奕斯伟材料、奕斯伟硅片申请硅片样品制备相关专利,硅片样制备自动化降险提效保准
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2026-08-26 09:23:09
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8月26日消息,国家知识产权局信息显示,西安奕斯伟材料科技股份有限公司、西安奕斯伟硅片技术有限公司申请一项名为“一种用于制备硅片样品的自动化系统、方法及介质”的专利。申请公布号为CN122612306A,申请号为CN202610678751.1,申请公布日期为2026年8月21日,申请日期为2026年5月18日,发明人史铁柱、庞鲁、王龙,专利代理机构西安维英格知识产权代理事务所(普通合伙),专利代理师侯丽丽、宋东阳,分类号G01N1/28、G05B19/042。

专利摘要显示,本公开提供了一种用于制备硅片样品的自动化系统、方法及介质。通过中央控制单元统筹设定分离路径和工序参数,联动分割模块、量化模块及表面处理模块实现样品制备全流程自动化,其中,分割模块根据所述分离路径从硅片上分离出待测样品,并通过量化模块获取待测样品的质量数据,避免了人工操作,有效降低了不可控测量误差。表面处理模块在外部环境隔离的化学处理环境下,根据工序参数对待测样品执行去污染处理工序,杜绝了操作人员与去污染处理工序中所使用的强腐蚀性试剂的直接接触,消除了安全隐患,简化了操作流程,提升了样品制备效率;同时减少了环境对待测样品的污染,为GFA测试结果的准确性提供了可靠保障。

西安奕材是国内半导体硅片领域核心厂商,专注12英寸硅片研发生产,具备全产业链技术壁垒,公司成立于2016年3月16日,于2025年10月28日登陆上海证券交易所,注册及办公所在地均为陕西省西安市。

西安奕材主营业务为专注于12英寸硅片的研发、生产和销售,从申万行业分类来看隶属于电子-半导体-半导体材料赛道,同时覆盖MCU概念、半导体、存储概念三大热门概念板块。

2026年上半年,西安奕材实现营业收入15.89亿元,在23家同行业企业中排名第7,高于行业13.52亿元的平均水平与6.68亿元的行业中位数,同期行业内营收第一的有研新材为61.58亿元,第二的雅克科技为45.13亿元。营收构成方面,半导体硅测试片贡献5.77亿元,占比36.30%;半导体硅抛光片贡献5.21亿元,占比32.78%;半导体硅外延片贡献4.88亿元,占比30.72%,其中高端测试片营收2.85亿元,占总营收比重17.97%,其他业务营收337.29万元,占比0.21%。净利润端,当期公司录得-2.89亿元,在23家同行业企业中排名第22,低于行业6180.1万元的平均水平与7296.24万元的行业中位数,同期行业净利润第一的雅克科技为6.37亿元,第二的江丰电子为4.72亿元。

指标类别 具体项目 数值/排名 行业对标情况
营业收入 2026年上半年营收 15.89亿元(7/23) 高于行业均值13.52亿元、中位数6.68亿元,头部企业有研新材61.58亿元、雅克科技45.13亿元
营收构成 半导体硅测试片 5.77亿元,占比36.30% -
营收构成 半导体硅抛光片 5.21亿元,占比32.78% -
营收构成 半导体硅外延片 4.88亿元,占比30.72% -
营收构成 高端测试片 2.85亿元,占比17.97% -
营收构成 其他业务 337.29万元,占比0.21% -
净利润 2026年上半年净利润 -2.89亿元(22/23) 低于行业均值6180.1万元、中位数7296.24万元,头部企业雅克科技6.37亿元、江丰电子4.72亿元

西安奕斯伟材料科技股份有限公司近期专利情况如下:

序号专利名称专利类型法律状态申请号申请日期公开(公告)号公开(公告)日期发明人
1对齐度测量装置和对齐度测量方法发明专利实质审查的生效、公布CN202610826726.32026-06-09CN122505132A2026-08-04陈文洁
2一种热补偿方法和热补偿装置发明专利公布CN202610810772.42026-06-05CN122425806A2026-07-21齐凌博、王刚、吴志刚
3抛光方法、抛光系统及硅片发明专利公布CN202610802574.32026-06-04CN122606459A2026-08-21张越、刘还平、宋国岗、方圭哲
4一种用于制备硅片样品的自动化系统、方法及介质发明专利公布CN202610678751.12026-05-18CN122612306A2026-08-21史铁柱、庞鲁、王龙
5晶圆放置监测装置、方法、设备及介质发明专利实质审查的生效、公布CN202610674767.52026-05-15CN122514215A2026-08-04张申申
6晶圆边缘磨轮的设计参数确定方法、设备及介质发明专利公布CN202610674985.92026-05-15CN122571809A2026-08-14袁力军、李彤、兰洵、张婉婉、李安杰
7外延片的制备方法、外延片及外延生长设备发明专利公布CN202610661915.X2026-05-14CN122484906A2026-07-31卢旭辉、贾帅
8外延片的制备方法、外延片及外延生长设备发明专利实质审查的生效、公布CN202610657450.02026-05-13CN122503940A2026-08-04杨晨辉、贾帅、卢旭辉
9采样设备、监测系统及挥发性有机物的采样方法发明专利实质审查的生效、公布CN202610490677.02026-04-14CN122329768A2026-07-03卓倩倩、齐凌博
10晶圆缺陷检测方法、装置及计算设备发明专利公布CN202610491002.82026-04-14CN122438553A2026-07-21王昭、庞鲁
11用于调整外延反应腔内基座位置的方法及控制设备发明专利实质审查的生效、公布CN202610461476.82026-04-09CN122406367A2026-07-17口彦龙、贾帅、杨晨辉、刘世雄
12外延片生长方法、外延片生长设备以及外延片发明专利实质审查的生效、公布CN202610384651.82026-03-26CN122169208A2026-06-09梁鹏欢、张海洋
13外延片生产方法以及外延片发明专利实质审查的生效、公布CN202610384646.72026-03-26CN122169207A2026-06-09梁鹏欢
14外延片的制备方法、外延片及外延生长设备发明专利实质审查的生效、公布CN202610384533.72026-03-26CN122304021A2026-06-30梁鹏欢、张海洋
15外延过程中改善硅片的颗粒污染的方法、系统及外延片发明专利实质审查的生效、公布CN202610384864.02026-03-26CN122304024A2026-06-30王娜、金柱炫、俎世琦
16外延片的制备方法以及外延片发明专利实质审查的生效、公布CN202610384655.62026-03-26CN122466555A2026-07-28梁鹏欢、张海洋
17预测衬底硅片外延形貌及对衬底硅片进行外延工艺的方法发明专利实质审查的生效、公布CN202610375686.52026-03-25CN122262621A2026-06-23田雨欣、兰洵、邹永鑫、李安杰、张婉婉
18协同控制体微缺陷的直拉硅单晶生长方法、装置及硅晶圆发明专利实质审查的生效、公布CN202610368132.22026-03-24CN122013300A2026-05-12毛勤虎
19晶圆局部形貌风险的评估方法和系统、设备、介质和产品发明专利实质审查的生效、公布CN202610367443.72026-03-24CN122249026A2026-06-19马强强、李康康
20筛选方法、处理方法、晶圆、筛选装置、设备及介质发明专利实质审查的生效、公布CN202610367465.32026-03-24CN122270122A2026-06-23齐凌博、卓倩倩
21动态热场调控方法、单晶炉控制系统及计算机存储介质发明专利实质审查的生效、公布CN202610354775.12026-03-23CN122189855A2026-06-12郭宏雁、潘浩、张鹏举
22一种加料角度调节方法及系统发明专利实质审查的生效、公布CN202610350636.12026-03-20CN121931593A2026-04-28赵嘉诚
23一种拉晶收尾控制方法、装置及计算机存储介质发明专利实质审查的生效、公布CN202610346713.62026-03-20CN121931597A2026-04-28杨文武、宁沛娜
24单晶生长方法及设备发明专利实质审查的生效、公布CN202610345729.52026-03-20CN121931595A2026-04-28潘浩、石小磊
25一种晶体生长控制方法、装置及单晶硅生长炉发明专利实质审查的生效、公布CN202610346716.X2026-03-20CN121931598A2026-04-28杨文武、宁沛娜
26一种研磨定盘及研磨设备、研磨方法发明专利实质审查的生效、公布CN202610347640.22026-03-20CN122008064A2026-05-12章晓东
27抛光机、抛光垫检测方法、装置、检测设备、产品及介质发明专利实质审查的生效、公布CN202610345452.62026-03-20CN122008069A2026-05-12杨鑫卓
28一种加热系统、方法及单晶硅生长装置发明专利实质审查的生效、公布CN202610349958.42026-03-20CN122039199A2026-05-15潘浩、王浩、孙洪涛
29一种拉制单晶硅棒的方法、系统及晶圆发明专利实质审查的生效、公布CN202610346714.02026-03-20CN122082099A2026-05-26杨文武、宁沛娜
30用于消除外延片背面光环缺陷的半导体工艺设备及方法发明专利实质审查的生效、公布CN202610346954.02026-03-20CN122214839A2026-06-16刘晨阳、王力、王雄
31晶圆划伤检测方法、装置及计算设备发明专利实质审查的生效、公布CN202610295157.42026-03-11CN122222946A2026-06-16郭宏雁、林可、高坤、李康康
32外延片的制备方法、外延片以及外延生长设备发明专利实质审查的生效、公布CN202610286950.82026-03-10CN122215064A2026-06-16梁鹏欢、张海洋
33一种晶圆形貌分类的方法、装置、设备及介质发明专利实质审查的生效、公布CN202610269906.62026-03-06CN122049540A2026-05-15李彤、兰洵、袁力军、李安杰、张婉婉
34一种单晶炉及单晶炉拉晶方法发明专利实质审查的生效、公布CN202610269904.72026-03-06CN122105602A2026-05-29邹永鑫、郝昭慧、兰洵
35一种拉制晶棒的方法以及装置发明专利实质审查的生效、公布CN202610271370.12026-03-06CN122105603A2026-05-29杨文武、宁沛娜
36拉晶方法、装置、系统及单晶硅发明专利实质审查的生效、公布CN202610271117.62026-03-06CN122105606A2026-05-29蔡媛媛、张波娟、赵恒
37半导体晶棒生长工艺的缺陷检测方法、装置及计算设备发明专利实质审查的生效、公布CN202610270993.72026-03-06CN122108959A2026-05-29蔡媛媛
38晶圆参数预测方法、装置及计算设备发明专利实质审查的生效、公布CN202610272987.52026-03-06CN122153650A2026-06-05田雨欣、兰洵、张婉婉、李安杰、邹永鑫
39一种晶圆边缘检测方法、系统及介质发明专利实质审查的生效、公布CN202610266422.62026-03-05CN122227930A2026-06-16郑文腾
40用于晶圆的处理方法及系统发明专利实质审查的生效、公布CN202610260414.02026-03-04CN122227968A2026-06-16张申申
41晶圆、检测晶圆边缘形貌的方法、装置及晶圆制造方法发明专利实质审查的生效、公布CN202610258367.62026-03-04CN122227928A2026-06-16薛浩波、张婉婉、袁力军
42一种半导体拉晶用石英坩埚的防倾斜支撑装置发明专利实质审查的生效、公布CN202610248184.62026-03-02CN122082097A2026-05-26龙飞
43切割方法和装置、晶圆、存储介质及程序产品和电子设备发明专利实质审查的生效、公布CN202610248434.62026-03-02CN122210797A2026-06-16朱海海
44一种单晶硅生长控制方法、装置、设备及介质发明专利实质审查的生效、公布CN202610235688.42026-02-27CN122358308A2026-07-10郭宏雁、潘浩、张鹏举
45半导体晶圆的表面处理方法及装置发明专利实质审查的生效、公布CN202610236149.22026-02-27CN122373714A2026-07-10王颖、左斌、陈海龙、张树星、夏新超
46单晶炉及单晶炉排气管道的清洁方法、装置及介质发明专利实质审查的生效、公布CN202610161883.72026-02-04CN122105601A2026-05-29彭标、孙洪涛、纪天平、姜辉
47一种晶圆清洗缺陷溯源锁定系统及方法发明专利实质审查的生效、公布CN202610149171.32026-02-03CN122180366A2026-06-09要佳兴、马成琛
48晶棒处理设备和晶棒处理方法发明专利实质审查的生效、公布CN202610120374.X2026-01-28CN121945472A2026-05-01郭宏雁、黄兆皓
49一种实时调节清洗加工参数的清洗系统及方法发明专利实质审查的生效、公布CN202610108240.62026-01-27CN122161377A2026-06-05默玉海、周铖、陈祖庆
50搬运指令生成方法、系统、装置及计算设备发明专利实质审查的生效、公布CN202610100691.52026-01-26CN122085903A2026-05-26刘洋、魏洋、李昊

天眼查数据显示,西安奕斯伟硅片技术有限公司成立日期2018年2月9日,法定代表人刘还平,所属行业为计算机、通信和其他电子设备制造业,企业规模为中型,注册资本660000万人民币,实缴资本660000万人民币,注册地址为陕西省西安市高新区西沣南路1888号。西安奕斯伟硅片技术有限公司共对外投资了0家企业,参与招投标项目380次,财产线索方面有商标信息0条,专利信息1088条,拥有行政许可54个。

西安奕斯伟硅片技术有限公司近期专利情况如下:

序号专利名称专利类型法律状态申请号申请日期公开(公告)号公开(公告)日期发明人
1对齐度测量装置和对齐度测量方法发明专利实质审查的生效、公布CN202610826726.32026-06-09CN122505132A2026-08-04陈文洁
2一种用于制备硅片样品的自动化系统、方法及介质发明专利公布CN202610678751.12026-05-18CN122612306A2026-08-21史铁柱、庞鲁、王龙
3晶圆放置监测装置、方法、设备及介质发明专利实质审查的生效、公布CN202610674767.52026-05-15CN122514215A2026-08-04张申申
4外延片的制备方法、外延片及外延生长设备发明专利公布CN202610661915.X2026-05-14CN122484906A2026-07-31卢旭辉、贾帅
5外延片生长方法、外延片生长设备以及外延片发明专利实质审查的生效、公布CN202610384651.82026-03-26CN122169208A2026-06-09梁鹏欢、张海洋
6外延片生产方法以及外延片发明专利实质审查的生效、公布CN202610384646.72026-03-26CN122169207A2026-06-09梁鹏欢
7外延片的制备方法、外延片及外延生长设备发明专利实质审查的生效、公布CN202610384533.72026-03-26CN122304021A2026-06-30梁鹏欢、张海洋
8外延片的制备方法以及外延片发明专利实质审查的生效、公布CN202610384655.62026-03-26CN122466555A2026-07-28梁鹏欢、张海洋
9晶圆局部形貌风险的评估方法和系统、设备、介质和产品发明专利实质审查的生效、公布CN202610367443.72026-03-24CN122249026A2026-06-19马强强、李康康
10一种研磨定盘及研磨设备、研磨方法发明专利实质审查的生效、公布CN202610347640.22026-03-20CN122008064A2026-05-12章晓东
11抛光机、抛光垫检测方法、装置、检测设备、产品及介质发明专利实质审查的生效、公布CN202610345452.62026-03-20CN122008069A2026-05-12杨鑫卓
12用于消除外延片背面光环缺陷的半导体工艺设备及方法发明专利实质审查的生效、公布CN202610346954.02026-03-20CN122214839A2026-06-16刘晨阳、王力、王雄
13晶圆划伤检测方法、装置及计算设备发明专利实质审查的生效、公布CN202610295157.42026-03-11CN122222946A2026-06-16郭宏雁、林可、高坤、李康康
14外延片的制备方法、外延片以及外延生长设备发明专利实质审查的生效、公布CN202610286950.82026-03-10CN122215064A2026-06-16梁鹏欢、张海洋
15用于晶圆的处理方法及系统发明专利实质审查的生效、公布CN202610260414.02026-03-04CN122227968A2026-06-16张申申
16一种半导体拉晶用石英坩埚的防倾斜支撑装置发明专利实质审查的生效、公布CN202610248184.62026-03-02CN122082097A2026-05-26龙飞
17切割方法和装置、晶圆、存储介质及程序产品和电子设备发明专利实质审查的生效、公布CN202610248434.62026-03-02CN122210797A2026-06-16朱海海
18一种晶圆清洗缺陷溯源锁定系统及方法发明专利实质审查的生效、公布CN202610149171.32026-02-03CN122180366A2026-06-09要佳兴、马成琛
19晶棒处理设备和晶棒处理方法发明专利实质审查的生效、公布CN202610120374.X2026-01-28CN121945472A2026-05-01郭宏雁、黄兆皓
20搬运指令生成方法、系统、装置及计算设备发明专利实质审查的生效、公布CN202610100691.52026-01-26CN122085903A2026-05-26刘洋、魏洋、李昊
21排产派工方法及系统、计算机可读存储介质及产品、电子设备发明专利实质审查的生效、公布CN202610087864.42026-01-22CN122155160A2026-06-05李嘉楠、陈建勇、张建玲、范东方、张钊
22一种硅片缺陷处理方法、表面处理液、硅片及清洗装置发明专利实质审查的生效、公布CN202512012667.42025-12-29CN122028669A2026-05-12张申申
23晶圆检测设备和晶圆检测方法发明专利公布CN202511904874.42025-12-17CN121678673A2026-03-17薛博涛、陈光林、刘玉乾、黄兆皓
24一种电阻率测试装置及方法发明专利实质审查的生效、公布CN202511897839.42025-12-16CN121917845A2026-04-24贺鹏
25处理方法及系统、电子设备、计算机可读存储介质及产品发明专利实质审查的生效、公布CN202511887022.92025-12-15CN122089632A2026-05-26白夏红、陈建勇、范东方、张钊
26一种拉晶装置及拉晶方法发明专利实质审查的生效、公布CN202511869249.02025-12-11CN121781273A2026-04-03闫龙、张鹏举、吴超、纪天平、李智超
27一种边缘缺陷的检测方法、装置、设备、系统及介质发明专利实质审查的生效、公布CN202511869589.32025-12-11CN122016796A2026-05-12周淼
28热场调节装置、单晶炉和热场调节方法发明专利实质审查的生效、公布CN202511856243.X2025-12-10CN121344772A2026-01-16黄文洋
29一种晶棒切割装置发明专利实质审查的生效、公布CN202511858998.32025-12-10CN121572470A2026-02-27王磊磊、霍慧文、刘士靖、刘倩
30一种拉晶收尾的控制方法及系统发明专利公布CN202511858477.82025-12-10CN121826878A2026-04-10纪天平、彭标、闫龙
31一种晶圆的检测方法、系统及介质发明专利实质审查的生效、公布CN202511859289.72025-12-10CN121908854A2026-04-21史铁柱、庞鲁、王龙
32半导体设备的检验方法、装置、设备、系统及介质发明专利实质审查的生效、公布CN202511854133.X2025-12-10CN121978104A2026-05-05李康康
33缺陷晶圆的拦截方法、装置、设备及介质发明专利实质审查的生效、公布CN202511842176.62025-12-09CN121969119A2026-05-01程瑜、贺鑫、胡一洲、万珣
34硅片研磨的生产系统、控制方法和装置发明专利实质审查的生效、公布CN202511840651.62025-12-08CN121870626A2026-04-17王琛、张宁轩、黄兆皓
35一种晶圆的检测方法、系统及介质发明专利实质审查的生效、公布CN202511840660.52025-12-08CN121925097A2026-04-24史铁柱、庞鲁、王龙
36一种外延片边缘形貌补偿型晶圆双面抛光装置及方法发明专利公布CN202511770029.22025-11-28CN121535652A2026-02-17王俊夫
37晶圆检测与标识的设备、方法及介质发明专利实质审查的生效、公布CN202511775182.42025-11-28CN121865898A2026-04-14李乐杰、张钊、范东方、陈建勇
38一种基于重力自适应限位的晶圆边缘刻蚀装置及方法发明专利公布CN202511761617.X2025-11-27CN121843479A2026-04-10郝宁、程辰辰
39一种抛光垫及晶圆抛光方法发明专利公布CN202511766031.22025-11-27CN121821202A2026-04-10王俊夫、柴朝军
40硅片线痕检测方法、装置、存储介质及电子设备发明专利实质审查的生效、公布CN202511767321.92025-11-27CN121888926A2026-04-17张申申
41载具搬运方法、系统、装置及计算设备发明专利实质审查的生效、公布CN202511764667.32025-11-27CN121925077A2026-04-24李迅、范东方、王贵石、张更
42一种具有集成式温度补偿的双面抛光系统及方法发明专利公布CN202511755203.62025-11-26CN121552239A2026-02-24王俊夫
43晶圆生产的控制方法、装置、设备、系统及存储介质发明专利实质审查的生效、公布CN202511755100.X2025-11-26CN121865897A2026-04-14赵恒、范东方、陈建勇、张钊
44确定硅片放置方向的方法、装置、设备及介质发明专利公布CN202511722852.62025-11-21CN121837362A2026-04-10李康康
45一种包装袋折袋装置及方法发明专利公布CN202511711385.72025-11-20CN121536561A2026-02-17李毅波、苏建生、韩嘉豪、王奕杰
46在双面抛光中抑制晶圆划伤的系统、方法及双面抛光设备发明专利实质审查的生效、公布CN202511711576.32025-11-20CN121589713A2026-03-03王俊夫
47晶棒拉速的优化方法、装置、设备及计算机存储介质发明专利实质审查的生效、公布CN202511712015.52025-11-20CN121903418A2026-04-21秦浩、庞鲁、王龙、同嘉锡
48一种清洗装置发明专利实质审查的生效、公布CN202511659712.92025-11-13CN121468400A2026-02-06蔡培锋、周勤学
49一种调整双面抛光设备参数的方法、装置和介质发明专利公布CN202511664476.X2025-11-13CN121832444A2026-04-10王俊夫、周勤学、王龙飞、杨轩、马驰
50用于检测物体表面缺陷的方法、装置、系统及介质发明专利实质审查的生效、公布CN202511655376.02025-11-12CN121740778A2026-03-27付子成、党志伟

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