8月26日消息，国家知识产权局信息显示，深圳中科飞测科技股份有限公司申请一项名为“消相干照明系统以及通过消相干获取照明光的方法”的专利。申请公布号为CN122632464A，申请号为CN202610977127.1，申请公布日期为2026年8月25日，申请日期为2026年7月1日，发明人陈鲁、黄有为、杨雪芳、赵哲承，专利代理机构长春中科长光知识产权代理事务所（普通合伙），专利代理师郭婷，分类号G02B27/09。

专利摘要显示，本发明涉及光学检测技术领域，尤其涉及一种消相干照明系统以及通过消相干获取照明光的方法，消相干照明系统包括：光源，光源用于发出初始照明光；消相干元件，消相干元件位于初始照明光的传输光路中，消相干元件包括N个独立的控制单元；微透镜阵列组件，微透镜阵列组件位于消相干元件远离光源一侧，微透镜阵列组件包括阵列排布的N个子孔径，子孔径与控制单元一一对应；其中，消相干元件的N个控制单元依次导通，且上一个控制单元关闭至下一个控制单元导通的时间间隔大于初始照明光的相干时间，以使入射不同子孔径的初始照明光消相干。本发明至少有利于解决窄带激光器作为光源的条件下采用微透镜阵列组件作为匀光元件时子孔径光发生干涉的问题。

中科飞测是国内领先的集成电路检测量测设备供应商，依托自主核心技术构建高壁垒产品体系。公司成立于2014年12月31日，于2023年5月19日在上海证券交易所上市，注册及办公地址均位于广东省深圳市。

公司主营业务为检测和量测两大类集成电路专用设备的研发、生产和销售，所属申万行业为电子-半导体-半导体设备，同时覆盖半导体检测、HBM概念、中芯国际概念三大概念板块。

2026年上半年，中科飞测实现营业收入9.41亿元，在12家同行业可比公司中排名第8，同期行业营收第一名北方华创达201.61亿元、第二名中微公司为66.91亿元，行业平均营收34.46亿元，行业营收中位数13.03亿元。主营业务构成方面，检测设备贡献营收6.41亿元，占比68.17%；量测设备贡献营收2.66亿元，占比28.22%；服务及其他业务营收3348.72万元，占比3.56%；软件业务营收53.1万元，占比0.06%。当期公司实现净利润-1.27亿元，在12家同行业可比公司中排名第11，同期行业净利润第一名北方华创达32.29亿元、第二名中微公司为27.97亿元，行业平均净利润7.31亿元，行业净利润中位数1.26亿元。

深圳中科飞测科技股份有限公司近期专利情况如下：

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