奕斯伟材料、欣芯材料申请硅片抛光设备相关专利,硅片边缘抛光设备改善边缘抛光效果
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2026-01-09 01:29:31
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12月31日消息,国家知识产权局信息显示,西安奕斯伟材料科技股份有限公司、西安欣芯材料科技有限公司申请一项名为“硅片边缘抛光设备及方法、控制装置”的专利。申请公布号为CN121223677A,申请号为CN202511711516.1,申请公布日期为2025年12月30日,申请日期为2025年11月20日,发明人默玉海,专利代理机构北京银龙知识产权代理有限公司,专利代理师赵亮,分类号B24B37/02、B24B37/34、B24B37/27、B24B37/005、B24B29/04、B24B9/06、B24B1/00、B24B51/00。

专利摘要显示,本发明提供一种硅片边缘抛光设备及方法、控制装置,硅片边缘抛光设备包括:承载台;可转动件,相对承载台周向转动;多个抛光机构,抛光机构包括连杆、抛光垫、配重件及连杆调节结构,连杆的第一端连接配重件,连杆的第二端连接抛光垫,连杆的中部枢接可转动件;连杆调节结构用于调节连杆的工作参数,连杆的工作参数至少包括连杆的转动角度。本公开可改善边缘抛光效果。

西安奕材成立于2016年3月16日,于2025年10月28日在上海证券交易所上市,注册地和办公地均为陕西省西安市。该公司专注12英寸硅片领域,技术实力强,在半导体材料行业颇具竞争力。

西安奕材主营业务为12英寸硅片的研发、生产和销售,所属申万行业为电子 - 半导体 - 半导体材料,概念板块涵盖近端次新、次新股、存储概念。

2025年三季度,西安奕材实现营业收入19.33亿元,在行业25家公司中排名第6,高于行业平均数14.97亿元和中位数8.27亿元,但与第一名有研新材的67.7亿元、第二名雅克科技的64.67亿元仍有差距。净利润方面,当期亏损5.58亿元,行业排名24/25,远低于行业平均数6112.16万元和中位数7390.27万元,第一名雅克科技净利润达8.64亿元,第二名江丰电子为3.61亿元。

西安奕斯伟材料科技股份有限公司近期专利情况如下:

序号专利名称专利类型法律状态申请号申请日期公开(公告)号公开(公告)日期发明人
1硅片边缘抛光设备及方法、控制装置发明专利公布CN202511711516.12025-11-20CN121223677A2025-12-30默玉海
2改善抛光垫平坦度的方法、双面抛光设备发明专利公布CN202511602298.82025-11-04CN121132500A2025-12-16杨轩、柴朝军、马驰、王俊夫、邢东
3研磨盘的平坦度测量装置及研磨盘的平坦度测量方法发明专利实质审查的生效、公布CN202511479663.02025-10-16CN121083517A2025-12-09樊明溪、孙介楠、李龙、张鑫
4一种抛光垫清洗设备及方法发明专利实质审查的生效、公布CN202511422964.X2025-09-30CN121082581A2025-12-09李凡
5砂轮修整设备、砂轮修整方法、装置、设备、产品及介质发明专利公布CN202511418705.X2025-09-30CN121104902A2025-12-12朱海海
6一种晶圆检测方法及装置发明专利公布CN202511296601.62025-09-11CN121123050A2025-12-12蒙亮亮、王雷、王奔、赵李鑫、万珣
7硅片边缘刻蚀装置和硅片边缘刻蚀方法发明专利公布CN202511297217.82025-09-11CN121149050A2025-12-16贾帅、王力
8一种晶圆检测结果可信度的确定方法及装置发明专利公布CN202511296784.12025-09-11CN121167181A2025-12-19李安杰、兰洵、田雨欣、邹永鑫、张婉婉
9晶圆边缘轮廓的量测方法及装置发明专利公布CN202511294502.42025-09-11CN121190413A2025-12-23李彤、袁力军、霍延伟、兰洵
10一种硅片制程部署方法及装置发明专利公布CN202511271660.82025-09-08CN121123048A2025-12-12吴志刚、齐凌博
11外延反应腔室恢复方法和外延生长装置发明专利公布CN202511274241.X2025-09-08CN121137798A2025-12-16韩喜盈、张海博、金柱炫、孙毅、刘凯
12一种虚拟量测方法及装置发明专利实质审查的生效、公布CN202511212931.22025-08-28CN121092862A2025-12-09李安杰、田雨欣、邹永鑫、张婉婉、兰洵
13一种拦截策略确定方法及装置发明专利实质审查的生效、公布CN202511189436.42025-08-25CN121051383A2025-12-02马强强、万珣
14硅片中体金属的去除方法及装置发明专利公布CN202511110372.42025-08-08CN120954971A2025-11-14齐凌博
15控制硅片中体金属的扩散方法及装置发明专利公布CN202511110415.92025-08-08CN120954972A2025-11-14何刚、齐凌博
16一种晶圆的清洗干燥方法及装置发明专利公布CN202511106481.92025-08-08CN120954964A2025-11-14夏新超、张树星、陈海龙
17一种标签检测方法、装置、设备及计算机存储介质发明专利公布CN202511111982.62025-08-08CN121190956A2025-12-23叶森、冯智、郭盾、赵栋、郝胤祚
18晶圆的处理方法及装置、电子设备发明专利实质审查的生效、公布CN202511102765.02025-08-07CN120854308A2025-10-28杨震、王雷、王琳
19一种晶圆缺陷的工艺段确定方法及装置发明专利实质审查的生效、公布CN202511095534.12025-08-06CN120933183A2025-11-11贾聪、王雷、赵李鑫、万珣、丁泉泉
20晶圆的检测装置及晶圆的检测方法发明专利实质审查的生效、公布CN202511096636.52025-08-06CN120933184A2025-11-11苏旭文、戎淇舰、吕天爽、蒙亮亮
21晶圆表面钝化方法、晶圆寿命测试方法发明专利公布CN202511095839.22025-08-06CN121149007A2025-12-16杨雪莹
22用于晶圆收纳盒的净化装置及晶圆收纳盒组件发明专利公布CN202511092282.72025-08-05CN121130583A2025-12-16赵栋、叶森、郝胤祚、冯智
23一种晶圆的制造方法及设备发明专利公布CN202511025878.52025-07-24CN120977870A2025-11-18吴志刚
24硅片机械性能的评估方法及装置发明专利公布CN202510984192.22025-07-17CN120761184A2025-10-10袁力军、邹亚辉、衡鹏、尚荔阳
25重掺单晶棒及其制备方法、重掺外延硅片及其制备方法发明专利实质审查的生效、公布CN202510986892.52025-07-17CN120797179A2025-10-17霍慧文、刘倩、王晨阳
26一种晶圆及其制造方法发明专利实质审查的生效、公布CN202510988379.X2025-07-17CN121054569A2025-12-02薛浩波、张婉婉、衡鹏、邹亚辉
27用于监测电阻率测试设备的稳定性的方法及系统发明专利实质审查的生效、公布CN202510987534.62025-07-17CN121049819A2025-12-02何斌斌、俎世琦
28一种抛光头及抛光设备发明专利实质审查的生效、公布CN202510968213.12025-07-14CN120620064A2025-09-12吕绍沈、王明、贺云鹏
29一种销环组件、双面抛光设备发明专利实质审查的生效、公布CN202510966103.12025-07-14CN120620063A2025-09-12陈祖庆
30硅片的厚度测量方法及装置发明专利实质审查的生效、公布CN202510964157.42025-07-14CN120740458A2025-10-03蒙亮亮、王雷、苏旭文、贾聪、唐贝
31一种硅片处理方法、装置、处理设备、程序产品及介质发明专利实质审查的生效、公布CN202510965838.22025-07-14CN120895461A2025-11-04郭宏雁、陈光林、周伟、张立易、周国庆
32单晶硅棒的制造方法、硅晶圆及其制造方法以及拉晶炉发明专利公布CN202510968033.32025-07-14CN120989701A2025-11-21车宇航、兰洵、王文娟
33一种半导体结构以及制备半导体结构的方法发明专利实质审查的生效、公布CN202510968093.52025-07-14CN121013402A2025-11-25张博、兰洵、车宇航、王文娟、杨博康
34一种硅片表面金属采集装置及方法发明专利实质审查的生效、公布CN202510934798.52025-07-08CN120800951A2025-10-17段应娇
35双面研磨装置和双面研磨方法发明专利实质审查的生效、公布CN202510863147.12025-06-25CN120461314A2025-08-12郭宏雁、王俊夫
36吊渣装置及晶体生长设备、单晶炉渣料去除方法发明专利实质审查的生效、公布CN202510863056.82025-06-25CN120649139A2025-09-16冀泓宜
37晶体生长方法、晶圆制作方法和晶体生长控制装置发明专利实质审查的生效、公布CN202510858615.62025-06-25CN120649138A2025-09-16刘倩、霍慧文、王晨阳
38晶圆干燥装置及方法、控制装置发明专利实质审查的生效、公布CN202510863016.32025-06-25CN120690723A2025-09-23贾晓东
39阻尼手指的调整方法及装置、晶圆平坦度检测装置及方法发明专利实质审查的生效、公布CN202510863146.72025-06-25CN120701698A2025-09-26李宇卓
40晶圆检测设备及晶圆检测方法发明专利实质审查的生效、公布CN202510863105.82025-06-25CN120895487A2025-11-04郭宏雁、杨轩、胡文龙、王俊夫、马驰
41硅片评价方法、制造方法、装置、存储介质及电子设备发明专利公布CN202510863018.22025-06-25CN120970526A2025-11-18袁力军、兰洵、张婉婉、薛浩波
42一种硅片边缘应力指标确定方法及装置发明专利实质审查的生效、公布CN202510848864.72025-06-24CN120690705A2025-09-23苏博文、齐凌博
43硅片运输装置及硅片运输方法、存储介质发明专利实质审查的生效、公布CN202510849509.12025-06-24CN120709210A2025-09-26卢龙龙
44物料搬运控制方法和物料搬运系统发明专利实质审查的生效、公布CN202510849275.02025-06-24CN120709209A2025-09-26王允斌、陈建勇、任瑞明、张钊、何江博
45一种导电切割线的状态检测方法及装置发明专利实质审查的生效、公布CN202510851822.92025-06-24CN120870242A2025-10-31李昊、刘永亮、胡斌
46承载装置及晶圆清洗设备发明专利实质审查的生效、公布CN202510851918.52025-06-24CN120895524A2025-11-04郭宏雁、贾晓东、郭盾、叶森
47用于晶圆的清洗方法以及晶圆发明专利实质审查的生效、公布CN202510852496.32025-06-24CN120895459A2025-11-04郭宏雁、崔源进、左斌、张树星、夏新超
48一种晶圆缺陷检测方法、装置及介质发明专利公布CN202510843172.32025-06-23CN120765556A2025-10-10郭宏雁、付子成
49用于晶棒内铁污染的评估方法发明专利公布CN202510835787.12025-06-20CN120779194A2025-10-14冯举、齐凌博
50一种药液供给装置发明专利实质审查的生效、公布CN202510822975.02025-06-19CN120480811A2025-08-15张鹏奎

天眼查数据显示,西安欣芯材料科技有限公司成立日期2022年8月3日,法定代表人杨新元,所属行业为计算机、通信和其他电子设备制造业,企业规模为中型,注册资本504400万人民币,实缴资本355000万人民币,注册地址为陕西省西安市高新区西沣南路1888号1号办公楼1-1-046室。西安欣芯材料科技有限公司共对外投资了1家企业,参与招投标项目163次,财产线索方面有商标信息0条,专利信息149条,拥有行政许可23个。

西安欣芯材料科技有限公司近期专利情况如下:

序号专利名称专利类型法律状态申请号申请日期公开(公告)号公开(公告)日期发明人
1硅片边缘抛光设备及方法、控制装置发明专利公布CN202511711516.12025-11-20CN121223677A2025-12-30默玉海
2一种抛光垫清洗设备及方法发明专利实质审查的生效、公布CN202511422964.X2025-09-30CN121082581A2025-12-09李凡
3一种晶圆检测方法及装置发明专利公布CN202511296601.62025-09-11CN121123050A2025-12-12蒙亮亮、王雷、王奔、赵李鑫、万珣
4一种晶圆的清洗干燥方法及装置发明专利公布CN202511106481.92025-08-08CN120954964A2025-11-14夏新超、张树星、陈海龙
5一种晶圆缺陷的工艺段确定方法及装置发明专利实质审查的生效、公布CN202511095534.12025-08-06CN120933183A2025-11-11贾聪、王雷、赵李鑫、万珣、丁泉泉
6晶圆的检测装置及晶圆的检测方法发明专利实质审查的生效、公布CN202511096636.52025-08-06CN120933184A2025-11-11苏旭文、戎淇舰、吕天爽、蒙亮亮
7一种销环组件、双面抛光设备发明专利实质审查的生效、公布CN202510966103.12025-07-14CN120620063A2025-09-12陈祖庆
8硅片的厚度测量方法及装置发明专利实质审查的生效、公布CN202510964157.42025-07-14CN120740458A2025-10-03蒙亮亮、王雷、苏旭文、贾聪、唐贝
9吊渣装置及晶体生长设备、单晶炉渣料去除方法发明专利实质审查的生效、公布CN202510863056.82025-06-25CN120649139A2025-09-16冀泓宜
10用于晶圆的清洗方法以及晶圆发明专利实质审查的生效、公布CN202510852496.32025-06-24CN120895459A2025-11-04郭宏雁、崔源进、左斌、张树星、夏新超
11一种晶圆清洗方法发明专利实质审查的生效、公布CN202510777036.92025-06-11CN120878538A2025-10-31夏新超、李燦朝、张树星、陈海龙、左斌
12一种晶圆缺陷检测方法、装置、设备及可读存储介质发明专利实质审查的生效、公布CN202510734809.52025-06-04CN120635018A2025-09-12万珣、马强强
13二次加料定位装置及单晶炉、二次加料方法发明专利实质审查的生效、公布CN202510690564.02025-05-27CN120443327A2025-08-08郑永远
14一种晶圆缺口定位装置发明专利实质审查的生效、公布CN202510669615.12025-05-23CN120545237A2025-08-26刘文文
15一种晶圆清洗方法及装置发明专利实质审查的生效、公布CN202510672784.02025-05-23CN120809603A2025-10-17夏新超、陈海龙、张树星
16用于边缘刻蚀装置的处理方法以及边缘刻蚀方法发明专利实质审查的生效、公布CN202510627483.62025-05-15CN120727555A2025-09-30杨海龙
17晶圆缺陷检测方法、装置、设备、存储介质及程序产品发明专利公布CN202510504732.22025-04-22CN120300019A2025-07-11万珣、苗小明、蒙亮亮
18一种晶圆夹持器件的处理方法发明专利实质审查的生效、公布CN202510499125.12025-04-21CN120581461A2025-09-02吕天爽
19硅片测量装置及其工作方法发明专利实质审查的生效、公布CN202510399227.62025-04-01CN120252586A2025-07-04万珣、蒙亮亮、王雷
20晶圆缺陷检测方法和装置发明专利实质审查的生效、公布CN202510391095.22025-03-31CN120261327A2025-07-04苗小明、万珣
21一种下料机械臂及研磨设备、研磨方法发明专利实质审查的生效、公布CN202510379561.52025-03-28CN120116135A2025-06-10王辉、孙建科
22晶圆缺陷检测方法、装置和设备发明专利实质审查的生效、公布CN202510380745.32025-03-28CN120237034A2025-07-01万珣、马强强、史进
23一种晶圆厚度检测设备发明专利实质审查的生效、公布CN202510379026.X2025-03-28CN120232334A2025-07-01曹智
24晶圆缺陷检测方法、装置和设备发明专利实质审查的生效、公布CN202510379720.12025-03-28CN120237033A2025-07-01万珣、王雷
25缺陷检测设备的优化方法、装置、设备、程序产品及介质发明专利实质审查的生效、公布CN202510364342.X2025-03-26CN120221428A2025-06-27贾聪、仝临杰、万珣
26晶圆缺陷检测方法、装置和设备发明专利实质审查的生效、公布CN202510363868.62025-03-26CN120213958A2025-06-27万珣
27硅片测量装置及其工作方法发明专利实质审查的生效、公布CN202510354676.92025-03-25CN120212916A2025-06-27蒙亮亮、王雷
28一种晶圆的导电类型检测设备和打标设备发明专利实质审查的生效、公布CN202510351503.12025-03-24CN120334699A2025-07-18李亮亮、孙晓寅、吴磊
29一种用于调整晶向的装置、方法及多线切割设备发明专利实质审查的生效、公布CN202510335093.12025-03-20CN120116344A2025-06-10吴磊
30一种用于多线切割晶棒的设备发明专利实质审查的生效、公布CN202510334349.72025-03-20CN120116343A2025-06-10吴磊
31基座支撑装置及外延生长设备发明专利实质审查的生效、公布CN202510219890.32025-02-26CN120158811A2025-06-17李尧岗、贾帅
32用于外延晶圆的清洗方法以及外延晶圆发明专利实质审查的生效、公布CN202510219597.72025-02-26CN120221391A2025-06-27左斌、张树星、夏新超
33用于晶圆的清洗方法以及晶圆发明专利实质审查的生效、公布CN202510219577.X2025-02-26CN120221390A2025-06-27夏新超、张树星、左斌
34一种加工检测方法、装置、设备及计算机存储介质发明专利实质审查的生效、公布CN202510217561.52025-02-26CN120221426A2025-06-27任可
35一种清洗载具的处理方法以及晶圆发明专利实质审查的生效、公布CN202510212270.72025-02-25CN120243531A2025-07-04张树星、夏新超、左斌
36一种单晶炉泄漏检测装置及方法发明专利授权、实质审查的生效、公布CN202411922137.22024-12-25CN119714690A2025-03-28任龙飞
37排气结构、单晶炉和晶体生长方法发明专利实质审查的生效、公布CN202411912030.X2024-12-24CN119685927A2025-03-25雷海洋
38一种检测石英坩埚的方法和装置发明专利授权CN202411917463.42024-12-24CN119901677B2025-12-09陈凡
39一种用于确定晶棒等径部分的装置和方法发明专利实质审查的生效、公布CN202411894544.72024-12-20CN119567099A2025-03-07房大伟
40一种加料装置以及加料方法发明专利实质审查的生效、公布CN202411894438.92024-12-20CN119929472A2025-05-06陈凡、孙洪涛
41硅片边缘研磨方法和装置发明专利实质审查的生效、公布CN202411869137.02024-12-18CN119550153A2025-03-04刘成隆、王诚
42一种晶棒加工装置、晶棒加工方法及设备发明专利实质审查的生效、公布CN202411858471.62024-12-17CN119526232A2025-02-28刘文文
43单晶炉、单晶炉熔体间隙测量方法及单晶炉漏硅检测方法发明专利实质审查的生效、公布CN202411859585.22024-12-17CN119553355A2025-03-04赵亮、杨松
44晶棒支撑结构和晶棒支撑平整度的调节方法发明专利实质审查的生效、实质审查的生效、公布CN202411837471.82024-12-13CN119407981A2025-02-11王晋飞
45用于扫描硅片的扫描电子显微镜的故障诊断方法和装置发明专利实质审查的生效、公布CN202411837012.X2024-12-13CN119672712A2025-03-21万珣、贾聪、宁沛娜
46一种对中校准装置实用新型授权CN202423090158.02024-12-13CN223522724U2025-11-07刘超
47一种湿法刻蚀用容器及湿法刻蚀系统实用新型授权CN202423081869.12024-12-13CN223566588U2025-11-18孙晓寅
48晶圆承载结构和晶圆处理装置发明专利实质审查的生效、公布CN202411831988.62024-12-12CN119369294A2025-01-28习恒
49晶圆的缺陷检测方法及装置发明专利实质审查的生效、实质审查的生效、公布CN202411828926.X2024-12-12CN119515870A2025-02-25万珣、王雷、丁泉泉
50晶圆的缺陷检测方法及装置发明专利授权、公布CN202411828384.62024-12-12CN119764201B2025-10-31万珣

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