盛美上海申请清洁退火装置相关专利，清洁系统可实现冷却管路自动清洁_商业

盛美上海申请清洁退火装置相关专利，清洁系统可实现冷却管路自动清洁

创始人

2025-12-30 20:17:34

0次

12月30日消息，国家知识产权局信息显示，盛美半导体设备（上海）股份有限公司申请一项名为“清洁系统及退火装置”的专利。申请公布号为CN121222752A，申请号为CN202410854337.2，申请公布日期为2025年12月30日，申请日期为2024年6月27日，发明人刘林波、余齐兴、金一诺、司生辉、宋永灏、王玉玺，专利代理机构上海专利商标事务所有限公司，专利代理师杜娟，分类号B08B9/027、H01L21/67、B08B13/00。

专利摘要显示，本发明公开了一种清洁系统及退火装置，清洁系统包括冷盘、冷却管路、检测元件、管路清洗机和控制器，冷盘用于放置基板；冷却管路用于对基板进行冷却；检测元件用于实时检测冷却管路中的工艺参数，并输出工艺参数的检测信号；管路清洗机与冷却管路连接，用于对冷却管路进行清洁；控制器分别与检测元件和管路清洗机通信连接，用于接收检测信号，并根据检测信号控制管路清洗机对冷却管路进行清洁。本发明能够实现冷却管路的自动清洁。

天眼查数据显示，盛美半导体设备（上海）股份有限公司成立日期1970年1月14日，法定代表人HUI WANG，所属行业为专用设备制造业，企业规模为大型，注册资本47989.2514万人民币，实缴资本37264.99万人民币，注册地址为中国（上海）自由贸易试验区丹桂路999弄5、6、7、8号全幢。盛美半导体设备（上海）股份有限公司共对外投资了16家企业，参与招投标项目171次，财产线索方面有商标信息38条，专利信息662条，拥有行政许可31个。

盛美半导体设备（上海）股份有限公司近期专利情况如下：

序号	专利名称	专利类型	法律状态	申请号	申请日期	公开(公告)号	公开(公告)日期	发明人
1	基片湿法处理装置及基片处理设备	发明专利	公布	CN202511696240.4	2025-11-19	CN121149062A	2025-12-16	李亚洲、贾社娜、王俊、林金木、方波、李昱
2	基板处理装置	发明专利	实质审查的生效、公布	CN202511376375.2	2025-09-25	CN120878605A	2025-10-31	苏政、贾社娜、邓新平
3	供液装置、清洗装置、清洗方法及计算机可读介质	发明专利	公布	CN202511292108.7	2025-09-11	CN120767230A	2025-10-10	苏政、贾社娜、李彬、邓新平
4	处理液供给机构及涂覆装置	发明专利	实质审查的生效、公布	CN202511292109.1	2025-09-11	CN120790418A	2025-10-17	程成、吴均、赵中旭、徐飞、王坚、李康植
5	排气用防腐组件及炉管设备	发明专利	授权	CN202511100391.9	2025-08-07	CN120591755B	2025-12-12	段航、周冬成
6	单片晶圆干燥设备及干燥方法	发明专利	实质审查的生效、公布	CN202510873904.3	2025-06-27	CN120403215A	2025-08-01	谢翔、张晓燕、胡海波、陶泽魏、李兴、宗源
7	薄膜沉积装置及薄膜沉积方法	发明专利	授权、实质审查的生效、公布	CN202510874680.8	2025-06-27	CN120366747B	2025-09-23	戴明宇、周培垄、李天天、费红财、陈更明、成康、金京俊
8	基片盒存储装置、工作方法及基片处理设备	发明专利	授权、公布	CN202510780743.3	2025-06-12	CN120319704B	2025-10-17	许创威、贾社娜、张大海
9	双级溅液监测系统、方法及计算机可读介质	发明专利	授权、实质审查的生效、公布	CN202510594876.1	2025-05-09	CN120127033B	2025-08-15	谢翔、张晓燕、胡海波、陶泽魏、宗源
10	晶圆卡匣调整装置及晶圆浸泡装置	发明专利	授权、实质审查的生效、公布	CN202510526003.7	2025-04-25	CN120072715B	2025-07-25	王双五、苏飘、朱国辉、宗源、胡海波、张晓燕
11	化学液供应系统、换液方法、基板处理装置和介质	发明专利	授权、实质审查的生效、公布	CN202510432151.2	2025-04-08	CN119934438B	2025-08-08	陶泽魏、胡海波、张晓燕
12	化学液供应系统、换液方法、基板处理装置和介质	发明专利	授权、实质审查的生效、公布	CN202510432151.2	2025-04-08	CN119934438B	2025-08-08	陶泽魏、胡海波、张晓燕
13	炉管设备	发明专利	授权、实质审查的生效、公布	CN202510312070.9	2025-03-17	CN119824390B	2025-07-11	杨扬、贾社娜、张大海
14	炉管设备	发明专利	授权、实质审查的生效、公布	CN202510312070.9	2025-03-17	CN119824390B	2025-07-11	杨扬、贾社娜、张大海
15	进气管及炉管设备	发明专利	授权、实质审查的生效、公布	CN202510295477.5	2025-03-13	CN119800332B	2025-07-04	蒯蔚、周冬成、蒋攀辉
16	进气管及炉管设备	发明专利	授权、实质审查的生效、公布	CN202510295477.5	2025-03-13	CN119800332B	2025-07-04	蒯蔚、周冬成、蒋攀辉
17	基板处理设备及方法	发明专利	实质审查的生效、实质审查的生效、公布	CN202510114602.8	2025-01-23	CN120143565A	2025-06-13	徐飞、李康植、吴均、杨仁政、程成、王坚
18	晶圆缓冲层边缘的清洗方法和设备	发明专利	授权、实质审查的生效、公布	CN202510066274.9	2025-01-16	CN119480619B	2025-04-25	戴奔、刘畅、仰庶、张晓燕
19	晶圆缓冲层边缘的清洗方法和设备	发明专利	授权、实质审查的生效、公布	CN202510066274.9	2025-01-16	CN119480619B	2025-04-25	戴奔、刘畅、仰庶、张晓燕
20	基板处理装置	发明专利	实质审查的生效、公布	CN202411383228.3	2024-09-29	CN120033106A	2025-05-23	王晖、陶晓峰、黄天宇、韩阳、何西登、贾社娜、刘文博、张晓燕、胡海波、刘阳、吴杨
21	用于方形基板的卡盘	发明专利	公布	CN202411358048.X	2024-09-26	CN121192044A	2025-12-23	王晖、王坚、吴均、杨宏超、杨小亚、刁建华
22	支撑装置及基板退火设备	发明专利	授权	CN202411351739.7	2024-09-25	CN119920747B	2025-11-14	顾昱、王玉玺、杨宏超、王晖、王坚
23	管路拆装工装	发明专利	授权	CN202411028309.1	2024-07-29	CN119927842B	2025-12-19	杨超繁、贾社娜、张大海
24	一种组分分离装置、液体回收设备及方法	发明专利	公布	CN202410867969.2	2024-06-28	CN121222097A	2025-12-30	魏雄飞、石宁、王文军、张晓燕、邓新平
25	电镀装置及电镀方法	发明专利	公布	CN202410865294.8	2024-06-28	CN121228330A	2025-12-30	吴勐、肖炎、杨宏超、贾照伟、王坚、王晖
26	基板处理方法	发明专利	公布	CN202410856154.4	2024-06-27	CN121228332A	2025-12-30	王晖、王坚、贾照伟、杨宏超、刁建华、肖炎、吴勐
27	刷子组件和半导体清洗设备	发明专利	公布	CN202410856136.6	2024-06-27	CN121222715A	2025-12-30	孙建、朱国辉、王晖
28	清洁系统及退火装置	发明专利	公布	CN202410854337.2	2024-06-27	CN121222752A	2025-12-30	刘林波、余齐兴、金一诺、司生辉、宋永灏、王玉玺
29	基板边缘刻蚀装置	发明专利	公布	CN202410854349.5	2024-06-27	CN121237674A	2025-12-30	顾争荣、初振明、王东东、张晓燕、贾福金、向阳
30	电镀装置	发明专利	公布	CN202410852582.X	2024-06-27	CN121228324A	2025-12-30	花宇、杨宏超、金一诺、王坚、王晖
31	加热装置及基板处理设备	发明专利	公布	CN202410852574.5	2024-06-27	CN121237673A	2025-12-30	王晖、贾社娜、苏政、路添竣、陶泽魏、季昆、邓新平
32	基板定位装置及基板定位方法	发明专利	公布	CN202410843707.2	2024-06-26	CN121215586A	2025-12-26	王晖、王坚、贾照伟、杨宏超、杨小亚
33	化学气相沉积方法	发明专利	公布	CN202410844357.1	2024-06-26	CN121204634A	2025-12-26	孙旭海、刘满成
34	高温炉管的密封结构及密封方法	发明专利	实质审查的生效、公布	CN202410825152.9	2024-06-24	CN119845044A	2025-04-18	吕策、张大海、王晖、沈周燮
35	边缘刻蚀位置的控制方法及装置	发明专利	公布	CN202410825019.3	2024-06-24	CN121215519A	2025-12-26	庞博、肖登、初振明、张晓燕、王晖
36	边缘清洗装置及边缘清洗方法	发明专利	实质审查的生效、公布	CN202410816709.2	2024-06-21	CN120237044A	2025-07-01	王晖、王坚、贾照伟、杨宏超、杨小亚
37	用于方形基板的卡盘	发明专利	公布	CN202410816350.9	2024-06-21	CN121192043A	2025-12-23	王晖、王坚、吴均、杨宏超、杨小亚、刁建华
38	用于电镀设备的检测方法及检测系统	发明专利	公布	CN202410782849.2	2024-06-17	CN121155061A	2025-12-19	石轶、左经之、任正博、王晖、金一诺
39	晶圆处理装置	发明专利	公布	CN202410782703.8	2024-06-17	CN121171920A	2025-12-19	戴明宇、贺斌、费红财、田连刚、朱志君、金京俊
40	立式炉管	发明专利	公布	CN202410783591.8	2024-06-17	CN121161259A	2025-12-19	吕策、王晖、贾社娜、张大海
41	薄膜沉积装置及薄膜沉积方法	发明专利	公布	CN202410783053.9	2024-06-17	CN121161269A	2025-12-19	田连刚、王晖、贺斌、金京俊
42	一种用于基板夹具的密封件以及基板夹具	发明专利	公布	CN202410775356.6	2024-06-14	CN121137756A	2025-12-16	陆陈华、杜阳、杨宏超、贾照伟、张静、王坚、王晖
43	旋转轴及基板保持装置	发明专利	公布	CN202410759087.4	2024-06-12	CN121123106A	2025-12-12	韩阳、黄天宇、王涛、王涛、邵留宝
44	基板热处理装置	发明专利	公布	CN202410758318.X	2024-06-12	CN121123057A	2025-12-12	张剑松、王文军、王晖、李康植
45	射频功率调节装置及方法	发明专利	公布	CN202410758312.2	2024-06-12	CN121124833A	2025-12-12	朱志君、王晖、金京俊
46	一种封装结构的清洗方法及清洗装置	发明专利	公布	CN202410687252.X	2024-05-29	CN121054512A	2025-12-02	陆陈华、贾照伟、张静、王坚、王晖
47	一种封装结构的清洗装置及清洗方法	发明专利	公布	CN202410687295.8	2024-05-29	CN121042286A	2025-12-02	麻森朋、赵悦、贾照伟、杨宏超、陆陈华、王坚、王晖
48	进气系统及炉管设备	发明专利	公布	CN202410685462.5	2024-05-29	CN121046813A	2025-12-02	李抒怀、周冬成、石家燕
49	一种晶圆预湿方法及装置	发明专利	公布	CN202410684019.6	2024-05-29	CN121054564A	2025-12-02	李旻旭、代兰奎、王晖、金一诺、贾照伟
50	风机组件及排放设备	发明专利	公布	CN202410683640.0	2024-05-29	CN121047828A	2025-12-02	党琪、贾社娜、仲召明、陆圣平、孔林雁、开佳伟

风险提示：市场有风险，投资需谨慎。本文为AI大模型基于第三方财汇数据库自动发布，任何在本文出现的信息（包括但不限于个股、评论、预测、图表、指标、理论、任何形式的表述等）均只作为参考，不构成个人投资建议。受限于第三方数据库质量等问题，我们无法对数据的真实性及完整性进行分辨或核验，因此本文内容可能出现不准确、不完整、误导性的内容或信息，具体以公司公告为准。如有疑问，请联系biz@staff.sina.com.cn。

盛美上海申请清洁退火装置相关专利，清洁系统可实现冷却管路自动清洁

相关内容

热门资讯