强一半导体申请MEMS探针形貌优化相关专利，皮秒激光优化MEMS探针表面形貌提性能
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2026-08-16 09:18:01
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8月16日消息，国家知识产权局信息显示，强一半导体（苏州）股份有限公司申请一项名为“一种MEMS探针表面形貌优化方法”的专利。申请公布号为CN122559611A，申请号为CN202610795436.7，申请公布日期为2026年8月14日，申请日期为2026年6月4日，发明人杨刚、王艾琳、于海超，专利代理机构苏州今迈知识产权代理事务所（特殊普通合伙），专利代理师张佩璇，分类号B23P15/00、B23K26/352。
专利摘要显示，本发明涉及一种MEMS探针表面形貌优化方法，包括如下步骤：步骤1：构建MEMS探针的结构图纸，确定所述MEMS探针的外形尺寸；步骤2：获取初步成型的MEMS探针；步骤3：采用皮秒激光对步骤2得到的MEMS探针进行原位表面形貌优化处理，根据所述MEMS探针表面熔渣尺寸与MEMS探针实际厚度，自适应选择局部定点除渣模式或整体均匀去量模式，以平行扫描方式对MEMS探针表面进行均匀去量，获得表面平整的MEMS探针。本发明针对不同加工工况匹配差异化激光加工参数，可精准去除冷烧蚀产生的熔渣与球状重铸层，无需机械抛光、化学刻蚀等后续处理，有效避免应力变形与化学杂质污染，提升MEMS探针表面平整度与电学接触性能，工艺稳定性好，适配MEMS探针规模化精密制造。
天眼查数据显示，强一半导体（苏州）股份有限公司成立日期2015年8月28日，法定代表人周明，所属行业为专用设备制造业，企业规模为中型，注册资本12955.93万人民币，实缴资本12955.93万人民币，注册地址为苏州工业园区东长路88号S3幢。强一半导体（苏州）股份有限公司共对外投资了4家企业，参与招投标项目55次，财产线索方面有商标信息7条，专利信息394条，拥有行政许可20个。
强一半导体（苏州）股份有限公司近期专利情况如下：
| 序号 | 专利名称 | 专利类型 | 法律状态 | 申请号 | 申请日期 | 公开(公告)号 | 公开(公告)日期 | 发明人 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 1 | 一种高触变高图案保留性导电浆料及其应用 | 发明专利 | 公布 | CN202611040570.2 | 2026-07-14 | CN122575792A | 2026-08-14 | 于海超、曹文恺、盛涛 |
| 2 | 一种2.5D MEMS探针卡磨针设备 | 发明专利 | 公布 | CN202610894510.0 | 2026-06-22 | CN122480814A | 2026-07-31 | 葛树伟、于海超、封振、赵梁玉 |
| 3 | 一种使用MEMS工艺解决光刻胶陡直性差的方法 | 发明专利 | 公布 | CN202610894655.0 | 2026-06-22 | CN122568870A | 2026-08-14 | 于海超、陆飞、王艾琳、王森庭 |
| 4 | 一种耐高温氧化铑铼合金镀层的电镀液及应用 | 发明专利 | 公布 | CN202610881777.6 | 2026-06-17 | CN122484867A | 2026-07-31 | 于海超、栗世涵、周景怡 |
| 5 | 提高镍基体表面结合力的选择性腐蚀液及其应用方法 | 发明专利 | 公布 | CN202610876642.0 | 2026-06-17 | CN122564560A | 2026-08-14 | 于海超、吴博文、王兴刚 |
| 6 | 一种装饰用Rh-Cu合金镀层的电镀液 | 发明专利 | 公布 | CN202610848482.9 | 2026-06-12 | CN122484868A | 2026-07-31 | 位炎炎、周景怡、于海超 |
| 7 | 一种环糊精衍生物型无氰镀金液及其应用 | 发明专利 | 公布 | CN202610823271.X | 2026-06-09 | CN122564679A | 2026-08-14 | 于海超、戴思芸、周景怡 |
| 8 | 一种MEMS探针表面形貌优化方法 | 发明专利 | 公布 | CN202610795436.7 | 2026-06-04 | CN122559611A | 2026-08-14 | 杨刚、王艾琳、于海超 |
| 9 | 防止光刻胶渗液的电镀图形化方法及其应用 | 发明专利 | 公布 | CN202610774614.8 | 2026-06-01 | CN122446294A | 2026-07-24 | 于海超、孙小龙、王艾琳、赵梁玉 |
| 10 | 一种用于探针卡AOT测试的自动插针设备 | 发明专利 | 公布 | CN202610774072.4 | 2026-06-01 | CN122525188A | 2026-08-07 | 葛树伟、封振、赵梁玉、于海超 |
| 11 | 一种高粘度高分散性导电浆料及其制备方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202610730498.X | 2026-05-26 | CN122291137A | 2026-06-26 | 于海超、曹文恺、盛涛 |
| 12 | 一种用于独立裸Die的固定装置、测试方法、半导体设备及应用 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202610733995.5 | 2026-05-26 | CN122323067A | 2026-07-03 | 金俊、于海超、李伟 |
| 13 | 一种密排式垂直探针卡 | 发明专利 | 公布 | CN202610649510.4 | 2026-05-12 | CN122449322A | 2026-07-24 | 宋海永、张发旺、郭笑斐、陈赛、李云 |
| 14 | 一种微金属波纹管触点芯材及其制造方法 | 发明专利 | 公布 | CN202610639371.7 | 2026-05-11 | CN122482396A | 2026-07-31 | 于海超、印体健、王兴刚 |
| 15 | 一种钯铑合金镀层的复合添加剂及钯铑合金镀液 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202610605407.X | 2026-05-06 | CN122303980A | 2026-06-30 | 于海超、王瑞勋、周景怡 |
| 16 | 一种探针卡用培林装配方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202610572989.6 | 2026-04-28 | CN122307168A | 2026-06-30 | 李球远、李伟、于海超 |
| 17 | 用于铂钌合金电镀的添加剂组合物、硫酸体系铂钌镀液及电镀方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202610571931.X | 2026-04-28 | CN122382673A | 2026-07-14 | 崔传奇、王兴刚、于海超 |
| 18 | 基于激光刻蚀的探针阵列表面修复方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202610574745.1 | 2026-04-28 | CN122400981A | 2026-07-17 | 于海超、陈怿昊、王艾琳 |
| 19 | 一种用于探针的阵列式闭环电解抛光方法及系统 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202610560780.8 | 2026-04-27 | CN122147491A | 2026-06-05 | 于海超、陈怿昊、王艾琳 |
| 20 | 探针卡的植针方法及探针卡 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202610563075.3 | 2026-04-27 | CN122361868A | 2026-07-10 | 于海超、林子轩、李伟 |
| 21 | 图形转移方法及图形转移装置 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202610561537.8 | 2026-04-27 | CN122438558A | 2026-07-21 | 邢海东、王艾琳、于海超 |
| 22 | 一种膦配体协同晶粒细化剂及包含其的无氰镀银电镀液与应用 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202610537237.6 | 2026-04-22 | CN122428347A | 2026-07-21 | 马镜涵、周景怡、于海超 |
| 23 | 一种探针卡用MLC基板制造过程中金属PAD保护方法 | 发明专利 | 公布 | CN202610537851.2 | 2026-04-22 | CN122469007A | 2026-07-28 | 于海超、侯克玉、王乔乔、朱东亮、王光辉、庄仁伟 |
| 24 | 一种自旋转直线型垂直探针、探针头以及探针卡 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202610500132.3 | 2026-04-16 | CN122150639A | 2026-06-05 | 于海超、李伟 |
| 25 | 一种光刻胶保护型亚硫酸体系无氰镀金液及其应用方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202610502989.9 | 2026-04-16 | CN122406318A | 2026-07-17 | 戴思芸、周景怡、于海超 |
| 26 | 一种陶瓷转接基板及其表面BGA制作方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202610485750.5 | 2026-04-14 | CN122161472A | 2026-06-05 | 王光辉、于海超、侯克玉、王艾琳、朱东亮、王乔乔、庄仁伟 |
| 27 | 铬板光掩膜清洁设备 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202610483856.1 | 2026-04-14 | CN122284207A | 2026-06-26 | 庄仁伟、于海超、王艾琳、侯克玉、朱东亮、王乔乔、王光辉 |
| 28 | 一种被动式散热的垂直探针卡 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202610485780.6 | 2026-04-14 | CN122385926A | 2026-07-14 | 宋海永、杨峥 |
| 29 | 一种探针针尖清理机构 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202610478713.1 | 2026-04-13 | CN122098978A | 2026-05-29 | 于海超、孟凡栋、李伟 |
| 30 | 一种探针针尖清理方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202610478712.7 | 2026-04-13 | CN122352590A | 2026-07-10 | 于海超、孟凡栋、李伟 |
| 31 | 一种抑制电极扩散的银浆及其制备方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202610451257.1 | 2026-04-08 | CN122117518A | 2026-05-29 | 于海超、曹文恺、盛涛 |
| 32 | 连接探针头与PCB板的连接件及探针卡 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202610438974.0 | 2026-04-03 | CN122131125A | 2026-06-02 | 于海超、刘瀚鹏、李伟 |
| 33 | 一种探针卡空间转换器及其温度控制方法、晶圆测试系统 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202610415015.7 | 2026-03-31 | CN122385925A | 2026-07-14 | 夏鹤天、于海超 |
| 34 | 一种带弹性抵触点的探针尾部结构及探针、探针卡 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202610401348.4 | 2026-03-30 | CN122084950A | 2026-05-26 | 于海超、高俊恒 |
| 35 | 一种LCP薄膜组件及其制备方法和应用 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202610400568.5 | 2026-03-30 | CN122077957A | 2026-05-26 | 林志豪、赵梁玉、于海超 |
| 36 | 生瓷片的钻孔治具及钻孔方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202610398264.X | 2026-03-30 | CN122142582A | 2026-06-05 | 于海超、刘伟、夏鹤天 |
| 37 | 一种防背面熔渣残留的铜片加工方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202610386879.0 | 2026-03-27 | CN122007688A | 2026-05-12 | 赵薇、王兴刚、于海超 |
| 38 | 一种用于飞秒激光加工探针的复合衬底及其制备方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202610387512.0 | 2026-03-27 | CN122058058A | 2026-05-19 | 杨刚、王艾琳、于海超 |
| 39 | 平行度检测装置及平行度检测方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202610379884.9 | 2026-03-26 | CN122192146A | 2026-06-12 | 于海超、张文博、李伟 |
| 40 | 一种多层金属层间断路的修复方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202610378684.1 | 2026-03-26 | CN122318096A | 2026-06-30 | 于海超、朱东亮、侯克玉、顾嘉琳、王光辉 |
| 41 | 一种含过渡层LTCC多层布线陶瓷基板 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202610362430.0 | 2026-03-24 | CN122212788A | 2026-06-16 | 于海超、王兴宇、曹文恺、盛涛 |
| 42 | 一种光刻胶的后处理离子溶液及光刻胶后处理方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202610354273.9 | 2026-03-23 | CN122260731A | 2026-06-23 | 于海超、孙小龙、王艾琳 |
| 43 | 一种强制对流散热的垂直探针卡 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202610344219.6 | 2026-03-20 | CN122130994A | 2026-06-02 | 杨峥、宋海永 |
| 44 | 一种探针卡低温检测防结霜的方法和防结霜垂直探针卡 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202610344284.9 | 2026-03-20 | CN122131123A | 2026-06-02 | 刘明星、宋海永、杨峥 |
| 45 | 一种压电风扇散热的垂直式探针卡 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202610344092.8 | 2026-03-20 | CN122130993A | 2026-06-02 | 宋海永、杨峥 |
| 46 | 一种基于皮秒激光活化的MEMS探针选择性电镀方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202610338880.6 | 2026-03-19 | CN122235788A | 2026-06-19 | 陈怿昊、于海超、王艾琳 |
| 47 | 储能器件及储能器件的制备方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202610329428.3 | 2026-03-18 | CN122025417A | 2026-05-12 | 于海超、孟猛、盛涛 |
| 48 | 探针卡及探针卡的探针的水平调节方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202610329229.2 | 2026-03-18 | CN122109586A | 2026-05-29 | 李球远、于海超、李伟 |
| 49 | 一种烧结收缩率可调的LTCC基板及其制备方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202610331701.6 | 2026-03-18 | CN122167139A | 2026-06-09 | 盛涛、于海超 |
| 50 | 一种纳米级复合润滑剂、探针卡的陶瓷导板和陶瓷导板的制备方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202610330051.3 | 2026-03-18 | CN122213772A | 2026-06-16 | 李梦璐、于海超 |
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