12月30日消息，国家知识产权局信息显示，玛特森技术公司、北京屹唐半导体科技股份有限公司申请一项名为“用于热处理系统的支撑结构”的专利，授权公告号CN115176338B，授权公告日为2025年12月30日。申请公布号为CN115176338A，申请号为CN202180017407.3，申请公布日期为2025年12月30日，申请日期为2021年2月24日，发明人曼努埃尔·森、罗尔夫·布雷门斯多夫、斯克·哈姆、亚历克斯·旺斯德勒，专利代理机构北京易光知识产权代理有限公司，专利代理师梅丹丹、武晨燕，分类号H01L21/687、H01L21/67。

专利摘要显示，提供了用于热处理系统的支撑板和支撑结构以加热工件。在一个示例中，提供了一种热处理装置，包括：多个热源、可旋转支撑板以及支撑结构，该支撑结构在可旋转支撑板的径向方向上的柔性大于在可旋转支撑板的方位方向上的柔性。还提供了用于在热处理装置中支撑工件的支撑板。支撑板可以包括限定径向方向和方位方向的基座，以及至少一个从基座延伸的支撑结构，该支撑结构在基座的径向方向上的柔性大于在基座的方位方向上的柔性。

屹唐股份成立于2015年12月30日，于2025年7月8日在上海证券交易所上市，注册地址和办公地址均为北京市。该公司是全球领先的集成电路制造设备供应商，核心业务覆盖干法去胶、快速热处理等设备，技术实力强劲。

屹唐股份主要从事集成电路制造所需晶圆加工设备的研产销，面向全球厂商提供设备及配套工艺解决方案与相关服务。公司所属申万行业为电子 - 半导体 - 半导体设备，概念板块包括集成电路、半导体、大盘。

2025年三季度，屹唐股份实现营业收入37.96亿元，在23家同行中排名第5，高于行业平均数30.84亿元和中位数11.03亿元，但与第一名北方华创的273.01亿元、第二名中微公司的80.63亿元有差距。净利润为5.16亿元，行业排名第7，高于行业平均数5.04亿元和中位数1.29亿元，不过与第一名北方华创的49.8亿元、第二名盛美上海的12.66亿元存在差距。

北京屹唐半导体科技股份有限公司近期专利情况如下：

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