强一半导体申请MEMS探针夹具相关专利，聚酰亚胺夹具解决退火形变，降低成本
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2026-01-06 20:13:26
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1月6日消息，国家知识产权局信息显示，强一半导体（苏州）股份有限公司申请一项名为“一种用于MEMS探针退火的夹具以及MEMS探针的退火方法”的专利。申请公布号为CN121272168A，申请号为CN202511461490.X，申请公布日期为2026年1月6日，申请日期为2025年10月14日，发明人陆飞、王艾琳、于海超，专利代理机构苏州谨和知识产权代理事务所（特殊普通合伙），专利代理师田媛，分类号C21D9/00、B81C3/00、B81B7/02、G01R1/02、G01R1/04、G01R1/067、C21D1/30、C22F1/00。

专利摘要显示，本发明涉及一种用于MEMS探针退火的夹具以及MEMS探针的退火方法，包括第一晶圆，其一侧表面设有第一PI层，第一PI层上开设有第一凹槽；第二晶圆，其一侧表面设有第二PI层，第二PI层上开设有与第一凹槽相对的第二凹槽；第一晶圆和第二晶圆的PI层相对设置，并且第一凹槽与第二凹槽合模形成与待退火的MEMS探针外形吻合的容腔。本发明通过利用聚酰亚胺形成夹具，解决了高温退火中金属结构形变问题，同时能够适配多种复杂结构，完美贴合探针，无需单独制作高精度夹具，降低制作成本。

天眼查数据显示，强一半导体（苏州）股份有限公司成立日期1970年1月18日，法定代表人周明，所属行业为仪器仪表制造业，企业规模为中型，注册资本9716.9418万人民币，实缴资本9716.91175万人民币，注册地址为苏州工业园区东长路88号S3幢。强一半导体（苏州）股份有限公司共对外投资了3家企业，参与招投标项目54次，财产线索方面有商标信息7条，专利信息277条，拥有行政许可20个。

强一半导体（苏州）股份有限公司近期专利情况如下：

序号专利名称专利类型法律状态申请号申请日期公开(公告)号公开(公告)日期发明人
1一种高稳定性的无氰亚硫酸金电镀液及电镀方法发明专利公布CN202511660536.02025-11-13CN121161375A2025-12-19马镜涵、周景怡、于海超
2用于MEMS探针表面镀层的铑基复合镀液及其电镀方法发明专利公布CN202511540098.42025-10-27CN121272510A2026-01-06吴博文、王兴刚、于海超
3一种LTCC基板及其制备方法发明专利公布CN202511503579.82025-10-21CN121248149A2026-01-02李传松、于海超、盛涛
4电镀设备及电镀液应力测试方法发明专利实质审查的生效、公布CN202511495052.52025-10-20CN121140990A2025-12-16印体健、吕航、王兴刚
5一种探针卡针尖制造方法及探针卡针尖发明专利实质审查的生效、公布CN202511495053.X2025-10-20CN121142119A2025-12-16于海超、印体健、王兴刚、赵梁玉
6一种低收缩率LTCC陶瓷基板的制备方法及LTCC陶瓷基板发明专利公布CN202511495055.92025-10-20CN121248270A2026-01-02于海超、王兴宇、盛涛
7一种可调节热膨胀系数低温共烧陶瓷的制备方法及低温共烧陶瓷发明专利公布CN202511495051.02025-10-20CN121248148A2026-01-02孟猛、盛涛、于海超
8一种用于MEMS探针退火的夹具以及MEMS探针的退火方法发明专利公布CN202511461490.X2025-10-14CN121272168A2026-01-06陆飞、王艾琳、于海超
9模量可调、高分散性、低排胶温度的生瓷片及其制备方法发明专利公布CN202511376571.X2025-09-25CN121270259A2026-01-06曹文恺、盛涛、于海超
10一种钯钴合金电镀液及其应用发明专利实质审查的生效、公布CN202511367659.52025-09-24CN121087576A2025-12-09王瑞勋、周景怡、于海超
11一种探针卡结构及其安装调节方法发明专利实质审查的生效、公布CN202511326584.62025-09-17CN121090873A2025-12-09张文博、李伟、于海超
12高温测试用的探针卡发明专利实质审查的生效、公布CN202511281710.02025-09-09CN121049822A2025-12-02林子轩、于海超、李伟
13探针卡的制作方法以及探针卡发明专利实质审查的生效、公布CN202511270071.82025-09-08CN121049552A2025-12-02盛涛、于海超
14磁控溅射设备及镀膜方法发明专利公布CN202511225965.52025-08-29CN121023449A2025-11-28陆飞、于海超、王艾琳
15一种高频探针卡介质层的制备方法以及高频探针卡发明专利实质审查的生效、公布CN202511221425.X2025-08-29CN121142116A2025-12-16师晋海、董政、王森庭、赵梁玉
16一种用于铜及铜合金的电化学抛光液以及抛光方法发明专利实质审查的生效、公布CN202511216077.72025-08-28CN120844181A2025-10-28吴博文、王兴刚、于海超
17生瓷片烘烤料篮发明专利实质审查的生效、公布CN202511149192.72025-08-18CN120799920A2025-10-17杨景因、夏鹤天、刘伟、于海超
18多层式生瓷片手动叠层治具发明专利实质审查的生效、公布CN202511142695.12025-08-15CN120791671A2025-10-17杨景因、夏鹤天、刘伟、于海超
19一种CIS晶圆测试探针卡发明专利实质审查的生效、公布CN202511146464.82025-08-15CN120915936A2025-11-07于海超、张款
20垂直探针头发明专利实质审查的生效、公布CN202511121334.92025-08-12CN120629668A2025-09-12张文博、李伟、于海超
21一种CIS探针卡量测设备的校准方法发明专利公布CN202511123874.02025-08-12CN120669186A2025-09-19宋海永、李云、任延增
22一种CIS探针卡镜头模组光学参数检测装置及检测方法发明专利公布CN202511124095.22025-08-12CN120947995A2025-11-14宋海永、李云、任延增
23具有多个PH的垂直式探针卡及其PH精定位装配方法发明专利实质审查的生效、公布CN202511097105.82025-08-06CN120928011A2025-11-11宋海永、赖鹏
24探针卡的稳态热仿真方法发明专利公布CN202511090812.42025-08-05CN120995770A2025-11-21罗力晨、于海超、封振
25LTCC用高韧水性陶瓷浆料及应用发明专利实质审查的生效、公布CN202510995202.22025-07-18CN120923217A2025-11-11王兴宇、盛涛、于海超
26用于检测探针错孔的测试晶圆及探针卡的检测方法发明专利实质审查的生效、公布CN202510885598.52025-06-30CN120630081A2025-09-12于海超、高俊恒
27探针卡空间转换器及其制备方法发明专利实质审查的生效、公布CN202510884527.32025-06-30CN120741903A2025-10-03于海超、夏鹤天、侯克玉、刘伟、宋文硕
28一种用于薄膜探针卡测试系统的宽带共面波导过渡结构发明专利实质审查的生效、公布CN202510877906.X2025-06-27CN120601114A2025-09-05于海超、赵亮、封振
29一种直线型垂直探针卡发明专利实质审查的生效、公布CN202510839443.82025-06-23CN120629666A2025-09-12于海超、李伟
30一种分体式中介层及其组装方法、探针卡发明专利实质审查的生效、公布CN202510759080.72025-06-09CN120577568A2025-09-02张款、于海超
31多层陶瓷基板及其制备方法发明专利公布CN202510734327.X2025-06-04CN120664888A2025-09-19宋文硕、于海超、夏鹤天、刘伟
32一种探针卡MLOpad点位收缩设计仿真方法发明专利实质审查的生效、公布CN202510655982.62025-05-21CN120449800A2025-08-08杨峥、宋海永
33一种LTCC用高致密性生瓷片的制备方法发明专利实质审查的生效、公布CN202510553514.82025-04-29CN120423858A2025-08-05李传松、盛涛、于海超
34一种低温共烧陶瓷高密度生瓷片的制备方法发明专利实质审查的生效、公布CN202510515711.02025-04-23CN120271327A2025-07-08王兴宇、盛涛、于海超
35探针卡键合用工装发明专利实质审查的生效、公布CN202510469228.32025-04-15CN120314613A2025-07-15于海超、高俊恒
36一种MEMS垂直式探针卡发明专利实质审查的生效、公布CN202510239598.82025-03-03CN119846280A2025-04-18宋海永、杨寿坤、郭靖、刘明星
37用于MEMS悬臂探针的新型焊接方法发明专利实质审查的生效、实质审查的生效、公布CN202510129117.82025-02-05CN120079952A2025-06-03宋文硕、于海超
38一种均衡针间弹性系数差异的薄膜探针卡结构以及方法发明专利实质审查的生效、公布CN202510091496.62025-01-21CN119667230A2025-03-21于海超、赵梁玉、高小涵、汪凯
39用于MEMS探针卡的装配检测装置和检测方法发明专利实质审查的生效、公布CN202510088339.X2025-01-21CN119881774A2025-04-25张文博、周培清、于海超
40一种电镀液以及铑合金镀层的制造方法发明专利实质审查的生效、公布CN202510083490.42025-01-20CN119900059A2025-04-29吕航、王兴刚、于海超
41加载开路枝节的超宽带过渡传输结构发明专利实质审查的生效、公布CN202510020206.92025-01-07CN120033433A2025-05-23于海超、赵亮、封振
42一种生瓷片的打孔辅助工具及打孔方法发明专利实质审查的生效、实质审查的生效、公布CN202411875383.72024-12-19CN119501349A2025-02-25夏鹤天、于海超
43一种生瓷片的填充方法、共烧陶瓷基板的制作方法以及共烧陶瓷基板发明专利实质审查的生效、公布CN202411875348.52024-12-19CN119764176A2025-04-04夏鹤天、刘伟、于海超
44一种钯钴合金电镀液及其制备方法和应用发明专利实质审查的生效、公布CN202411805958.82024-12-10CN119615310A2025-03-14周景怡、王瑞勋、于海超
45一种钯或钯合金镀层的应力调节剂及其应用发明专利实质审查的生效、公布CN202411704076.22024-11-26CN119615309A2025-03-14周景怡、王瑞勋、于海超
46一种用于钯钴合金电镀液的光亮剂及其应用发明专利实质审查的生效、公布CN202411655362.42024-11-19CN119433641A2025-02-14周景怡、王瑞勋、于海超
47一种具有核壳结构的陶瓷粉末的制备方法、生瓷带的制备方法以及应用发明专利实质审查的生效、公布CN202411487852.82024-10-24CN119306501A2025-01-14于海超、邵宇、盛涛
48高密度高强度的LTCC生瓷片及其制备方法和应用发明专利实质审查的生效、公布CN202411483601.22024-10-23CN119263796A2025-01-07盛涛、于海超
49LTCC浆液分散性评价方法发明专利实质审查的生效、公布CN202411484524.22024-10-23CN119309971A2025-01-14盛涛、于海超
50夹层稳定替换装置发明专利实质审查的生效、公布CN202411454256.X2024-10-17CN119355309A2025-01-24高俊恒、于海超、李伟

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