8月29日消息,国家知识产权局信息显示,山东有研半导体材料有限公司、有研半导体硅材料股份公司申请一项名为“直拉法制备超高电阻率硅衬底的方法”的专利,授权公告号CN116240621B,授权公告日为2026年8月28日。申请公布号为CN116240621A,申请号为CN202211727056.8,申请公布日期为2026年8月28日,申请日期为2022年12月27日,发明人张健华、张欢、连庆伟、宁永铎、方峰、徐继平、钟耕杭、朱晓彤、李钧宏、颜俊尧,专利代理机构北京北新智诚知识产权代理有限公司,专利代理师刘秀青,分类号C30B15/00、C30B15/20、C30B29/06、C30B33/02、C23C16/40、C23C16/453。
专利摘要显示,本发明公开了一种直拉法制备超高电阻率硅衬底的方法,该方法的工艺流程为:直拉法制备硅单晶→单晶棒滚磨→多线切割→边缘倒角→双面研磨→化学腐蚀→热处理→化学机械抛光;其中,在所述直拉法制备硅单晶的工序中,单晶生长过程中使用水平超导磁场,磁场强度为1000‑5000高斯,同时,采用特定的晶体转速和坩埚转速相配合,晶体转速为1‑12rpm,坩埚转速为0.1‑2rpm;在所述热处理工序为POLY+LTO薄膜生长;或者为高温退火。该方法适用于制备直径在8英寸及以上、电阻率在3000Ω·cm以上、氧含量在5ppma以下的P型硅衬底。所制备的单晶氧含量低于5ppma,退火后电阻率能够达到3000Ω·cm以上,并且氧含量均匀性小于10%,电阻率均匀性小于5%。
天眼查数据显示,山东有研半导体材料有限公司成立日期2018年8月23日,法定代表人张果虎,所属行业为非金属矿物制品业,企业规模为中型,注册资本200328.1126万人民币,实缴资本200328.1126万人民币,注册地址为山东省德州市天衢新区袁桥镇尚德八路3998号。山东有研半导体材料有限公司共对外投资了1家企业,参与招投标项目384次,财产线索方面有商标信息0条,专利信息96条,拥有行政许可27个。
山东有研半导体材料有限公司近期专利情况如下:
| 序号 | 专利名称 | 专利类型 | 法律状态 | 申请号 | 申请日期 | 公开(公告)号 | 公开(公告)日期 | 发明人 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 1 | 一种评价直拉单晶硅放肩棱线开棱程度的方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202512019211.0 | 2025-12-30 | CN122015709A | 2026-05-12 | 宁永铎、谷锡猛、颜俊尧 |
| 2 | 一种用于大直径硅片的高纯碳化硅喷砂处理工艺 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202512004102.1 | 2025-12-29 | CN121798517A | 2026-04-07 | 李广振、郑宇、安瑞阳、马振 |
| 3 | 一种用于硅晶圆双面研磨机自动上下料的装置及方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202511926268.2 | 2025-12-19 | CN121608062A | 2026-03-06 | 刘鹏亮、郑宇、安瑞阳、李广振 |
| 4 | 一种用于大直径直拉高阻单晶的电阻率控制方法 | 发明专利 | 公布 | CN202511906887.5 | 2025-12-17 | CN121653836A | 2026-03-13 | 魏广禹、李超、李钊、鲁强、李永博、崔维学、张果虎 |
| 5 | 一种70μm直径金刚线切割8英寸硅棒的加工工艺 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202511873126.4 | 2025-12-12 | CN121733715A | 2026-03-27 | 李攀、苏冰、周献朋、张果虎、王海涛、郑宇、王立军 |
| 6 | 一种用于单晶棒投料的电阻率测试适配方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202511863671.5 | 2025-12-11 | CN121917844A | 2026-04-24 | 颜俊尧、李钧宏、徐继平 |
| 7 | 一种减少硅片背面损伤的有蜡贴片工艺 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202511836745.6 | 2025-12-08 | CN121925065A | 2026-04-24 | 陈克强、赵江伟、董斐、韩佩鑫、田凤阁、崔学军、张果虎、靳慧杰 |
| 8 | 一种高品质SOI用硅衬底抛光片的加工方法 | 发明专利 | 授权 | CN202510974564.3 | 2025-07-15 | CN120824193B | 2026-05-29 | 王新、林霖、田凤阁、宁永铎、钟耕杭、张果虎、刘斌 |
| 9 | 一种<111>晶向单晶硅等径阶段宽面稳定性的控制方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202510599637.5 | 2025-05-09 | CN120330873A | 2025-07-18 | 张欢、张鑫龙、徐相峰、张果虎 |
| 10 | 一种薄片晶圆自动化剥离装置 | 实用新型 | 授权 | CN202520599238.4 | 2025-04-01 | CN223993875U | 2026-03-13 | 段文瑶、赵江伟、马晓晨 |
| 11 | 一种硅电极MC自动加工方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202510216538.4 | 2025-02-26 | CN120043482A | 2025-05-27 | 胡金海、朱秦发、张泽龙、杨卫国、张果虎 |
| 12 | 一种大直径圆环形硅片测试封装用片盒 | 实用新型 | 授权 | CN202520186117.7 | 2025-02-06 | CN223736591U | 2025-12-30 | 王雅慧、魏士迪、皇志威 |
| 13 | 一种APCVD沉积过程颗粒物控制系统及其方法 | 发明专利 | 专利申请权、专利权的转移、授权、实质审查的生效、公布 | CN202411903052.X | 2024-12-23 | CN119710628B | 2025-09-02 | 万关良、张麒 |
| 14 | 一种硅单晶位错滑移线的检测方法 | 发明专利 | 授权 | CN202411891799.8 | 2024-12-20 | CN119780115B | 2025-12-12 | 刘莉、张宏浩、江国兴、褚天宇、朱秦发、姜舰 |
| 15 | 一种用于套圆加工的环抱型单晶硅棒吊装装置 | 实用新型 | 授权 | CN202423131559.6 | 2024-12-18 | CN223659613U | 2025-12-12 | 皇志威、江国兴、褚天宇、蔡明 |
| 16 | 一种多晶铸锭开方机硅料装卸装置 | 实用新型 | 授权 | CN202423116426.1 | 2024-12-17 | CN223617981U | 2025-12-02 | 杨寿亮、赵延立、王开平 |
| 17 | 一种用于硅渣浆过滤的三级洁净分离自平衡水箱结构 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202411800101.7 | 2024-12-09 | CN119607707A | 2025-03-14 | 赵延立、朱秦发、胡金海、张传振 |
| 18 | 一种多设备同时滤除硅渣的组合过滤系统及处理方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202411800035.3 | 2024-12-09 | CN119633490A | 2025-03-18 | 赵延立、朱秦发、张泽龙 |
| 19 | 一种改善外延后边缘轮廓各向异形问题的衬底加工方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202411790240.6 | 2024-12-06 | CN119710915A | 2025-03-28 | 宁永铎、颜俊尧、纪新鹏、李钧宏 |
| 20 | 一种用于MC第四旋转轴加工石英环的夹具装置 | 实用新型 | 授权 | CN202423010168.9 | 2024-12-06 | CN223656768U | 2025-12-12 | 张泽龙、朱秦发、胡金海、杨卫国 |
| 21 | 一种用于大直径直拉硅单晶的降温装置和方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202411739449.X | 2024-11-29 | CN119615348A | 2025-03-14 | 李超、魏广禹、李钊、鲁强、李永博 |
| 22 | 一种用于硅单晶棒截断的浮动支撑装置 | 实用新型 | 授权 | CN202422935227.7 | 2024-11-29 | CN223657336U | 2025-12-12 | 江国兴、赵振晖、刘莉 |
| 23 | 一种用于单晶硅料粘接的单晶夹持起重装置 | 实用新型 | 授权 | CN202422903473.4 | 2024-11-27 | CN223659638U | 2025-12-12 | 褚天宇、江国兴、皇志威、蔡明、王雅慧 |
| 24 | 一种基于机器视觉的直拉单晶生长界面中轴轨迹监测系统与方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202411657671.5 | 2024-11-19 | CN119593057A | 2025-03-11 | 颜俊尧、宁永铎、谷锡猛 |
| 25 | 一种抛光片背面边缘二氧化硅快速腐蚀的方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202411612013.4 | 2024-11-12 | CN120015620A | 2025-05-16 | 杨先瑞、冯瑞琪、何宇、陈鲁锋、韩萍 |
| 26 | 一种重掺红磷硅单晶的无位错收尾工艺 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202411519282.6 | 2024-10-29 | CN119465376A | 2025-02-18 | 王凯磊、李英涛、张宇、王万华、皮小争、方峰、崔彬 |
| 27 | 一种有效去除12英寸硅衬底体内铜沾污的方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202411452746.6 | 2024-10-17 | CN119381245A | 2025-01-28 | 王海涛、钟耕杭、李俊峰、张清洋、李磊、王明霞 |
| 28 | 一种用于处理硅衬底激光打标损伤的方法 | 发明专利 | 发明专利申请公布后的驳回、实质审查的生效、公布 | CN202410516328.2 | 2024-04-25 | CN118380308A | 2024-07-23 | 韩萍、何宇、郑捷、刘斌、钟耕杭、靳慧洁、蔡丽艳、王瑞英 |
| 29 | 一种电容法测试超低阻红磷硅片电阻率的方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202410494803.0 | 2024-04-23 | CN118425615A | 2024-08-02 | 韩萍、孙韫哲、靳慧洁、蔡丽艳、刘斌、王瑞英 |
| 30 | 一种用于硅片贴片机下压气囊的充气密封结构 | 实用新型 | 授权 | CN202420723812.8 | 2024-04-09 | CN222146150U | 2024-12-10 | 刘义、韩萍、李千振、姜振虎、赵勇、张西标、蔡丽艳、赵江伟、陈克强 |
| 31 | 一种半导体硅抛光片的去蜡清洗工艺 | 发明专利 | 授权、实质审查的生效、公布 | CN202410032589.7 | 2024-01-08 | CN117862112B | 2025-06-20 | 赵江伟、王新、韩佩鑫、田凤阁、陈克强、崔学军、黄书峰、王冠通 |
| 32 | 一种用于硅单晶棒连续生产的直拉硅单晶炉副炉室及方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202311840508.8 | 2023-12-28 | CN117758352A | 2024-03-26 | 宁永铎、李钧宏、颜俊尧、方峰 |
| 33 | 一种防止P型直拉硅单晶头部电阻率虚高与反型的方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202311733108.7 | 2023-12-14 | CN117758356A | 2024-03-26 | 崔维学、鲁强、李钊、李永博、魏广禹 |
| 34 | 一种用于半导体晶棒切割的辅助校准装置 | 实用新型 | 授权 | CN202323231767.9 | 2023-11-28 | CN221223607U | 2024-06-25 | 江国兴、赵振晖、张宏浩、杨寿亮、刘莉、朱秦发、姜舰 |
| 35 | 一种用于圆环形单晶硅棒加工的固定装置 | 实用新型 | 授权 | CN202323116133.9 | 2023-11-17 | CN221212338U | 2024-06-25 | 皇志威、褚天宇、蔡明、江国兴 |
| 36 | 一种用于消除半导体抛光片表面色斑的装置与方法 | 发明专利 | 授权、实质审查的生效、公布 | CN202311498465.X | 2023-11-13 | CN117238752B | 2024-02-13 | 颜俊尧、宁永铎、张健华、李钧宏、徐继平、边永智 |
| 37 | 一种重掺硅单晶电阻率精准控制的方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202311485633.1 | 2023-11-08 | CN117568929A | 2024-02-20 | 王凯磊、李英涛、王万华、皮小争、方峰、崔彬 |
| 38 | 一种<111>晶向硅单晶小平面的检测方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202311312019.5 | 2023-10-11 | CN117517367A | 2024-02-06 | 王学锋、张宏浩、朱晓彤、杨寿亮、刘莉、朱秦发 |
| 39 | 一种大尺寸晶圆边缘的加工工艺 | 发明专利 | 发明专利申请公布后的驳回、实质审查的生效、公布 | CN202310967112.3 | 2023-08-02 | CN117116740A | 2023-11-24 | 王新、郑宇、何丙才、刘鹏亮、张亮、李广振、安瑞阳、姜伟 |
| 40 | 一种用于大型晶圆研磨机改善晶圆形貌的研磨工艺 | 发明专利 | 授权、实质审查的生效、公布 | CN202310967122.7 | 2023-08-02 | CN116852183B | 2024-04-02 | 何丙才、郑宇、韩萍、李广振、刘鹏亮、张亮、姜伟、田凤阁、陈克强、韩佩鑫 |
| 41 | 一种适用于研磨晶圆的研磨液供液系统 | 实用新型 | 授权 | CN202321940879.9 | 2023-07-21 | CN220179060U | 2023-12-15 | 郑宇、何丙才、刘鹏亮、李广振、张亮、姜伟、杨先瑞、陈鲁峰 |
| 42 | 一种应用于12英寸硅片洗盒机清洗6英寸花篮的专用装置 | 实用新型 | 授权 | CN202321932299.5 | 2023-07-21 | CN220479658U | 2024-02-13 | 赵晶、李千振、蒙德强、刘义、孙超 |
| 43 | 一种重掺砷低电阻率硅单晶微缺陷的检测方法 | 发明专利 | 授权、实质审查的生效、公布 | CN202310616131.1 | 2023-05-29 | CN116642914B | 2024-02-13 | 王学锋、张宏浩、朱晓彤、杨寿亮、赵振辉、朱秦发 |
| 44 | 直拉法制备超高电阻率硅衬底的方法 | 发明专利 | 授权 | CN202211727056.8 | 2022-12-27 | CN116240621B | 2026-08-28 | 张健华、张欢、连庆伟、宁永铎、方峰、徐继平、钟耕杭、朱晓彤、李钧宏、颜俊尧 |
| 45 | 一种改善硅单晶直拉炉加热器寿命的方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202211601075.6 | 2022-12-14 | CN116103748A | 2023-05-12 | 颜俊尧、李英涛、边永智、宁永铎、方峰、徐继平 |
| 46 | 一种半导体单晶硅片金刚线切割的工艺方法 | 发明专利 | 授权、实质审查的生效、公布 | CN202211670509.8 | 2022-12-14 | CN116001120B | 2024-08-13 | 褚天宇、蔡明、朱秦发、王学峰、李亚光、皇志威 |
| 47 | 一种提高大直径单晶硅放肩稳定性的方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202211600313.1 | 2022-12-13 | CN116005250A | 2023-04-25 | 崔维学、鲁强、李永博、李钊、盖晶虎 |
| 48 | 一种重掺杂硅单晶放肩生长工艺 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202211568782.X | 2022-12-05 | CN116145235A | 2023-05-23 | 王万华、李英涛、王凯磊、皮小争、崔彬 |
| 49 | 一种APCVD背封炉喷头的冷却装置及方法 | 发明专利 | 发明专利申请公布后的驳回、实质审查的生效、实质审查的生效、公布 | CN202211534901.X | 2022-12-02 | CN116219402A | 2023-06-06 | 冯瑞琪、何宇、陈鲁锋、杨先瑞 |
| 50 | 一种重掺红磷单晶炉管道清理的方法 | 发明专利 | 授权、实质审查的生效、公布 | CN202211534968.3 | 2022-12-02 | CN116140302B | 2024-08-20 | 皮小争、李英涛、王万华、王凯磊、崔彬、方峰 |
有研硅是国内领先的半导体硅材料核心供应商,拥有全产业链布局优势,专注于关键半导体材料研发生产。公司成立于2001年6月21日,2022年11月10日在上海证券交易所上市,注册地与办公地均位于北京市。
公司主营业务为半导体材料的研发、生产与销售,申万行业分类隶属于电子-半导体-半导体材料赛道,同时覆盖年度强势、存储概念、半导体材料三大概念板块。
2026年上半年,有研硅实现营业收入6.65亿元,在28家同行业可比公司中排名第13位,低于行业平均11.68亿元,略高于行业中位数6.26亿元,同期行业营收前两位分别为有研新材61.58亿元、雅克科技45.13亿元;营收结构中半导体硅抛光片贡献3.51亿元占比52.83%,刻蚀设备用硅材料贡献2.6亿元占比39.12%,其余业务合计占比不足10%。当期公司实现净利润1.54亿元,行业排名第5/28位,大幅高于行业平均5833.35万元与行业中位数5637.14万元,同期行业净利润前两位分别为雅克科技6.37亿元、江丰电子4.72亿元。
| 指标类别 | 具体指标 | 数值情况 | 行业对比 |
|---|---|---|---|
| 营收表现 | 2026年上半年营业收入 | 6.65亿元 | 排名1/28,低于均值11.68亿元、高于中位数6.26亿元 |
| 营收结构 | 半导体硅抛光片营收及占比 | 3.51亿元,52.83% | - |
| 营收结构 | 刻蚀设备用硅材料营收及占比 | 2.6亿元,39.12% | - |
| 营收结构 | 其他业务营收及占比 | 4125.14万元,6.21% | - |
| 营收结构 | 其他补充业务营收及占比 | 1228.74万元,1.85% | - |
| 利润表现 | 2026年上半年净利润 | 1.54亿元 | 排名5/28,高于均值5833.35万元、高于中位数5637.14万元 |
有研半导体硅材料股份公司近期专利情况如下:
| 序号 | 专利名称 | 专利类型 | 法律状态 | 申请号 | 申请日期 | 公开(公告)号 | 公开(公告)日期 | 发明人 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 1 | 一种评价直拉单晶硅放肩棱线开棱程度的方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202512019211.0 | 2025-12-30 | CN122015709A | 2026-05-12 | 宁永铎、谷锡猛、颜俊尧 |
| 2 | 一种用于大直径硅片的高纯碳化硅喷砂处理工艺 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202512004102.1 | 2025-12-29 | CN121798517A | 2026-04-07 | 李广振、郑宇、安瑞阳、马振 |
| 3 | 一种用于硅晶圆双面研磨机自动上下料的装置及方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202511926268.2 | 2025-12-19 | CN121608062A | 2026-03-06 | 刘鹏亮、郑宇、安瑞阳、李广振 |
| 4 | 一种用于大直径直拉高阻单晶的电阻率控制方法 | 发明专利 | 公布 | CN202511906887.5 | 2025-12-17 | CN121653836A | 2026-03-13 | 魏广禹、李超、李钊、鲁强、李永博、崔维学、张果虎 |
| 5 | 一种70μm直径金刚线切割8英寸硅棒的加工工艺 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202511873126.4 | 2025-12-12 | CN121733715A | 2026-03-27 | 李攀、苏冰、周献朋、张果虎、王海涛、郑宇、王立军 |
| 6 | 一种用于单晶棒投料的电阻率测试适配方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202511863671.5 | 2025-12-11 | CN121917844A | 2026-04-24 | 颜俊尧、李钧宏、徐继平 |
| 7 | 一种减少硅片背面损伤的有蜡贴片工艺 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202511836745.6 | 2025-12-08 | CN121925065A | 2026-04-24 | 陈克强、赵江伟、董斐、韩佩鑫、田凤阁、崔学军、张果虎、靳慧杰 |
| 8 | 一种改善区熔单晶硅电阻率不均匀性的方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202511698804.8 | 2025-11-19 | CN121610893A | 2026-03-06 | 尚锐刚、刘建涛、燕丁、李明飞 |
| 9 | 一种用于区熔硅单晶生长的气相掺杂方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202511521455.2 | 2025-10-23 | CN121321206A | 2026-01-13 | 燕丁、尚锐刚、刘建涛、李明飞 |
| 10 | 一种高品质SOI用硅衬底抛光片的加工方法 | 发明专利 | 授权 | CN202510974564.3 | 2025-07-15 | CN120824193B | 2026-05-29 | 王新、林霖、田凤阁、宁永铎、钟耕杭、张果虎、刘斌 |
| 11 | 一种<111>晶向单晶硅等径阶段宽面稳定性的控制方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202510599637.5 | 2025-05-09 | CN120330873A | 2025-07-18 | 张欢、张鑫龙、徐相峰、张果虎 |
| 12 | 一种薄片晶圆自动化剥离装置 | 实用新型 | 授权 | CN202520599238.4 | 2025-04-01 | CN223993875U | 2026-03-13 | 段文瑶、赵江伟、马晓晨 |
| 13 | 一种硅电极MC自动加工方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202510216538.4 | 2025-02-26 | CN120043482A | 2025-05-27 | 胡金海、朱秦发、张泽龙、杨卫国、张果虎 |
| 14 | 一种大直径圆环形硅片测试封装用片盒 | 实用新型 | 授权 | CN202520186117.7 | 2025-02-06 | CN223736591U | 2025-12-30 | 王雅慧、魏士迪、皇志威 |
| 15 | 一种硅单晶位错滑移线的检测方法 | 发明专利 | 授权 | CN202411891799.8 | 2024-12-20 | CN119780115B | 2025-12-12 | 刘莉、张宏浩、江国兴、褚天宇、朱秦发、姜舰 |
| 16 | 一种用于套圆加工的环抱型单晶硅棒吊装装置 | 实用新型 | 授权 | CN202423131559.6 | 2024-12-18 | CN223659613U | 2025-12-12 | 皇志威、江国兴、褚天宇、蔡明 |
| 17 | 一种多晶铸锭开方机硅料装卸装置 | 实用新型 | 授权 | CN202423116426.1 | 2024-12-17 | CN223617981U | 2025-12-02 | 杨寿亮、赵延立、王开平 |
| 18 | 一种用于硅渣浆过滤的三级洁净分离自平衡水箱结构 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202411800101.7 | 2024-12-09 | CN119607707A | 2025-03-14 | 赵延立、朱秦发、胡金海、张传振 |
| 19 | 一种多设备同时滤除硅渣的组合过滤系统及处理方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202411800035.3 | 2024-12-09 | CN119633490A | 2025-03-18 | 赵延立、朱秦发、张泽龙 |
| 20 | 一种改善外延后边缘轮廓各向异形问题的衬底加工方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202411790240.6 | 2024-12-06 | CN119710915A | 2025-03-28 | 宁永铎、颜俊尧、纪新鹏、李钧宏 |
| 21 | 一种用于MC第四旋转轴加工石英环的夹具装置 | 实用新型 | 授权 | CN202423010168.9 | 2024-12-06 | CN223656768U | 2025-12-12 | 张泽龙、朱秦发、胡金海、杨卫国 |
| 22 | 一种用于大直径直拉硅单晶的降温装置和方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202411739449.X | 2024-11-29 | CN119615348A | 2025-03-14 | 李超、魏广禹、李钊、鲁强、李永博 |
| 23 | 一种用于硅单晶棒截断的浮动支撑装置 | 实用新型 | 授权 | CN202422935227.7 | 2024-11-29 | CN223657336U | 2025-12-12 | 江国兴、赵振晖、刘莉 |
| 24 | 一种用于单晶硅料粘接的单晶夹持起重装置 | 实用新型 | 授权 | CN202422903473.4 | 2024-11-27 | CN223659638U | 2025-12-12 | 褚天宇、江国兴、皇志威、蔡明、王雅慧 |
| 25 | 一种用于区熔炉内轴稳定运行的连接装置 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202411658418.1 | 2024-11-19 | CN119593054A | 2025-03-11 | 付斌 |
| 26 | 一种基于机器视觉的直拉单晶生长界面中轴轨迹监测系统与方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202411657671.5 | 2024-11-19 | CN119593057A | 2025-03-11 | 颜俊尧、宁永铎、谷锡猛 |
| 27 | 一种抛光片背面边缘二氧化硅快速腐蚀的方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202411612013.4 | 2024-11-12 | CN120015620A | 2025-05-16 | 杨先瑞、冯瑞琪、何宇、陈鲁锋、韩萍 |
| 28 | 一种用于区熔法提纯多晶硅的收尾工艺方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、实质审查的生效、公布 | CN202411520928.2 | 2024-10-29 | CN119411225A | 2025-02-11 | 李明飞、尚锐刚、王永涛、刘建涛、付斌、闫志瑞 |
| 29 | 一种重掺红磷硅单晶的无位错收尾工艺 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202411519282.6 | 2024-10-29 | CN119465376A | 2025-02-18 | 王凯磊、李英涛、张宇、王万华、皮小争、方峰、崔彬 |
| 30 | 一种有效去除12英寸硅衬底体内铜沾污的方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202411452746.6 | 2024-10-17 | CN119381245A | 2025-01-28 | 王海涛、钟耕杭、李俊峰、张清洋、李磊、王明霞 |
| 31 | 一种用于处理硅衬底激光打标损伤的方法 | 发明专利 | 发明专利申请公布后的驳回、实质审查的生效、公布 | CN202410516328.2 | 2024-04-25 | CN118380308A | 2024-07-23 | 韩萍、何宇、郑捷、刘斌、钟耕杭、靳慧洁、蔡丽艳、王瑞英 |
| 32 | 一种电容法测试超低阻红磷硅片电阻率的方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202410494803.0 | 2024-04-23 | CN118425615A | 2024-08-02 | 韩萍、孙韫哲、靳慧洁、蔡丽艳、刘斌、王瑞英 |
| 33 | 一种用于硅片贴片机下压气囊的充气密封结构 | 实用新型 | 授权 | CN202420723812.8 | 2024-04-09 | CN222146150U | 2024-12-10 | 刘义、韩萍、李千振、姜振虎、赵勇、张西标、蔡丽艳、赵江伟、陈克强 |
| 34 | 一种半导体硅抛光片的去蜡清洗工艺 | 发明专利 | 授权、实质审查的生效、公布 | CN202410032589.7 | 2024-01-08 | CN117862112B | 2025-06-20 | 赵江伟、王新、韩佩鑫、田凤阁、陈克强、崔学军、黄书峰、王冠通 |
| 35 | 一种用于硅单晶棒连续生产的直拉硅单晶炉副炉室及方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202311840508.8 | 2023-12-28 | CN117758352A | 2024-03-26 | 宁永铎、李钧宏、颜俊尧、方峰 |
| 36 | 一种区熔硅单晶自动生长的方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202311798703.9 | 2023-12-25 | CN117758351A | 2024-03-26 | 王永涛、尚锐刚、刘建涛、李明飞、闫志瑞 |
| 37 | 一种防止P型直拉硅单晶头部电阻率虚高与反型的方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202311733108.7 | 2023-12-14 | CN117758356A | 2024-03-26 | 崔维学、鲁强、李钊、李永博、魏广禹 |
| 38 | 一种区熔硅单晶全自动放肩方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202311703905.0 | 2023-12-12 | CN117721523A | 2024-03-19 | 尚锐刚、王永涛、刘建涛、李明飞 |
| 39 | 一种用于半导体晶棒切割的辅助校准装置 | 实用新型 | 授权 | CN202323231767.9 | 2023-11-28 | CN221223607U | 2024-06-25 | 江国兴、赵振晖、张宏浩、杨寿亮、刘莉、朱秦发、姜舰 |
| 40 | 一种用于圆环形单晶硅棒加工的固定装置 | 实用新型 | 授权 | CN202323116133.9 | 2023-11-17 | CN221212338U | 2024-06-25 | 皇志威、褚天宇、蔡明、江国兴 |
| 41 | 一种用于消除半导体抛光片表面色斑的装置与方法 | 发明专利 | 授权、实质审查的生效、公布 | CN202311498465.X | 2023-11-13 | CN117238752B | 2024-02-13 | 颜俊尧、宁永铎、张健华、李钧宏、徐继平、边永智 |
| 42 | 一种重掺硅单晶电阻率精准控制的方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202311485633.1 | 2023-11-08 | CN117568929A | 2024-02-20 | 王凯磊、李英涛、王万华、皮小争、方峰、崔彬 |
| 43 | 一种<111>晶向硅单晶小平面的检测方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202311312019.5 | 2023-10-11 | CN117517367A | 2024-02-06 | 王学锋、张宏浩、朱晓彤、杨寿亮、刘莉、朱秦发 |
| 44 | 一种大尺寸晶圆边缘的加工工艺 | 发明专利 | 发明专利申请公布后的驳回、实质审查的生效、公布 | CN202310967112.3 | 2023-08-02 | CN117116740A | 2023-11-24 | 王新、郑宇、何丙才、刘鹏亮、张亮、李广振、安瑞阳、姜伟 |
| 45 | 一种用于大型晶圆研磨机改善晶圆形貌的研磨工艺 | 发明专利 | 授权、实质审查的生效、公布 | CN202310967122.7 | 2023-08-02 | CN116852183B | 2024-04-02 | 何丙才、郑宇、韩萍、李广振、刘鹏亮、张亮、姜伟、田凤阁、陈克强、韩佩鑫 |
| 46 | 一种适用于研磨晶圆的研磨液供液系统 | 实用新型 | 授权 | CN202321940879.9 | 2023-07-21 | CN220179060U | 2023-12-15 | 郑宇、何丙才、刘鹏亮、李广振、张亮、姜伟、杨先瑞、陈鲁峰 |
| 47 | 一种应用于12英寸硅片洗盒机清洗6英寸花篮的专用装置 | 实用新型 | 授权 | CN202321932299.5 | 2023-07-21 | CN220479658U | 2024-02-13 | 赵晶、李千振、蒙德强、刘义、孙超 |
| 48 | 一种重掺砷低电阻率硅单晶微缺陷的检测方法 | 发明专利 | 授权、实质审查的生效、公布 | CN202310616131.1 | 2023-05-29 | CN116642914B | 2024-02-13 | 王学锋、张宏浩、朱晓彤、杨寿亮、赵振辉、朱秦发 |
| 49 | 直拉法制备超高电阻率硅衬底的方法 | 发明专利 | 授权 | CN202211727056.8 | 2022-12-27 | CN116240621B | 2026-08-28 | 张健华、张欢、连庆伟、宁永铎、方峰、徐继平、钟耕杭、朱晓彤、李钧宏、颜俊尧 |
| 50 | 一种改善硅单晶直拉炉加热器寿命的方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202211601075.6 | 2022-12-14 | CN116103748A | 2023-05-12 | 颜俊尧、李英涛、边永智、宁永铎、方峰、徐继平 |
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