8月26日消息,国家知识产权局信息显示,深圳中科飞测科技股份有限公司申请一项名为“不同角度下量测点的定位方法、定位系统、小角散射系统和存储介质”的专利。申请公布号为CN122612641A,申请号为CN202610748017.8,申请公布日期为2026年8月21日,申请日期为2026年5月27日,发明人陈鲁、马砚忠、李鹰,专利代理机构北京集佳知识产权代理有限公司,专利代理师赵晓荣,分类号G01N23/201、G01N23/20008。
专利摘要显示,本申请提供一种不同角度下量测点的定位方法、定位系统、小角散射系统和存储介质,在待测样品以第一角度放置于样品旋转载台时,获取待测样品上的标记点在样品旋转载台坐标系中的第一标记坐标,根据第一标记坐标通过样品旋转载台将标记点移动至相机视野内;基于第一标记坐标、第一角度对应的第一偏移量以及第二偏移量,确定量测点在样品旋转载台坐标系中的第一量测坐标。在待测样品旋转至第二角度时,基于第一标记坐标以及角度差,确定标记点在样品旋转载台坐标系中的第二标记坐标;基于第二标记坐标、第二角度对应的第三偏移量以及第二偏移量,确定量测点在样品旋转载台坐标系中的第二量测坐标,保障准确确定出量测点位置。
中科飞测是国内领先的集成电路检测量测设备供应商,依托自主核心技术打破海外厂商长期技术垄断。公司成立于2014年12月31日,于2023年5月19日在上海证券交易所上市,注册及办公地址均位于广东省深圳市。
中科飞测主营业务为检测和量测两大类集成电路专用设备的研发、生产和销售,所属申万行业为电子-半导体-半导体设备,同时覆盖半导体检测、HBM概念、中芯国际概念三大概念板块。
2026年上半年,中科飞测实现营业收入9.41亿元,在12家同行业可比公司中排名第8,同期行业营收第一名北方华创达201.61亿元,第二名中微公司为66.91亿元,行业平均营收34.46亿元,行业中位数为13.03亿元;营收结构方面,检测设备贡献6.41亿元,占比68.17%,量测设备贡献2.66亿元,占比28.22%,服务及其他业务收入3348.72万元,占比3.56%,软件业务收入53.1万元,占比0.06%。当期公司净利润为-1.27亿元,在12家同行业可比公司中排名第11,同期行业净利润第一名北方华创达32.29亿元,第二名中微公司为27.97亿元,行业平均净利润7.31亿元,行业中位数为1.26亿元。
| 指标类别 | 具体指标 | 中科飞测2026年上半年数据 | 行业对标情况 |
|---|---|---|---|
| 营收表现 | 营业收入 | 9.41亿元,行业排名8/12 | 行业第一北方华创201.61亿元、第二中微公司66.91亿元,行业均值34.46亿元、中位数13.03亿元 |
| 营收结构 | 检测设备 | 6.41亿元,占比68.17% | - |
| 营收结构 | 量测设备 | 2.66亿元,占比28.22% | - |
| 营收结构 | 服务及其他 | 3348.72万元,占比3.56% | - |
| 营收结构 | 软件 | 53.1万元,占比0.06% | - |
| 利润表现 | 净利润 | -1.27亿元,行业排名11/12 | 行业第一北方华创32.29亿元、第二中微公司27.97亿元,行业均值7.31亿元、中位数1.26亿元 |
深圳中科飞测科技股份有限公司近期专利情况如下:
| 序号 | 专利名称 | 专利类型 | 法律状态 | 申请号 | 申请日期 | 公开(公告)号 | 公开(公告)日期 | 发明人 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 1 | 半导体版图与光学图的对齐方法、设备及存储介质 | 发明专利 | 公布 | CN202611001185.7 | 2026-07-07 | CN122636675A | 2026-08-25 | 齐鑫、张鹏斌、李楠楠、陈鲁 |
| 2 | 消相干照明系统以及通过消相干获取照明光的方法 | 发明专利 | 公布 | CN202610977127.1 | 2026-07-01 | CN122632464A | 2026-08-25 | 陈鲁、黄有为、杨雪芳、赵哲承 |
| 3 | 一种机台的晶圆产能计算方法、计算装置及计算系统 | 发明专利 | 公布 | CN202610963067.8 | 2026-06-30 | CN122594625A | 2026-08-18 | 荣楠、陈鲁、金炼 |
| 4 | 面型计算系统和面型计算方法 | 发明专利 | 公布 | CN202610893239.9 | 2026-06-22 | CN122432442A | 2026-07-21 | 郁健、马砚忠、余涛、陈鲁 |
| 5 | 移相同步监控补偿的干涉仪及控制方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202610870545.0 | 2026-06-16 | CN122384663A | 2026-07-14 | 尉佩、马砚忠、陈鲁 |
| 6 | 多层焊柱的高度测量方法、芯片倾角测量方法及多层焊柱的高度测量系统 | 发明专利 | 公布 | CN202610788009.6 | 2026-06-02 | CN122641323A | 2026-08-25 | 陈鲁、马砚忠、张越 |
| 7 | 不同角度下量测点的定位方法、定位系统、小角散射系统和存储介质 | 发明专利 | 公布 | CN202610748017.8 | 2026-05-27 | CN122612641A | 2026-08-21 | 陈鲁、马砚忠、李鹰 |
| 8 | 扫描电子显微镜 | 发明专利 | 公布 | CN202610702437.2 | 2026-05-20 | CN122638408A | 2026-08-25 | 吕肃、陈鲁、朱春涛 |
| 9 | 一种标准片及掩膜版 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202610653251.2 | 2026-05-13 | CN122267035A | 2026-06-23 | 吕肃、蒋路翔、陈鲁 |
| 10 | 一种掩膜版缺陷检测方法和相关装置 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202610653893.2 | 2026-05-12 | CN122492647A | 2026-07-31 | 陈鲁、黄有为、杨坚 |
| 11 | 一种图像对位方法、装置及存储介质 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202610637168.6 | 2026-05-11 | CN122223079A | 2026-06-16 | 张鹏斌、韩欣、潘浩、齐鑫、陈鲁 |
| 12 | 芯片角度调整方法、装置及介质 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202610612432.0 | 2026-05-06 | CN122497326A | 2026-07-31 | 李炎、李鹰、马砚忠、陈鲁 |
| 13 | 一种检测系统及其自动调焦方法、存储介质 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202610541586.5 | 2026-04-23 | CN122120580A | 2026-05-29 | 尉佩、马砚忠、陈鲁 |
| 14 | 产品的检测方法、检测系统和服务器 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202610451627.1 | 2026-04-07 | CN122415314A | 2026-07-17 | 陈明山、黄有为、陈鲁 |
| 15 | 渲染模型的校准方法、校准系统及存储介质 | 发明专利 | 公布 | CN202610449883.7 | 2026-04-07 | CN122435107A | 2026-07-21 | 柯贤华、黄有为、陈鲁 |
| 16 | 一种大尺寸曲晶圆形貌测量装置及方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202610429525.X | 2026-04-02 | CN122305979A | 2026-06-30 | 孙晶露、马砚忠、邓忠寒、陈鲁 |
| 17 | 金属薄膜光声信号零点测量方法、装置、设备及存储介质 | 发明专利 | 公布 | CN202610399241.0 | 2026-03-27 | CN122430249A | 2026-07-21 | 白园园、崔舒涵、马砚忠、陈鲁 |
| 18 | 缓存装置、检测设备及检测工艺 | 发明专利 | 授权 | CN202610378049.3 | 2026-03-26 | CN121941304B | 2026-06-19 | 马砚忠、余涛、王见、陈鲁 |
| 19 | 波场计算方法和装置、散射图像获取方法及可读存储介质 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202610361993.8 | 2026-03-23 | CN122259619A | 2026-06-23 | 温朗枫、马砚忠、张兴民、陈鲁 |
| 20 | 一种成像装置及成像方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202610351971.3 | 2026-03-20 | CN122238387A | 2026-06-19 | 李炎、王旭、马砚忠、陈鲁 |
| 21 | 量测设备及其控制方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202610347630.9 | 2026-03-20 | CN122258790A | 2026-06-23 | 袁明波、王见、马砚忠、陈鲁 |
| 22 | 量测设备及其控制方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202610347632.8 | 2026-03-20 | CN122258791A | 2026-06-23 | 陈鲁、袁明波、马砚忠、王见 |
| 23 | 扫描电子显微镜工作距离的校准方法、扫描电子显微系统和存储介质 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202610203146.9 | 2026-02-11 | CN122108011A | 2026-05-29 | 邵双方、吕肃、陈鲁 |
| 24 | 结构参数反演方法、测量设备及计算机可读存储介质 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202610203714.5 | 2026-02-11 | CN122170767A | 2026-06-09 | 李炎、周中正、温朗枫、马砚忠、陈鲁 |
| 25 | 一种膜厚虚拟量测方法、模型训练方法及存储介质 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202610121250.3 | 2026-01-28 | CN122153281A | 2026-06-05 | 任泽林、田旷达、庄旭、张嵩、陈鲁 |
| 26 | 一种根因定位方法、根因定位系统及存储介质 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202610120891.7 | 2026-01-28 | CN122220959A | 2026-06-16 | 田旷达、杨思晓、张嵩、陈鲁 |
| 27 | 开关防护装置及X射线检测设备 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202610097307.0 | 2026-01-23 | CN122050905A | 2026-05-15 | 李炎、邢立娜、马砚忠、陈鲁 |
| 28 | 成像系统以及成像方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202610094342.7 | 2026-01-23 | CN122131550A | 2026-06-02 | 姚本溪、郝柏尊、吕肃、陈鲁 |
| 29 | 成像方法以及成像系统 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202610098261.4 | 2026-01-23 | CN122131551A | 2026-06-02 | 吕肃、姚本溪、郝柏尊、陈鲁 |
| 30 | 扫描电子显微镜对中调节方法及相关装置 | 发明专利 | 公布 | CN202610043765.6 | 2026-01-13 | CN121839511A | 2026-04-10 | 吕肃、许涛、陈鲁 |
| 31 | 一种图像测量系统 | 发明专利 | 公布 | CN202512060296.7 | 2025-12-31 | CN121837239A | 2026-04-10 | 刘健鹏、黎广言、张鹏斌、陈鲁 |
| 32 | 一种图像角度确定方法及图像角度确定装置、存储介质 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202512060747.7 | 2025-12-31 | CN121861000A | 2026-04-14 | 王启坤、黎广言、张鹏斌、陈鲁 |
| 33 | 一种光声测量过程中的刀口校准方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202512058972.7 | 2025-12-31 | CN121917461A | 2026-04-24 | 马砚忠、戴鹭楠、陈鲁 |
| 34 | 椭偏测量的修正方法、设备及存储介质 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202512060067.5 | 2025-12-31 | CN121996924A | 2026-05-08 | 马砚忠、高浩哲、陈鲁 |
| 35 | 一种聚焦偏移标定方法、系统以及存储介质 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202512036837.2 | 2025-12-30 | CN121720376A | 2026-03-24 | 吕肃、商橙、陈鲁 |
| 36 | 膜层测量装置和膜层测量方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202512044490.6 | 2025-12-29 | CN121720986A | 2026-03-24 | 孙韬、马砚忠、白园园、陈鲁 |
| 37 | 旋转补偿器及光学测量系统 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202512016763.6 | 2025-12-29 | CN121806272A | 2026-04-07 | 马砚忠、石海林、陈鲁 |
| 38 | 一种晶圆字符串检测方法及检测设备 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202512023232.X | 2025-12-29 | CN121903982A | 2026-04-21 | 董坤玲、杨亭、张鹏斌、陈鲁 |
| 39 | 膜层测量方法及装置 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202511985534.9 | 2025-12-25 | CN121855402A | 2026-04-14 | 陈鲁、马砚忠、孙韬、郑麦杰 |
| 40 | 一种光路装置、光学检测方法以及检测设备 | 发明专利 | 授权 | CN202511960845.X | 2025-12-24 | CN121384814B | 2026-03-31 | 赵康俊、张龙、黄有为、陈鲁 |
| 41 | 一种光路装置、光学检测方法以及检测设备 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202610143618.6 | 2025-12-24 | CN121918317A | 2026-04-24 | 陈鲁、黄有为、张龙 |
| 42 | 一种待测点的位置确定方法及光学检测系统、存储介质 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202511958659.2 | 2025-12-23 | CN121746485A | 2026-03-27 | 胡荣镇、姜菲菲、贺金龙、陈鲁 |
| 43 | 半导体量测系统和X射线束定位方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202511951765.8 | 2025-12-22 | CN121855427A | 2026-04-14 | 马砚忠、陈鲁、李炎、白园园、崔建华 |
| 44 | 一种数据处理方法和相关装置 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202511930385.6 | 2025-12-19 | CN121708098A | 2026-03-20 | 陈鲁、黄有为、张龙、陈忠奎、邹丽君、徐雨哲、孙守强 |
| 45 | 一种AI推理方法、推理系统及存储介质 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202511925037.X | 2025-12-18 | CN121902972A | 2026-04-21 | 贺金龙、陈基荣、陈鲁 |
| 46 | 基于深度学习可自动聚焦和像散校正的成像参数校正方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202511930080.5 | 2025-12-18 | CN121921188A | 2026-04-24 | 汪进鸿、吕肃、陈鲁 |
| 47 | 一种样品运动平台及其控制方法、检测设备 | 发明专利 | 公布 | CN202511889595.5 | 2025-12-12 | CN121828580A | 2026-04-10 | 庞芝亮、吕肃、陈鲁 |
| 48 | 一种坐标校准方法及相关产品 | 发明专利 | 公布 | CN202511821139.7 | 2025-12-04 | CN121639798A | 2026-03-10 | 徐雨哲、张龙、黄有为、陈鲁 |
| 49 | 电子显微镜及其对中偏差校正方法、计算机可读存储介质 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202511821888.X | 2025-12-04 | CN121748246A | 2026-03-27 | 朱中道、张志强、吕肃、陈鲁 |
| 50 | 探测系统性能检测方法、装置、探测系统及存储介质 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202511818006.4 | 2025-12-02 | CN121721070A | 2026-03-24 | 吕肃、陈子林、陈鲁 |
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