数据显示，8月20日，华夏上证科创板半导体材料设备主题ETF(588170)获净申购15.98亿元，位居当日股票ETF净流入排名1/1298。最新规模442.53亿元，前一日规模428.4亿元，当日资金净流入额占前一日规模的比例为3.73%。

近5日，华夏上证科创板半导体材料设备主题ETF(588170)获净申购37.22亿元，位居股票ETF净流入排名第1/1298。近10日，华夏上证科创板半导体材料设备主题ETF(588170)获净申购49.79亿元，位居股票ETF净流入排名第1/1298。近20日，华夏上证科创板半导体材料设备主题ETF(588170)获净申购109.43亿元，位居股票ETF净流入排名第1/1298。

华夏上证科创板半导体材料设备主题ETF(588170)已连续3日资金获净申购，区间净流入额45.9亿元。

华夏上证科创板半导体材料设备主题ETF（588170）成立于2025年3月24日，基金全称为华夏上证科创板半导体材料设备主题交易型开放式指数证券投资基金，基金简称为华夏上证科创板半导体材料设备主题ETF。该基金管理费率每年0.50%，托管费率每年0.10%。华夏上证科创板半导体材料设备主题ETF（588170）跟踪标的指数为科创半导体材料设备（950125）。

规模方面，截止8月20日，华夏上证科创板半导体材料设备主题ETF（588170）最新份额为434.49亿份，最新规模为442.53亿元。回顾2025年12月31日，华夏上证科创板半导体材料设备主题ETF（588170）份额为24.47亿份，规模为36.77亿元。即该基金今年以来份额增加1675.51%，规模增加1103.41%。

流动性方面，截止8月20日，华夏上证科创板半导体材料设备主题ETF（588170）近20个交易日累计成交金额1740.15亿元，日均成交金额87.01亿元；今年以来，153个交易日，累计成交金额4735.35亿元，日均成交金额30.95亿元。

华夏上证科创板半导体材料设备主题ETF（588170）现任基金经理为杨斯琪、荣膺。杨斯琪自2025年3月24日管理（或拟管理）该基金，任职期内收益205.55%；荣膺自2026年6月22日管理（或拟管理）该基金，任职期内收益-4.99%。

最新定期报告显示，华夏基金（588170）重仓股包括华海清科、中微公司、中科飞测、拓荆科技、华峰测控、芯源微、沪硅产业、盛美上海、安集科技、富创精密，持仓占比如下：

跟踪科创半导体材料设备（950125）的ETF包括华夏上证科创板半导体材料设备主题ETF（588170）、华泰柏瑞上证科创板半导体材料设备主题ETF（588710）、鹏华科创板半导体材料设备主题ETF（589020），规模、流动性、近期资金净申购情况如下：

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