数据显示，1月16日，万家中证半导体材料设备主题ETF(159327)获净申购8118.12万元，位居当日股票ETF净流入排名64/1100。最新规模10.93亿元，前一日规模9.76亿元，当日资金净流入额占前一日规模的比例为8.32%。

近5日，万家中证半导体材料设备主题ETF(159327)获净申购2.23亿元，位居股票ETF净流入排名第85/1100。近10日，万家中证半导体材料设备主题ETF(159327)获净申购3.53亿元，位居股票ETF净流入排名第72/1100。近20日，万家中证半导体材料设备主题ETF(159327)获净申购3.77亿元，位居股票ETF净流入排名第86/1100。

万家中证半导体材料设备主题ETF(159327)已连续9日资金获净申购，区间净流入额3.57亿元。

万家中证半导体材料设备主题ETF（159327）成立于2024年7月24日，基金全称为万家中证半导体材料设备主题交易型开放式指数证券投资基金，基金简称为万家中证半导体材料设备主题ETF。该基金管理费率每年0.50%，托管费率每年0.10%。万家中证半导体材料设备主题ETF（159327）跟踪标的指数为半导体材料设备（931743）。

规模方面，截止1月16日，万家中证半导体材料设备主题ETF（159327）最新份额为4.69亿份，最新规模为10.93亿元。回顾2025年12月31日，万家中证半导体材料设备主题ETF（159327）份额为3.07亿份，规模为5.61亿元。即该基金今年以来份额增加52.85%，规模增加94.66%。

流动性方面，截止1月16日，万家中证半导体材料设备主题ETF（159327）近20个交易日累计成交金额13.32亿元，日均成交金额6660.53万元；今年以来，10个交易日，累计成交金额9.34亿元，日均成交金额9340.58万元。

万家中证半导体材料设备主题ETF（159327）现任基金经理为吴宜蓉。吴宜蓉自2025年9月30日管理（或拟管理）该基金，任职期内收益26.34%。

最新定期报告显示，万家基金（159327）重仓股包括中微公司、北方华创、长川科技、沪硅产业、华海清科、拓荆科技、南大光电、安集科技、中科飞测、芯源微，持仓占比如下：

跟踪半导体材料设备（931743）的ETF包括国泰中证半导体材料设备主题ETF（159516）、易方达中证半导体材料设备主题ETF（159558）、广发中证半导体材料设备ETF（560780）、华夏中证半导体材料设备主题ETF（562590）、万家中证半导体材料设备主题ETF（159327），规模、流动性、近期资金净申购情况如下：

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