中欣晶圆取得硅片缺口加工相关专利，手动加工硅片边缘缺口，便捷稳定成效多_商业

中欣晶圆取得硅片缺口加工相关专利，手动加工硅片边缘缺口，便捷稳定成效多

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2025-12-30 21:23:08

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12月30日消息，国家知识产权局信息显示，杭州中欣晶圆半导体股份有限公司申请一项名为“对硅片边缘手动加工缺口的操作方法”的专利，授权公告号CN117047566B，授权公告日为2025年12月30日。申请公布号为CN117047566A，申请号为CN202311018528.7，申请公布日期为2025年12月30日，申请日期为2023年8月14日，发明人李昌华、楼刚刚、高威、贾俊、陈广，专利代理机构杭州融方专利代理事务所（普通合伙），专利代理师沈相权，分类号B24B1/00、B24B9/06、B24B49/12、B24B27/06、B24B41/06、B24B55/02、B24B49/00。

专利摘要显示，本发明涉及一种对硅片边缘手动加工缺口的操作方法，所属半导体加工技术领域，包括如下操作步骤：先在激光厚度测量设备上对硅片进行厚度检测。根据硅片的厚度选择开槽砂轮组件。接着将无缺口的硅片放在卡槽检测区的测试片卡槽。然后选择缺口粗研单元移动，研削台上吸着无缺口的硅片。再选择倒角机手动操作模式，拟研削台四方位移动动态。把研削仓门关闭，砂轮冷却水打开，开启倒角机主轴旋转对无缺口硅片进行开槽倒角。接着把机台接受硅片方式修改凹槽形状模式，对硅片进行粗倒角和精倒角。具有操作便捷、省时省力和运行稳定性好的特点。解决硅片在同样的工艺加工条件下，实现不同的方位晶向的硅片，达到多方面的技术成效。

天眼查数据显示，杭州中欣晶圆半导体股份有限公司成立日期1970年1月18日，法定代表人贺贤汉，所属行业为计算机、通信和其他电子设备制造业，企业规模为大型，注册资本503225.6776万人民币，实缴资本503225.6776万人民币，注册地址为浙江省东垦路888号。杭州中欣晶圆半导体股份有限公司共对外投资了6家企业，参与招投标项目42次，财产线索方面有商标信息7条，专利信息390条，拥有行政许可22个。

杭州中欣晶圆半导体股份有限公司近期专利情况如下：

序号	专利名称	专利类型	法律状态	申请号	申请日期	公开(公告)号	公开(公告)日期	发明人
1	基于红外线阵扫描的倒角机崩边实时检测装置及方法	发明专利	公布	CN202511567859.5	2025-10-30	CN121104823A	2025-12-12	杜书红
2	基于CMP工序用的研磨液添加系统及方法	发明专利	公布	CN202511549473.1	2025-10-28	CN121223690A	2025-12-30	杨石平
3	硅片研磨设备的定盘清洁与维护方法	发明专利	公布	CN202511344562.2	2025-09-19	CN121156902A	2025-12-19	王小明
4	CMP抛光布更换定位导向器及气泡排除辅助夹具	发明专利	公布	CN202511296333.8	2025-09-11	CN121179349A	2025-12-23	陈彬
5	硅片倒角机清洗槽加工后硅片背面残留水珠清理方法	发明专利	公布	CN202511224626.5	2025-08-29	CN121171927A	2025-12-19	唐鸿钦、杨自立、罗敏杰
6	在LPCVD制备工艺中的高稳定性石英硅舟平台结构及方法	发明专利	公布	CN202511224618.0	2025-08-29	CN121161264A	2025-12-19	刘文涛、李赛武
7	无尘室用适应多规格上料的升降式防震动工具车及方法	发明专利	实质审查的生效、公布	CN202511215435.2	2025-08-28	CN121083591A	2025-12-09	田飞、杨自立
8	改善硅片经过SP1后产生背面手臂印记的工装及方法	发明专利	公布	CN202511143738.8	2025-08-15	CN121171964A	2025-12-19	郑斌
9	半导体硅片检测人员智能培训与动态知识管理方法	发明专利	公布	CN202511102792.8	2025-08-07	CN121190261A	2025-12-23	董盼盼、罗敏杰
10	半导体硅片返抛品全流程智能管理方法及系统	发明专利	公布	CN202511102795.1	2025-08-07	CN121189357A	2025-12-23	李叶梅、罗敏杰
11	针对磨片机的分体式清洁系统及工艺	发明专利	公布	CN202511050050.5	2025-07-29	CN120755109A	2025-10-10	苏鹏辉
12	用于晶圆加工的BSD实验装置及其控制方法	发明专利	实质审查的生效、公布	CN202511050080.6	2025-07-29	CN121004547A	2025-11-25	魏朋朋
13	硅片装载泡沫箱开箱工具及其使用方法	发明专利	实质审查的生效、公布	CN202511017736.4	2025-07-23	CN120793342A	2025-10-17	杨自立、罗敏杰
14	一种用于硅片酸腐蚀的工艺方法	发明专利	实质审查的生效、公布	CN202510980373.8	2025-07-16	CN121054480A	2025-12-02	缪燃
15	一种针对硅片抛光机的销环柱自动清理系统及工艺	发明专利	实质审查的生效、公布	CN202510973791.4	2025-07-15	CN120734883A	2025-10-03	王方立
16	一种晶圆片的检测系统及方法	发明专利	公布	CN202510973721.9	2025-07-15	CN120992647A	2025-11-21	李鹏、包亚平
17	一种快速校准马波斯气压计的校正工具	发明专利	实质审查的生效、公布	CN202510975826.8	2025-07-15	CN121048825A	2025-12-02	石建群
18	一种提升12寸LTO背封膜厚均一性的方法	发明专利	实质审查的生效、公布	CN202510968442.3	2025-07-14	CN121046812A	2025-12-02	陈珈璐、高洪涛、何荣
19	一种提高双面研削机清洗部清洗效果以及效率的结构和方法	发明专利	实质审查的生效、公布	CN202510961337.7	2025-07-14	CN121054525A	2025-12-02	崔银昊
20	一种用于改善抛光片平坦度和划伤的方法	发明专利	公布	CN202510961110.2	2025-07-12	CN120772953A	2025-10-14	张文军
21	研磨桶颗粒聚集的改进方法	发明专利	实质审查的生效、公布	CN202510950873.7	2025-07-10	CN120791624A	2025-10-17	孙贵昌
22	晶圆抛光机回收箱的改造挂件及其控制方法	发明专利	实质审查的生效、公布	CN202510950876.0	2025-07-10	CN120862570A	2025-10-31	张亚生、孙月超
23	一种可视化的自动化仓库点位调整治具及操作方法	发明专利	实质审查的生效、公布	CN202510930369.0	2025-07-07	CN120622092A	2025-09-12	钱鹏飞
24	降低硅片边缘粗糙度的工艺方法	发明专利	实质审查的生效、公布	CN202510860222.9	2025-06-25	CN120619986A	2025-09-12	张森阳
25	单晶硅快速热处理工艺的氧化诱生层错抑制方法及系统	发明专利	实质审查的生效、公布	CN202510836649.5	2025-06-21	CN120844203A	2025-10-28	王云峰、蔡来强、焦芬芬
26	一种降低晶圆体金属的加工工艺	发明专利	实质审查的生效、公布	CN202510823152.X	2025-06-19	CN120645044A	2025-09-16	孙若力
27	防止重掺气孔产品流出的方法	发明专利	实质审查的生效、公布	CN202510828853.2	2025-06-19	CN120801345A	2025-10-17	康海洋、吴瑶、张晨阳
28	一种改善硅片翘曲度的方法	发明专利	实质审查的生效、公布	CN202510813030.2	2025-06-18	CN120591749A	2025-09-05	焦芬芬
29	一种提升12寸晶圆19nm颗粒水平的清洗方法	发明专利	实质审查的生效、公布	CN202510813029.X	2025-06-18	CN120600627A	2025-09-05	陈坚
30	高平坦度低缺陷密度退火片的加工方法	发明专利	实质审查的生效、公布	CN202510783876.6	2025-06-12	CN120878544A	2025-10-31	张沛
31	对12寸硅片边缘抛光的研磨鼓布快速替换装置及方法	发明专利	实质审查的生效、公布	CN202510719344.6	2025-05-30	CN120439181A	2025-08-08	陈彬
32	一种针对lpcvd尾气无害化处理装置及工艺	发明专利	实质审查的生效、公布	CN202510719341.2	2025-05-30	CN120679339A	2025-09-23	平铁卫
33	硅材料高平坦度CMP的加工方式	发明专利	实质审查的生效、公布	CN202510673038.3	2025-05-23	CN120715794A	2025-09-30	徐威楠
34	一种晶圆制备中晶圆陶瓷夹持手臂组件结构及操作方法	发明专利	实质审查的生效、公布	CN202510538146.X	2025-04-27	CN120565487A	2025-08-29	方涛
35	针对滑移线与孪晶的鉴别分析设备及区分方法	发明专利	实质审查的生效、公布	CN202510538145.5	2025-04-27	CN120609852A	2025-09-09	何珍碧
36	提高抛光硅片体铁检测精度的SPV前处理方法	发明专利	实质审查的生效、公布	CN202510479389.0	2025-04-16	CN120413412A	2025-08-01	王鸣
37	分析氧化炉污染的方法	发明专利	实质审查的生效、公布	CN202510476561.7	2025-04-16	CN120413453A	2025-08-01	王烨华、康海洋
38	硅片抛光机结晶的清理方法	发明专利	实质审查的生效、公布	CN202510425703.7	2025-04-07	CN120116148A	2025-06-10	高威
39	改善快速热处理滑移线的方法	发明专利	实质审查的生效、公布	CN202510425702.2	2025-04-07	CN120341116A	2025-07-18	李媛
40	一种晶圆表面颗粒的清洗结构及工艺	发明专利	实质审查的生效、公布	CN202510393154.X	2025-03-31	CN120376456A	2025-07-25	王伟东
41	提高高电阻晶圆平坦度测试准确性的装置及方法	发明专利	实质审查的生效、公布	CN202510393157.3	2025-03-31	CN120417190A	2025-08-01	张倩
42	一种减少硅片平坦度测试被颗粒干扰的装置及方法	发明专利	实质审查的生效、公布	CN202510393149.9	2025-03-31	CN120576712A	2025-09-02	毛攀、郑斌、王江华
43	用于硅片研磨的抛光垫结构及其控制方法	发明专利	实质审查的生效、公布	CN202510290369.9	2025-03-12	CN120326521A	2025-07-18	徐姜炜
44	硅片加工中发生碎裂的触发报警装置及其控制方法	发明专利	实质审查的生效、公布	CN202510249271.9	2025-03-04	CN119910570A	2025-05-02	何航党
45	双面研磨后硅片表面的清洁方法	发明专利	实质审查的生效、实质审查的生效、公布	CN202510177675.1	2025-02-18	CN120079612A	2025-06-03	贾俊、于洋、吴闯
46	晶圆缺口磨损改善改进方法	发明专利	实质审查的生效、公布	CN202510136832.4	2025-02-07	CN119927789A	2025-05-06	李开勋
47	降低混酸消耗的酸腐蚀机辅助装置及其控制方法	发明专利	实质审查的生效、公布	CN202510136831.X	2025-02-07	CN120015659A	2025-05-16	唐鸿钦、缪燃
48	降低抛光表面划伤的工艺方法	发明专利	实质审查的生效、公布	CN202510085770.9	2025-01-20	CN120033076A	2025-05-23	张森阳
49	改善硅片表面粗糙度的工艺方法	发明专利	实质审查的生效、公布	CN202510089337.2	2025-01-20	CN120048724A	2025-05-27	蔡来强
50	改善CVD中硅片品质的低温退火工艺	发明专利	实质审查的生效、公布	CN202510035486.0	2025-01-09	CN119776797A	2025-04-08	刘文涛

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