数据显示，6月16日，鹏华科创板半导体材料设备主题ETF(589020)遭净赎回908.93万元，位居当日股票ETF净流出排名174/1232。最新规模9.75亿元，前一日规模9.76亿元，当日资金净流出额占前一日规模的比例为0.93%。

近5日，鹏华科创板半导体材料设备主题ETF(589020)获净申购574.03万元，位居股票ETF净流入排名第207/1232。近10日，鹏华科创板半导体材料设备主题ETF(589020)遭净赎回8042.44万元，位居股票ETF净流出排名第134/1232。近20日，鹏华科创板半导体材料设备主题ETF(589020)获净申购2.67亿元，位居股票ETF净流入排名第63/1232。

鹏华科创板半导体材料设备主题ETF（589020）成立于2025年8月27日，基金全称为鹏华上证科创板半导体材料设备主题交易型开放式指数证券投资基金，基金简称为鹏华科创板半导体材料设备主题ETF。该基金管理费率每年0.50%，托管费率每年0.10%。鹏华科创板半导体材料设备主题ETF（589020）跟踪标的指数为科创半导体材料设备（950125）。

规模方面，截止6月16日，鹏华科创板半导体材料设备主题ETF（589020）最新份额为4.28亿份，最新规模为9.75亿元。回顾2025年12月31日，鹏华科创板半导体材料设备主题ETF（589020）份额为2.44亿份，规模为2.97亿元。即该基金今年以来份额增加75.34%，规模增加228.33%。

流动性方面，截止6月16日，鹏华科创板半导体材料设备主题ETF（589020）近20个交易日累计成交金额63.02亿元，日均成交金额3.15亿元；今年以来，107个交易日，累计成交金额125.91亿元，日均成交金额1.18亿元。

鹏华科创板半导体材料设备主题ETF（589020）现任基金经理为林嵩。林嵩自2025年8月27日管理（或拟管理）该基金，任职期内收益127.62%。

最新定期报告显示，鹏华基金（589020）重仓股包括拓荆科技、华海清科、中微公司、中科飞测、安集科技、沪硅产业、芯源微、华峰测控、天岳先进、富创精密，持仓占比如下：

跟踪科创半导体材料设备（950125）的ETF包括华夏上证科创板半导体材料设备主题ETF（588170）、华泰柏瑞上证科创板半导体材料设备主题ETF（588710）、鹏华科创板半导体材料设备主题ETF（589020），规模、流动性、近期资金净申购情况如下：

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