8月29日消息，国家知识产权局信息显示，江苏微导纳米科技股份有限公司申请一项名为“反应腔内累计膜厚的检测方法、检测系统和薄膜沉积设备”的专利。申请公布号为CN122650884A，申请号为CN202610966989.4，申请公布日期为2026年8月28日，申请日期为2026年6月30日，发明人高力、张子涵、徐峰，专利代理机构北京博遵律师事务所，专利代理师张春雨，分类号G01B21/08、C23C16/52。

专利摘要显示，本申请公开了一种反应腔内累计膜厚的监测方法、检测系统和薄膜沉积设备。其中，反应腔内累计膜厚的检测方法包括在薄膜沉积工艺过程中，按照设定循环次数或沉积时间，采集腔盖温度和对应的薄膜厚度的数据；建立腔盖温度与薄膜厚度之间的关联模型；实时采集腔盖温度，通过关联模型预测对应的薄膜厚度及对应的置信区间；预设薄膜厚度的多级控制阈值，并根据薄膜厚度及其置信区间执行分级管控。本申请提供的反应腔内累计膜厚的检测方法能够在降低工艺成本的同时兼顾薄膜沉积效果，提高产品的良品率。

微导纳米是国内原子层沉积（ALD）设备领域领军企业，专注先进薄膜沉积装备研发，具备全产业链技术壁垒。公司成立于2015年12月25日，2022年12月23日登陆上海证券交易所，注册及办公地点均位于江苏省无锡市。

公司核心业务以ALD技术为核心，聚焦先进微、纳米级薄膜沉积技术和设备的研究与产业化应用，为光伏、集成电路、柔性电子等半导体与泛半导体行业提供高端装备与技术解决方案，所属申万行业为电力设备-光伏设备-光伏加工设备，覆盖年度强势、先进封装、存储概念等概念板块。

2026年上半年，微导纳米实现营业收入11.89亿元，在12家同行业可比公司中排名第8，低于行业平均18.39亿元、行业中位数18.85亿元，同期行业营收前两位分别为晶盛机电34.52亿元、迈为股份29.09亿元；当期实现净利润1.02亿元，行业排名第7，低于行业平均1.15亿元、行业中位数1.43亿元，同期行业净利润前两位分别为捷佳伟创3.75亿元、拉普拉斯3.18亿元。从主营业务构成来看，半导体设备贡献营收6.29亿元，占比53.11%；光伏设备贡献营收3.82亿元，占比32.27%；配套产品及服务贡献营收1.45亿元，占比12.27%；其他业务贡献营收2778.76万元，占比2.35%。

江苏微导纳米科技股份有限公司近期专利情况如下：

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