数据显示，7月31日，鹏华科创板半导体材料设备主题ETF(589020)获净申购2.89亿元，位居当日股票ETF净流入排名8/1281。最新规模52.79亿元，前一日规模49.08亿元，当日资金净流入额占前一日规模的比例为5.90%。

近5日，鹏华科创板半导体材料设备主题ETF(589020)获净申购9.79亿元，位居股票ETF净流入排名第26/1281。近10日，鹏华科创板半导体材料设备主题ETF(589020)获净申购23.3亿元，位居股票ETF净流入排名第15/1281。近20日，鹏华科创板半导体材料设备主题ETF(589020)获净申购37.54亿元，位居股票ETF净流入排名第26/1281。

鹏华科创板半导体材料设备主题ETF(589020)已连续10日资金获净申购，区间净流入额23.3亿元。

鹏华科创板半导体材料设备主题ETF（589020）成立于2025年8月27日，基金全称为鹏华上证科创板半导体材料设备主题交易型开放式指数证券投资基金，基金简称为鹏华科创板半导体材料设备主题ETF。该基金管理费率每年0.50%，托管费率每年0.10%。鹏华科创板半导体材料设备主题ETF（589020）跟踪标的指数为科创半导体材料设备（950125）。

规模方面，截止7月31日，鹏华科创板半导体材料设备主题ETF（589020）最新份额为23.62亿份，最新规模为52.79亿元。回顾2025年12月31日，鹏华科创板半导体材料设备主题ETF（589020）份额为2.44亿份，规模为2.97亿元。即该基金今年以来份额增加867.25%，规模增加1678.07%。

流动性方面，截止7月31日，鹏华科创板半导体材料设备主题ETF（589020）近20个交易日累计成交金额278.7亿元，日均成交金额13.94亿元；今年以来，139个交易日，累计成交金额492.71亿元，日均成交金额3.54亿元。

鹏华科创板半导体材料设备主题ETF（589020）现任基金经理为林嵩。林嵩自2025年8月27日管理（或拟管理）该基金，任职期内收益123.46%。

最新定期报告显示，鹏华基金（589020）重仓股包括华海清科、中微公司、中科飞测、拓荆科技、华峰测控、芯源微、沪硅产业、盛美上海、安集科技、富创精密，持仓占比如下：

跟踪科创半导体材料设备（950125）的ETF包括华夏上证科创板半导体材料设备主题ETF（588170）、华泰柏瑞上证科创板半导体材料设备主题ETF（588710）、鹏华科创板半导体材料设备主题ETF（589020），规模、流动性、近期资金净申购情况如下：

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