精测电子：14nm、28nm明场检测设备交付验收，有望成业绩核心驱动力
创始人
2025-11-27 17:31:20
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投资者提问：
尊敬的董秘，公司 BFI 设备已实现 14nm 交付、28nm 验收，半导体在手订单占比超五成，但从该设备单价推断BFI设备未大规模放量。请问未放量核心原因是什么？盼清晰回复以助投资者判断。
董秘回答(精测电子SZ300567)：
您好！在明场光学缺陷检测设备领域，公司目前已累计取得多台（套）正式订单，已实现小批量交付及验收。其中，14nm先进制程工艺节点的明场缺陷检测设备已正式交付客户，目前验收等相关工作进展顺利，设备运行情况良好；28nm制程工艺节点的明场缺陷检测设备已在客户端完成验收。明场光学缺陷检测设备等新产品，预计后续会成为公司业绩的核心驱动力。感谢您对公司的关注，谢谢！
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