顶立科技取得气相沉积装置可简称为“气相沉积”相关专利,气相沉积装置改善工件沉积不均提性能
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2026-01-07 07:55:02
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1月7日消息,国家知识产权局信息显示,湖南顶立科技股份有限公司申请一项名为“一种气相沉积装置”的专利,授权公告号CN115961264B,授权公告日为2026年1月6日。申请公布号为CN115961264A,申请号为CN202211634611.2,申请公布日期为2026年1月6日,申请日期为2022年12月19日,发明人戴煜、王林静、张池澜、段巨祥、王艳艳、肖乐,专利代理机构北京集佳知识产权代理有限公司,专利代理师马德胜,分类号C23C16/44、C23C16/458、C23C16/455、C30B25/12。

专利摘要显示,本申请公开一种气相沉积装置,包括:炉体,所述炉体内设置有容置腔;设置在所述容置腔内的支撑台,所述支撑台用于承载工件;向所述容置腔内输送沉积气的进气组件,所述进气组件设置有两组,且两组所述进气组件对称设置在所述容置腔的两侧;设置在所述炉体上,与所述容置腔连通的出气组件;驱动组件,所述驱动组件的输出端与所述支撑台相连,带动所述支撑台绕所述输出端的轴线方向转动的同时沿所述输出轴的轴线方向移动。本申请提供的化学气沉积装置,相较于现有技术而言,能够改善大尺寸或异形工件表面沉积厚度不均匀的问题,提高产品的性能。

天眼查数据显示,湖南顶立科技股份有限公司成立日期1970年1月14日,法定代表人戴煜,所属行业为专用设备制造业,企业规模为中型,注册资本3989.2752万人民币,实缴资本3989.2752万人民币,注册地址为中国(湖南)自由贸易试验区长沙片区星沙产业基地(长龙街道)凉塘东路1271号。湖南顶立科技股份有限公司共对外投资了5家企业,参与招投标项目604次,财产线索方面有商标信息17条,专利信息437条,拥有行政许可137个。

湖南顶立科技股份有限公司近期专利情况如下:

序号专利名称专利类型法律状态申请号申请日期公开(公告)号公开(公告)日期发明人
1一种用于化学气相沉积炉易燃性副产物的高温裂解除尘装置发明专利公布CN202511782354.02025-11-29CN121252506A2026-01-02魏巍、周岳兵、戴煜、胡祥龙、肖乐
2一种沉积碳化硅涂层的CVD设备尾气处理系统及方法发明专利实质审查的生效、公布CN202511667919.02025-11-14CN121103112A2025-12-12段巨祥、林源、戴斌、戴劲、张池澜、刘志坚、谭兴龙、王艳艳、许鹏、戴煜
3一种用于CVD沉积设备的复合加热系统、协同控制方法及其在制备碳化钽涂层中的应用发明专利公布CN202511557669.52025-10-29CN121023471A2025-11-28戴斌、林源、刘志坚、段巨祥、许鹏、廖常平、戴劲、刘喆、戴煜
4化学气相沉积法制备TaC涂层用前驱体进料系统及方法发明专利实质审查的生效、公布CN202511553518.22025-10-29CN121046818A2025-12-02刘志坚、林源、戴煜、张池澜、段巨祥、王艳艳、戴斌、刘喆、戴劲
5一种分段式CVD联用双刷涂工艺制备碳化钽涂层的方法发明专利实质审查的生效、公布CN202511535560.12025-10-27CN121005581A2025-11-25林源、刘志坚、张池澜、戴煜、段巨祥、谭兴龙、王艳艳、戴劲、刘喆
6一种用于提高MPCVD金刚石相纯度的装置发明专利公布CN202511393911.X2025-09-28CN121228349A2025-12-30戴煜、胡祥龙、刘健、魏巍、周岳兵、唐兵兵
7一种石墨提纯炉炉膛温度检测装置发明专利实质审查的生效、公布CN202511293742.22025-09-11CN121048400A2025-12-02胡祥龙、戴煜、李功勇、陈雄姿、王艳艳
8连续提纯炉保温层在线监控评估系统及其监控评估方法发明专利公布CN202511221823.12025-08-29CN120777902A2025-10-14李功勇、戴煜、胡祥龙、陈雄姿、周素阳
9一种用于回收废旧锂电池热解料的回转炉发明专利实质审查的生效、公布CN202511181107.52025-08-22CN120907330A2025-11-07戴煜、周强、蒋振宇、谢志坚、李鹏胜、倪俊
10一种应急条件下的固废热解气化装置发明专利实质审查的生效、公布CN202511172399.62025-08-21CN121046121A2025-12-02戴煜、周强、蒋振宇、路继涛、李鹏胜
11一种真空高温设备的风冷开合门发明专利公布CN202511066601.72025-07-31CN120777887A2025-10-14马卫东、陈劲、何立志、胡阳春、戴煜
12一种内循环连续提纯炉及其提纯方法发明专利实质审查的生效、著录事项变更、公布CN202510797156.52025-06-16CN120609205A2025-09-09李功勇、胡祥龙、戴煜、陈雄姿
13一种废旧锂电池极片剥离及短流程修复的装置和方法发明专利著录事项变更、实质审查的生效、公布CN202510750585.72025-06-06CN120460103A2025-08-12朱二涛、戴煜、周强、倪俊、王艳艳
14一种蓄热式空气加热器用防漂浮蓄热体发明专利著录事项变更、实质审查的生效、公布CN202510341186.52025-03-21CN120027520A2025-05-23杨武青、向雷、林源、戴煜、胡祥龙
15一种大尺寸超薄陶瓷均匀烧结设备及烧结工艺发明专利实质审查的生效、实质审查的生效、公布CN202411880097.X2024-12-19CN119412927A2025-02-11杨武青、胡祥龙、戴煜、胡高健
16连续式高温铸锭熔炼设备及其加工方法发明专利实质审查的生效、公布CN202411882206.12024-12-19CN119436821A2025-02-14陈涌泉、胡祥龙、戴煜、胡高健、蒋博、谌雷、赵焕、田金钢
17多腔室连续式高温热处理设备及其加工方法发明专利实质审查的生效、公布CN202411882213.12024-12-19CN119480717A2025-02-18胡高健、陈涌泉、胡祥龙、戴煜、蒋博、谌雷、田金钢、赵焕
18一种适用于板状工件的化学气相沉积工艺及设备发明专利实质审查的生效、公布CN202411880107.X2024-12-19CN119876913A2025-04-25胡祥龙、赵焕、魏巍、戴煜、胡高健、唐佩隧、谭时雨、刘琦
19一种适用于板状工件的化学气相沉积设备实用新型授权CN202423151025.X2024-12-19CN223592823U2025-11-25胡祥龙、赵焕、魏巍、戴煜、胡高健、唐佩隧、谭时雨、刘琦
20锂电池电解液蒸发与有机物热解一体化炉及处理方法发明专利著录事项变更、实质审查的生效、公布CN202411755120.22024-12-03CN119634392A2025-03-18龙志斌、周强、戴煜、蒋振宇、李鹏胜、蒋岳师
21带组合式保温结构的中高频感应加热炉发明专利实质审查的生效、公布CN202411743884.X2024-11-30CN119289669A2025-01-10戴煜、胡祥龙、胡高健、谌雷、蒋博、杨武青
22带组合式保温结构的中高频感应加热炉实用新型授权CN202422941669.22024-11-30CN223769232U2026-01-06戴煜、胡祥龙、胡高健、谌雷、蒋博、杨武青
23一种可变分组感应线圈及感应加热炉实用新型授权CN202422950448.12024-11-29CN223600052U2025-11-25胡祥龙、戴煜、胡高健、谌雷、杨武青、杨毅成
24适用于环形工件的双加热器化学气相沉积设备实用新型授权CN202422938764.72024-11-29CN223766423U2026-01-06戴煜、胡祥龙、王艳艳、胡高健、谌雷、魏巍
25多料柱碳化硅单晶生长设备及其制备工艺发明专利发明专利申请公布后的驳回、实质审查的生效、公布CN202411698048.42024-11-26CN119177494A2024-12-24胡祥龙、胡高健、戴煜、王艳艳、谌雷、刘琦、田金钢
26在线换位的化学气相沉积设备及其加工方法发明专利发明专利申请公布后的驳回、实质审查的生效、公布CN202411698060.52024-11-26CN119177435A2024-12-24胡祥龙、戴煜、王艳艳、胡高健、魏巍、谭时雨、刘琦
27碳化硅单晶生长设备及其制备工艺发明专利发明专利申请公布后的驳回、实质审查的生效、公布CN202411698056.92024-11-26CN119177495A2024-12-24胡高健、胡祥龙、戴煜、谌雷、田金钢、谭时雨、刘琦
28一种MTS高精度快速蒸发装置发明专利实质审查的生效、公布CN202411705592.72024-11-26CN119287342A2025-01-10胡祥龙、成双泉、蒋博、戴煜、胡高健、周瑶、刘琦、谭时雨
29晶体材料的高温高压铸锭炉及其铸锭方法发明专利授权、实质审查的生效、实质审查的生效、公布CN202411698053.52024-11-26CN119194607B2025-03-14胡高健、胡祥龙、戴煜、潘成、蒋博、陈涌泉、周瑶
30内外双组份筒状工件的化学气相沉积炉发明专利授权、实质审查的生效、实质审查的生效、公布CN202411698049.92024-11-26CN119177429B2025-03-14戴煜、胡祥龙、王艳艳、胡高健、刘琦、谭时雨
31适用于桶状工件的化学气相沉积设备实用新型授权CN202422893001.52024-11-26CN223409718U2025-10-03戴煜、胡祥龙、王艳艳、胡高健、刘琦、谭时雨
32一种连续炉尾气处理及氩气回收系统实用新型授权CN202422891330.62024-11-26CN223412509U2025-10-03戴煜、成双泉、蒋博、胡祥龙、胡高健、周瑶、田金钢、赵焕
33带晶体换热装置的碳化硅单晶生长设备实用新型授权CN202422890187.92024-11-26CN223766475U2026-01-06胡高健、胡祥龙、戴煜、谌雷、田金钢、谭时雨、刘琦
34坩埚位置可调的碳化硅单晶生长设备实用新型授权CN202422894420.02024-11-26CN223766476U2026-01-06胡高健、胡祥龙、戴煜、谌雷、田金钢、谭时雨、刘琦
35适用于环形工件的快速化学气相沉积设备发明专利实质审查的生效、公布CN202411694601.72024-11-25CN119265538A2025-01-07胡祥龙、刘琦、谭时雨、戴煜、胡高健、谌雷
36适用于环形工件的快速化学气相沉积设备实用新型授权CN202422876685.82024-11-25CN223409717U2025-10-03胡祥龙、刘琦、谭时雨、戴煜、胡高健、谌雷
37内置电磁场的化学气相沉积炉发明专利实质审查的生效、公布CN202411665157.62024-11-20CN119265546A2025-01-07胡高健、戴煜、胡祥龙、谌雷、魏巍
38废旧锂电池回收用源头降尘的回转炉发明专利著录事项变更、实质审查的生效、公布CN202411607288.92024-11-12CN119353914A2025-01-24周强、戴煜、蒋振宇、龙志斌、路继涛、李鹏胜、朱二涛
39一种磷酸铁锂电池负极剥离高纯铜箔再生制备铜粉的方法发明专利著录事项变更、实质审查的生效、公布CN202411345846.92024-09-26CN119242939A2025-01-03朱二涛、戴煜、周强、倪俊、王艳艳
40一种医用钛合金、医用钛合金增材及其制备方法发明专利著录事项变更、公布CN202410888138.32024-07-04CN118910468A2024-11-08邱从章、王紫微、王艳艳、肖乐、许鹏、倪俊

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