（来源：先进制造新视角）

【东吴机械】周尔双13915521100/李文意18867136239/韦译捷/黄瑞/谈沂鑫17851090557/陶泽/柴悦茹19121516899/刘捷宇/闻嘉怡

投资评级：买入（维持）

 1 半导体设备业务持续放量，收入端延续较快增长

2026年上半年公司实现营收201.61亿元，同比+24.9%；归母净利润33.70亿元，同比+5.1%；扣非归母净利润33.41亿元，同比+5.0%。归母净利润增速低于营收，主要系公司持续加大研发投入、芯源微并表增加费用及毛利率有所下降所致。

收入分产品看：（1）电子工艺装备实现收入192.05亿元，同比+25.9%，占营收比重95.25%，是公司营收增长的核心驱动力；（2）电子元器件实现收入9.15亿元，同比+5.5%，占营收比重4.54%。

2026Q2单季公司实现营收98.39亿元，同比+24.0%，环比-4.7%；归母净利润17.35亿元，同比+6.6%，环比+6.2%；扣非归母净利润17.14亿元，同比+6.4%，环比+5.4%。

 2 盈利能力短期承压，持续维持高研发投入

2026H1公司综合毛利率为40.1%，同比-2.1pct，主要系新产品在客户端验证过程中零部件迭代升级成本增加，以及公司为部分大批量采购客户提供商务优惠所致；销售净利率、扣非净利率分别为16.0%/16.6%，同比-3.8pct/-3.1pct；期间费用率为24.5%，同比+1.7pct，其中销售/管理/研发/财务费用率分别为3.8%/6.8%/13.3%/0.7%，同比+0.9/+0.2/+0.4/+0.2pct，主要系芯源微并表及市场拓展与客户服务团队人员增加所致。公司2026H1研发投入37.06亿元，同比+27.1%，其中计入损益的研发费用26.77亿元，同比+28.9%。2026Q2单季毛利率为39.3%，同比-2.0pct，环比-1.4pct；销售净利率为16.9%，同比-3.7pct，环比+1.7pct。

3合同负债大幅增长，经营性现金流大幅改善

截至2026年6月末，公司合同负债为53.20亿元，较年初+24.0%，在手订单饱满；存货为305.06亿元，较年初+6.6%。2026H1经营活动净现金流为37.74亿元，同比转正，主要系营业收入增加、销售商品收到的货款增加。2026Q2单季经营活动净现金流为30.26亿元，同比转正，环比+304.5%。

4本土半导体设备平台型龙头，规模化交付与平台化布局双轮推进

公司持续推进产品迭代与品类拓展，已构建覆盖刻蚀、薄膜沉积、热处理、湿法清洗、离子注入、涂胶显影、键合等核心工艺的装备矩阵，主力设备市占率稳步提升，多款新品进入规模化供货阶段。（1）刻蚀设备：发布新一代12英寸高端ICP刻蚀设备，深宽比可达数百比一，已完成客户验证并进入量产导入；CCP设备在国内头部存储及逻辑客户实现批量稳定供货，Bevel新品获得头部客户批量订单，IBE设备已在化合物半导体、光电子领域批量供货。（2）薄膜沉积设备：PVD/CVD/EPI/ALD/ECP等产品矩阵持续完善，其中12英寸PVD累计交付突破千台；新一代管式ALD批量交付国内存储厂商，减压外延设备订单及交付持续增长，碳化硅、氮化镓、砷化镓外延设备均实现批量供货。（3）离子注入设备：浸没式离子注入设备在国内主流晶圆厂渗透率稳步提升，订单与交付持续增长；碳化硅离子注入设备实现客户端批量出货并进入稳定量产阶段。（4）涂胶显影及清洗设备：持续深化与芯源微的技术协同与客户联动，前道涂胶显影设备在先进制程产线持续上量、先进封装产品订单稳步增长；12英寸单片湿法清洗设备已在国内头部晶圆厂批量应用。（5）先进封装设备：发布12英寸WTW、DTW混合键合设备，其中DTW设备已实现产业化应用，混合键合产品完成客户验证并取得批量订单；临时键合/解键合设备实现批量稳定供货，高端TSV电镀设备实现规模化供货。（6）热处理设备：立式炉累计交付突破千台，新一代单片RTP及碳化硅高温热处理设备市场渗透率持续提升。（7）其他：面板级封装领域正式推出系列专用设备，首台Descum设备成功出厂，并与PVD、PIQ设备形成整体工艺解决方案；完成成都国泰真空深度业务整合，高端光学镀膜等新业务稳步拓展。

盈利预测与投资评级

考虑到下游晶圆厂资本开支节奏及公司收入确认节奏，我们基本维持公司 2026/2027/2028年归母净利润为68.9/92.1/120.9（原值68.8/90.8/119.4）亿元，当前市值对应 2026-2028 年动态 PE 分别为 76/57/43X，维持“买入”评级。

风险提示

下游扩产不及预期，新产品研发&验证不及预期。

东吴机械团队

东吴机械研究团队荣誉

2024年 新财富最佳分析师 机械行业 第四名

2024年 Wind金牌分析师 机械行业 第一名

2023年 新财富最佳分析师 机械行业 第四名

2023年 Wind金牌分析师 机械行业 第一名

2022年 新财富最佳分析师 机械行业 第三名

2022年 Wind金牌分析师 机械行业 第二名

2021年 新财富最佳分析师 机械行业 第三名

2021年 Wind金牌分析师 机械行业 第一名

2020年 新财富最佳分析师 机械行业 第三名

2020年 卖方分析师水晶球奖 机械行业 第五名

2019年 新财富最佳分析师 机械行业 第三名

2017年 新财富最佳分析师 机械行业 第二名