（来源：先进制造新视角）

【东吴机械】周尔双13915521100/李文意18867136239/韦译捷/黄瑞/谈沂鑫17851090557/陶泽/柴悦茹19121516899/刘捷宇/闻嘉怡

投资评级：增持（维持）

 1 半导体设备加速放量，收入占比过半

2026年上半年公司实现营收11.89亿元，同比+13.3%，主要系半导体设备量产规模、工艺覆盖度持续提升，批量通过客户验收；分业务看，半导体设备实现收入6.29亿元，同比+224.8%，占主营业务收入比重提升至53.1%，成为公司核心增长极；光伏设备实现收入3.82亿元，同比-52.5%，主要受光伏行业周期性调整影响；实现归母净利润1.02亿元，同比-46.7%；扣非归母净利润0.60亿元，同比-55.9%，主要系光伏业务收入回落及计提较大金额减值、半导体业务放量初期成本上涨较快、研发费用及财务费用增加所致。2026Q2单季实现营收7.07亿元，同比+31.1%，环比+46.7%；归母净利润0.81亿元，同比-24.8%，环比+287.4%；扣非归母净利润0.38亿元，同比-30.8%，环比+72.5%。

 2 盈利能力短期承压，研发投入持续高增

2026H1公司毛利率为31.6%，同比-4.4pct，主要系半导体设备尚处规模放量初期、折旧摊销及产品结构影响较大，叠加光伏业务计提较大金额减值所致；销售净利率为8.6%，同比-9.7pct；期间费用率为24.6%，同比+1.7pct，其中销售/管理/研发/财务费用率分别为3.2%/5.8%/11.6%/4.0%，同比-0.2pct/+0.6pct/-1.1pct/+2.4pct，财务费用率上升主要系可转债利息摊销及汇兑损失增加所致。2026H1公司研发投入2.45亿元，同比+60.1%，占营收比例达20.6%。2026Q2单季毛利率为30.8%，同比-5.1pct，环比-1.9pct；销售净利率为11.5%，同比-8.5pct，环比+7.2pct。

3经营性现金流大幅转正

截至2026年6月末，公司存货为29.36亿元，较年初-5.6%；合同负债为16.62亿元，较年初-15.1%。2026H1公司经营活动净现金流为1.92亿元，同比大幅转正，主要系原材料备货充足、采购付款相对减少及销售回款增加所致。2026Q2单季经营活动净现金流为1.23亿元，同比大幅转正，环比+77.0%。

4半导体设备持续突破，订单快速放量

公司多款ALD、CVD设备获得重点客户验证与量产导入，半导体设备新签订单规模再创新高，占全部新签订单比例超85%，增量主要来自存储领域客户。（1）分产品来看，①ALD 设备：由逻辑、存储、先进封装等主流应用场景成功拓展至硅基电容等新兴应用场景，并在前沿技术领域持续取得突破；②CVD设备：完成下一代新型碳膜及掺杂碳膜设备开发，LPCVD等产品逐步获得产业链重要客户量产重复订单。（2）分应用场景来看，①存储：ALD与高端CVD设备已批量应用于国产存储芯片量产产线，随存储芯片3D堆叠层数持续提升、客户产能规模加速扩张，相关设备需求有望持续放量。②逻辑：多款设备已通过客户严格的技术验证，关键指标达国际先进水平。③先进封装：公司积极推动设备在客户端验证，产品采用独特低温控制技术，适配Chiplet、2.5D/3D封装对低热预算、厚膜沉积等需求。产能建设方面，2025年可转债募投项目加速推进，薄膜沉积设备智能化工厂投资进度已超60%，持续提升规模化交付能力。

5前瞻布局新兴领域，培育第二增长曲线

①固态电池：ALD技术可用于固态电解质薄膜制备与致密化、界面缓冲层构筑及锂金属负极保护，有效提升库伦效率与循环稳定性。②硅基OLED：ALD凭借原子级厚度控制精度与优异薄膜均匀性，可满足硅基OLED钝化层、封装层等关键薄膜沉积需求。③面板级封装：公司布局玻璃基PLP所需ALD/CVD薄膜沉积设备，可满足TGV内壁绝缘层、RDL侧壁保护层及大面积多层介电层等制程需求。

盈利预测与投资评级

考虑到下游行业高景气，公司新产品放量，我们维持公司2026/2027/2028年归母净利润为3.7/4.8/6.1亿元，当前市值对应2026-2028年动态PE分别为149/115/92X，维持“增持”评级。

风险提示

下游扩产不及预期，新品拓展不及预期。

东吴机械团队

东吴机械研究团队荣誉

2024年 新财富最佳分析师 机械行业 第四名

2024年 Wind金牌分析师 机械行业 第一名

2023年 新财富最佳分析师 机械行业 第四名

2023年 Wind金牌分析师 机械行业 第一名

2022年 新财富最佳分析师 机械行业 第三名

2022年 Wind金牌分析师 机械行业 第二名

2021年 新财富最佳分析师 机械行业 第三名

2021年 Wind金牌分析师 机械行业 第一名

2020年 新财富最佳分析师 机械行业 第三名

2020年 卖方分析师水晶球奖 机械行业 第五名

2019年 新财富最佳分析师 机械行业 第三名

2017年 新财富最佳分析师 机械行业 第二名

2017年 金牛奖最佳分析师 高端装备行业 第二名

西南财经大学经济学学士，中国人民大学管理学硕士，2023年加入东吴证券。

上海财经大学经济学学士，中国人民大学经济学硕士，2025年加入东吴证券。

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