矽电半导体取得晶圆载台相关专利，晶圆吸附载台使卡盘长期工作平整性更强
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2026-07-04 09:25:48
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7月4日消息，国家知识产权局信息显示，矽电半导体设备（深圳）股份有限公司申请一项名为“晶圆吸附载台”的专利，授权公告号CN224460546U，授权公告日为2026年7月3日。申请号为CN202521401048.3，申请公布日期为2026年7月3日，申请日期为2025年7月4日，发明人曾凡贵、李长江，专利代理机构广州嘉权专利商标事务所有限公司，专利代理师张英凤，分类号H10P72/78。

专利摘要显示，本实用新型提出一种晶圆吸附载台，涉及半导体测试技术领域，晶圆吸附载台包括卡盘、固定组件和第一真空接头。卡盘具有吸附面、第一固定面和第一吸附腔，吸附面用于固定晶圆，第一吸附腔于固定面形成第一固定开口；固定组件具有第二固定面，第二固定面与第一固定面接触，以封闭第一固定开口；第一真空接头内部与第一吸附腔连通，用于为第一吸附腔提供负压。本实用新型实施例中的晶圆吸附载台，卡盘在长期工作下的平整性更强。

天眼查数据显示，矽电半导体设备（深圳）股份有限公司成立日期2003年12月25日，法定代表人何沁修，所属行业为专用设备制造业，企业规模为中型，注册资本4172.7274万人民币，实缴资本4172.7274万人民币，注册地址为深圳市龙岗区龙城街道黄阁坑社区龙城工业园3号厂房三楼东区、五楼中西区。矽电半导体设备（深圳）股份有限公司共对外投资了7家企业，参与招投标项目90次，财产线索方面有商标信息50条，专利信息470条，拥有行政许可17个。

矽电半导体设备（深圳）股份有限公司近期专利情况如下：

序号专利名称专利类型法律状态申请号申请日期公开(公告)号公开(公告)日期发明人
1一种晶圆理片设备及方法发明专利公布CN202610758380.82026-05-29CN122318793A2026-06-30胡耿涛、林生财
2载片台驱动装置发明专利授权CN202610492317.42026-04-15CN122028699B2026-07-03吴贵阳
3电气走线系统、方法、半导体设备以及存储介质发明专利公布CN202610191841.82026-02-10CN122246646A2026-06-19黄艺谦、李龙、刘伟豪
4一种基于SPI总线的双向通信方法和相关设备发明专利实质审查的生效、公布CN202610081578.72026-01-21CN122111913A2026-05-29余家俊、刘瑞勋、肖虎、罗国清
5光源控制电路、方法、工业视觉检测系统、介质以及产品发明专利公布CN202610069079.62026-01-19CN121842890A2026-04-10黄艺谦
6电流采样电路及电流采样系统发明专利实质审查的生效、公布CN202610069078.12026-01-19CN122017313A2026-05-12罗国清、唐兴旺、卢健强
7分选装置及芯片分选机发明专利公布CN202511978710.62025-12-25CN121820172A2026-04-10沈杰
8芯片测试分选设备发明专利实质审查的生效、公布CN202511712538.X2025-11-20CN121423250A2026-01-30车奎、沈杰、杨应俊、林毓涛
9传动平台发明专利实质审查的生效、公布CN202511568602.12025-10-30CN121199932A2025-12-26吴贵阳
10一种测试系统发明专利实质审查的生效、公布CN202511441132.22025-10-10CN121432111A2026-01-30李景均、陈志威
11晶圆测试针座、晶圆测试装置及针座控制方法发明专利授权CN202511350027.82025-09-22CN120847445B2026-01-16吴贵阳
12一种载片机构、晶圆测试装置及其控制方法发明专利授权CN202511350025.92025-09-22CN120847444B2026-02-27吴贵阳
13紧凑型芯片料盒识别装置发明专利实质审查的生效、公布CN202511303144.92025-09-12CN121084940A2025-12-09刘伟豪、李景均
14仪表放大器的增益规整化配置电路及方法发明专利实质审查的生效、公布CN202511260343.62025-09-04CN121217068A2025-12-26罗国清、王业文、王胜利、刘兴波
15电气自锁电路及其驱动方法、装置、测试设备及存储介质发明专利实质审查的生效、公布CN202511209148.02025-08-27CN121261693A2026-01-02陈朝巍
16双轴驱动平台发明专利实质审查的生效、公布CN202511104756.52025-08-07CN121163797A2025-12-19曾凡贵
17探针台及监测方法发明专利授权CN202510999199.12025-07-21CN120594897B2025-11-11吴贵阳
18探针台及测试系统发明专利授权CN202510999202.X2025-07-21CN120507548B2025-11-28吴贵阳、王胜利、李景均
19设备测量方法及装置发明专利实质审查的生效、公布CN202510980144.62025-07-16CN120908640A2025-11-07吴贵阳、郑鹏、王鹏、胡翔
20晶圆吸附载台实用新型授权CN202521401048.32025-07-04CN224460546U2026-07-03曾凡贵、李长江
21芯片载具的上下料设备及芯片测试系统发明专利发明专利申请公布后的驳回、实质审查的生效、公布CN202510805178.12025-06-17CN120308607A2025-07-15李景均、马泳坤
22步进电机控制电路以及升降装置发明专利实质审查的生效、公布CN202510557372.22025-04-29CN120474398A2025-08-12朱俊鹏、李龙
23晶粒剔除机构实用新型授权CN202520862341.32025-04-29CN224306242U2026-05-29胡阳辉、易仲、林荣威
24注胶打点器实用新型授权CN202520773872.52025-04-22CN224271842U2026-05-26吴小明、李景均
25多通道光源控制器校准方法、装置、设备及存储介质发明专利实质审查的生效、公布CN202510478647.32025-04-16CN120264555A2025-07-04黄艺谦、王业文、李龙、黄伟强
26接线测试方法、测试系统及电子设备发明专利实质审查的生效、公布CN202510476434.72025-04-16CN120385956A2025-07-29王业文、林创伟
27测试机外观专利授权CN202530206536.82025-04-16CN309682115S2025-12-19刘伟豪
28抓取装置及半导体晶圆自动检测设备实用新型授权CN202520707613.22025-04-15CN224165105U2026-04-24林生财、聂勇、李长江
29一种摆臂弹片调整方法及装置发明专利授权、实质审查的生效、实质审查的生效、公布CN202510451370.52025-04-11CN119972584B2025-07-01吴贵阳
30基于线性函数的摆臂弹片调节方法发明专利授权、实质审查的生效、实质审查的生效、公布CN202510451374.32025-04-11CN119972585B2025-07-01吴贵阳
31一种双工位弹片调整装置实用新型授权CN202520680569.02025-04-11CN223935758U2026-02-24吴贵阳
32传感器信号屏蔽装置、传感器、连接装置和处理装置实用新型授权CN202520552874.12025-03-25CN224154543U2026-04-21罗国清
33晶圆测试用探针针座外观专利授权CN202530117478.12025-03-12CN309594190S2025-11-11颜建武
34晶圆测试用探针针座外观专利授权CN202530117434.92025-03-12CN309594189S2025-11-11李景均
35晶圆测试用探针针座外观专利授权CN202530117420.72025-03-12CN309638270S2025-11-28颜建武
36一种多工位摆臂吸嘴机构测量和调整方法及装置发明专利授权、实质审查的生效、公布CN202510180974.02025-02-19CN119635725B2025-05-06吴贵阳、罗志长、周颖达
37探针台实用新型授权CN202520265133.52025-02-18CN223692421U2025-12-19林生财、聂勇
38载片装置实用新型授权CN202520241229.82025-02-14CN223693114U2025-12-19林生财
39晶圆承载装置及探针台实用新型授权CN202520090051.12025-01-14CN223829813U2026-01-23姜威、韦日文、林生财
40测试方法、装置、设备及计算机可读取存储介质发明专利实质审查的生效、公布CN202510032581.52025-01-09CN119986294A2025-05-13吴贵阳
41测试装置、测试设备以及测试方法发明专利授权、公布CN202510032586.82025-01-09CN119993853B2025-10-17吴贵阳、周颖达、李鑫洋、厉辉
42一种晶圆检测设备实用新型授权CN202520041100.22025-01-08CN223827717U2026-01-23曾凡贵、林生财、聂勇
43一种晶圆冷却装置实用新型授权CN202423231744.22024-12-26CN223693103U2025-12-19郑鹏、林生财、李长江
44一种探针清洁装置实用新型授权CN202423231689.72024-12-26CN223902429U2026-02-13林生财、周英才、李长江
45不良晶粒剔除设备实用新型授权CN202423161821.12024-12-19CN223683994U2025-12-19胡阳辉、易仲、李长江
46下料装置及测试分类一体机实用新型授权CN202423045282.52024-12-09CN223684028U2025-12-19胡耿涛、魏纯、钟夏华
47隔离变压模块的控制装置以及电控系统发明专利实质审查的生效、公布CN202411608883.42024-11-12CN119695772A2025-03-25罗国清、柯权珍、徐仲亮
48一种光源控制电路和光源控制系统实用新型授权CN202422609156.12024-10-28CN223452134U2025-10-17黄艺谦、李龙、卢健强
49探针固定结构及探针台实用新型授权CN202422577072.42024-10-24CN223449990U2025-10-17王伟谦
50一种晶圆片同心定位装置及定位方法发明专利实质审查的生效、公布CN202411459894.02024-10-18CN119480742A2025-02-18钟夏华、郑鹏、魏纯

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