用新型 | 授权 | CN202423081869.1 | 2024-12-13 | CN223566588U | 2025-11-18 | 孙晓寅 |
| 48 | 晶圆承载结构和晶圆处理装置 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202411831988.6 | 2024-12-12 | CN119369294A | 2025-01-28 | 习恒 |
| 49 | 晶圆的缺陷检测方法及装置 | 发明专利 | 实质审查的生效、实质审查的生效、公布 | CN202411828926.X | 2024-12-12 | CN119515870A | 2025-02-25 | 万珣、王雷、丁泉泉 |
| 50 | 晶圆的缺陷检测方法及装置 | 发明专利 | 授权、公布 | CN202411828384.6 | 2024-12-12 | CN119764201B | 2025-10-31 | 万珣 |
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