7月4日消息,国家知识产权局信息显示,合肥芯碁微电子装备股份有限公司申请一项名为“激光钻孔机的钻孔检测装置、方法及激光钻孔机”的专利,授权公告号CN117697187B,授权公告日为2026年7月3日。申请公布号为CN117697187A,申请号为CN202311706107.3,申请公布日期为2026年7月3日,申请日期为2023年12月12日,发明人董帅、赵尚州,专利代理机构北京景闻知识产权代理有限公司,专利代理师常鹏,分类号B23K26/70、B23K26/382。
专利摘要显示,本发明公开了一种激光钻孔机的钻孔检测装置、方法及激光钻孔机,该装置包括:相机,临近安装于激光钻孔机的光轴,用于采集激光钻孔机在基板上的加工结果的图像;处理模块,用于基于图像进行运算分析,以确定激光钻孔机在基板上的加工结果是否存在异常。本发明通过将相机安装在临近激光钻孔机的光轴位置,随着激光钻孔运动的进行,相机可以实时采集激光钻孔机在基板上的加工结果的图像,同时,处理模块将采集到的图像进行运算分析,及时检测加工过程中可能出现的异常情况,实现实时检测和校准功能,提升用户对加工质量的信心,缩短设备的导入和认证时间,降低了成本和整机复杂度。
芯碁微装成立于2015年6月30日,于2021年4月1日在上海证券交易所上市,注册地址与办公地址均涉及安徽省合肥市。该公司是国内微纳直写光刻设备领域的佼佼者,核心业务聚焦于光刻设备,技术优势显著。
芯碁微装所属申万行业为机械设备 - 专用设备 - 其他专用设备,涉及年度强势、PCB概念、光刻胶等概念板块。公司主要从事以微纳直写光刻为技术核心的直接成像设备及直写光刻设备的研发、制造、销售及维保服务,产品功能覆盖微米到纳米的多领域光刻环节。
2025年,芯碁微装实现营业收入14.08亿元,在93家同行业公司中排名第31,低于行业第一名科达制造的173.89亿元和第二名豪迈科技的110.78亿元,行业平均数为17亿元,中位数为9.94亿元。其主营业务构成中,PCB系列营收10.8亿元,占比76.69%;泛半导体系列2.33亿元,占比16.58%;租赁及其他8739.3万元,占比6.21%;其他(补充)738.1万元,占比0.52%。净利润方面,2025年为2.9亿元,行业排名12/93,低于第一名豪迈科技的23.95亿元和第二名科达制造的21.67亿元,行业平均数为1.23亿元,中位数为4809.11万元。
合肥芯碁微电子装备股份有限公司近期专利情况如下:
| 序号 | 专利名称 | 专利类型 | 法律状态 | 申请号 | 申请日期 | 公开(公告)号 | 公开(公告)日期 | 发明人 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 1 | 基于拼板的曝光台面标定方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202610313547.X | 2026-03-16 | CN122110620A | 2026-05-29 | 张辉、张润晨、叶加良、陈东 |
| 2 | 玻璃基板激光打标工作台 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202610219521.9 | 2026-02-24 | CN121848002A | 2026-04-14 | 叶飞 |
| 3 | 直写式光刻机及扫描曝光方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202610146096.5 | 2026-02-02 | CN121900112A | 2026-04-21 | 徐从浩、赵美云 |
| 4 | 一种改善PCB油墨色差的多次曝光偏移方法及介质 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202610107704.1 | 2026-01-27 | CN121763669A | 2026-03-31 | 孟鑫瑞、贾威强 |
| 5 | 直写式光刻机及其曝光同步诊断方法和信号同步处理单元 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202610093213.6 | 2026-01-23 | CN121763668A | 2026-03-31 | 徐从浩、童诚、王振亚 |
| 6 | 一种用于印刷电路板PCB的检测方法及系统 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202610020506.1 | 2026-01-08 | CN121784849A | 2026-04-03 | 章晋凡、刘鑫、沈古飞、焦官华 |
| 7 | 基于提前测距的动态追焦光学测量系统、方法及设备 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202512001839.8 | 2025-12-29 | CN121741698A | 2026-03-27 | 谢鹍、张润晨、石庆林 |
| 8 | 一种可折展的压紧机构及LDI设备 | 实用新型 | 授权 | CN202520797048.3 | 2025-04-24 | CN224005412U | 2026-03-17 | 汪志全、梁旭 |
| 9 | 一种对并排印刷电路板侧边区域形成八边压紧的压紧装置及LDI设备 | 实用新型 | 授权 | CN202520797055.3 | 2025-04-24 | CN224319777U | 2026-06-02 | 汪志全、梁旭 |
| 10 | 光学测距装置和激光直写曝光机 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202510416740.1 | 2025-04-03 | CN120293010A | 2025-07-11 | 徐剑锋、穆璐、姜蔚然 |
| 11 | 激光加工装置和激光加工系统 | 发明专利 | 实质审查的生效、实质审查的生效、公布 | CN202510309673.3 | 2025-03-17 | CN120095316A | 2025-06-06 | 刘孟辉、赵尚州 |
| 12 | 用于无掩模板直写光刻曝光机的吸盘电势监控系统及直写光刻曝光机 | 实用新型 | 授权 | CN202520419485.1 | 2025-03-11 | CN224020147U | 2026-03-20 | 葛星雨、朱会敏、曹桂林、卢小齐、孙文彪 |
| 13 | 吸附组件及具有其的曝光装置 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202510276930.8 | 2025-03-10 | CN119987158A | 2025-05-13 | 叶飞、程刚、项宗齐、汪涛 |
| 14 | 吸附组件及具有其的曝光装置 | 实用新型 | 授权 | CN202520372061.4 | 2025-03-05 | CN223692643U | 2025-12-19 | 于成信 |
| 15 | LDI曝光机的对位方法和LDI曝光机 | 发明专利 | 授权 | CN202510225750.7 | 2025-02-27 | CN119805889B | 2025-11-28 | 赵祥宝、蔡志鸿 |
| 16 | LDI曝光机的对位方法和LDI曝光机 | 发明专利 | 授权 | CN202510224817.5 | 2025-02-27 | CN119805888B | 2026-04-10 | 赵祥宝、郑超、朱远哲、高晓锋 |
| 17 | 一种抖动分板装置 | 实用新型 | 授权 | CN202520211748.X | 2025-02-11 | CN223792483U | 2026-01-13 | 陆原、束义、刘汉云 |
| 18 | 应用于直写光刻机的纠偏对位方法及装置、介质和光刻机 | 发明专利 | 授权 | CN202510148769.6 | 2025-02-11 | CN119805879B | 2026-04-03 | 王克、程建高 |
| 19 | 一种双台面曝光机 | 实用新型 | 授权 | CN202520171673.7 | 2025-01-25 | CN223796823U | 2026-01-13 | 于成信 |
| 20 | 一种曝光面剂量修正系统 | 实用新型 | 授权 | CN202520171669.0 | 2025-01-25 | CN223796822U | 2026-01-13 | 李志豪、董邦林、穆璐、宋照爱 |
| 21 | 一种插框自动收放板装置 | 发明专利 | 授权 | CN202510120189.6 | 2025-01-25 | CN119822052B | 2026-03-13 | 焦官华、陆原、束义、刘汉云 |
| 22 | 一种插板夹持装置 | 发明专利 | 授权 | CN202510120188.1 | 2025-01-25 | CN119822051B | 2026-03-17 | 陆原、焦官华、束义、刘汉云 |
| 23 | 运动曝光工作台、曝光系统和曝光的控制方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202510110128.1 | 2025-01-23 | CN119644681A | 2025-03-18 | 李辉 |
| 24 | 运动曝光工作台及具有其的曝光系统 | 实用新型 | 授权 | CN202520160598.4 | 2025-01-23 | CN223911162U | 2026-02-13 | 李辉 |
| 25 | 提升UV激光钻孔加工工艺的激光钻孔设备 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202510057567.0 | 2025-01-14 | CN119794623A | 2025-04-11 | 刘孟辉、赵尚州 |
| 26 | 基于偏转镜实现光束分束及调控的激光并行加工设备 | 实用新型 | 授权 | CN202520083435.0 | 2025-01-14 | CN223932816U | 2026-02-24 | 刘孟辉 |
| 27 | 激光钻孔独立动态调控的多AOM级联设备 | 实用新型 | 授权 | CN202520083520.7 | 2025-01-14 | CN223932871U | 2026-02-24 | 刘孟辉 |
| 28 | 激光二极管的散热装置、高功率半导体激光器及组装方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202510016572.7 | 2025-01-06 | CN119994629A | 2025-05-13 | 刘亮、杨凯 |
| 29 | 一种半导体空间光激光器镜片的调试工装及方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202510016571.2 | 2025-01-06 | CN120002560A | 2025-05-16 | 刘亮、杨凯 |
| 30 | 激光器外壳及半导体空间光激光器 | 实用新型 | 授权 | CN202520025368.7 | 2025-01-06 | CN223797724U | 2026-01-13 | 刘亮、金伟龙、杨凯 |
| 31 | 曝光装置 | 实用新型 | 授权 | CN202423309294.4 | 2024-12-31 | CN223566032U | 2025-11-18 | 叶飞 |
| 32 | 应用于光头底板的散热机构及其曝光机 | 实用新型 | 授权 | CN202423314307.7 | 2024-12-31 | CN223712003U | 2025-12-23 | 张文龙、梁旭 |
| 33 | 直写式光刻机曝光控制方法及装置、介质和直写式光刻机 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202411904595.3 | 2024-12-23 | CN119556532A | 2025-03-04 | 王超、梅文辉、赵美云、邵德洋 |
| 34 | 自动上下料装置 | 实用新型 | 授权 | CN202423178878.2 | 2024-12-23 | CN223572237U | 2025-11-21 | 张亮、赵尚州、李辉、岳览 |
| 35 | 吸附总成及具有其的光刻装置 | 发明专利 | 实质审查的生效、实质审查的生效、公布 | CN202411726109.3 | 2024-11-28 | CN119511647A | 2025-02-25 | 侯庆伟、汪涛 |
| 36 | 提高无掩膜光刻机曝光功率密度的装置、方法及光刻机 | 发明专利 | 授权、实质审查的生效、公布 | CN202411720670.0 | 2024-11-28 | CN119292005B | 2025-10-10 | 卞洪飞、张辉、叶加良、陈东 |
| 37 | 基于空间光调制的双波段激光图形化微纳制造装置及方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202411700772.6 | 2024-11-26 | CN119387805A | 2025-02-07 | 张辉、卞洪飞、叶加良、陈东 |
| 38 | 夹取装置 | 实用新型 | 授权 | CN202422891408.4 | 2024-11-26 | CN223385416U | 2025-09-26 | 李冬青、李香滨、焦官华、徐欣 |
| 39 | 一种真空吸附固定式晶圆载台 | 实用新型 | 授权 | CN202422718008.3 | 2024-11-06 | CN223598699U | 2025-11-25 | 于成信 |
| 40 | 夹紧总成及具有其的光刻装置 | 实用新型 | 授权 | CN202422674996.6 | 2024-11-04 | CN223666547U | 2025-12-12 | 王历先、梁旭、张文龙 |
| 41 | 一种能够快速更换过滤器的风机过滤装置 | 实用新型 | 授权 | CN202422675578.9 | 2024-11-01 | CN223425389U | 2025-10-10 | 程强 |
| 42 | 曝光总成及具有其的光刻设备 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202411543995.6 | 2024-10-31 | CN119126500A | 2024-12-13 | 张浩为、刘孟辉、武林 |
| 43 | 一种用于LDI设备的气动遮光装置 | 实用新型 | 授权 | CN202422670377.X | 2024-10-31 | CN223401139U | 2025-09-30 | 张文龙 |
| 44 | 一种用于DMD芯片散热的水冷系统 | 实用新型 | 授权 | CN202422670371.2 | 2024-10-31 | CN223598092U | 2025-11-25 | 张文龙、梁旭、王历先 |
| 45 | 单台面LDI曝光机 | 外观专利 | 授权 | CN202430676628.8 | 2024-10-25 | CN309380230S | 2025-07-11 | 王历先、项宗齐、梁旭 |
| 46 | FPD边缘曝光打码设备 | 外观专利 | 授权 | CN202430676627.3 | 2024-10-25 | CN309385911S | 2025-07-15 | 程强 |
| 47 | 高效单机双面曝光设备 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202411492573.0 | 2024-10-24 | CN119200348A | 2024-12-27 | 曲鲁杰、程刚 |
| 48 | 高效单机双面曝光设备 | 实用新型 | 授权 | CN202422576617.X | 2024-10-24 | CN223217782U | 2025-08-12 | 曲鲁杰、程刚 |
| 49 | 聚焦总成及具有其的光刻装置 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202411486173.9 | 2024-10-23 | CN119126499A | 2024-12-13 | 徐剑锋、戴晓霖、黄思航 |
| 50 | 标定总成及具有其的曝光装置 | 实用新型 | 授权 | CN202421971890.6 | 2024-08-13 | CN223260027U | 2025-08-22 | 叶飞 |
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