数据显示，5月20日，国泰中证半导体材料设备主题ETF(159516)获净申购8.11亿元，位居当日股票ETF净流入排名1/1200。最新规模286.78亿元，前一日规模263.45亿元，当日资金净流入额占前一日规模的比例为3.08%。

近5日，国泰中证半导体材料设备主题ETF(159516)获净申购21.26亿元，位居股票ETF净流入排名第1/1200。近10日，国泰中证半导体材料设备主题ETF(159516)遭净赎回1.68亿元，位居股票ETF净流出排名第139/1200。近20日，国泰中证半导体材料设备主题ETF(159516)遭净赎回17.6亿元，位居股票ETF净流出排名第40/1200。

国泰中证半导体材料设备主题ETF(159516)已连续4日资金获净申购，区间净流入额22.28亿元。

国泰中证半导体材料设备主题ETF（159516）成立于2023年7月19日，基金全称为国泰中证半导体材料设备主题交易型开放式指数证券投资基金，基金简称为国泰中证半导体材料设备主题ETF。该基金管理费率每年0.50%，托管费率每年0.10%。国泰中证半导体材料设备主题ETF（159516）跟踪标的指数为半导体材料设备（931743）。

规模方面，截止5月20日，国泰中证半导体材料设备主题ETF（159516）最新份额为214.51亿份，最新规模为286.78亿元。回顾2025年12月31日，国泰中证半导体材料设备主题ETF（159516）份额为58.53亿份，规模为90.11亿元。即该基金今年以来份额增加266.52%，规模增加218.25%。

流动性方面，截止5月20日，国泰中证半导体材料设备主题ETF（159516）近20个交易日累计成交金额448.27亿元，日均成交金额22.41亿元；今年以来，88个交易日，累计成交金额1504.54亿元，日均成交金额17.1亿元。

国泰中证半导体材料设备主题ETF（159516）现任基金经理为艾小军。艾小军自2023年7月19日管理（或拟管理）该基金，任职期内收益167.38%。

最新定期报告显示，国泰基金（159516）重仓股包括中微公司、北方华创、拓荆科技、长川科技、华海清科、沪硅产业、中科飞测、南大光电、江丰电子、安集科技，持仓占比如下：

跟踪半导体材料设备（931743）的ETF包括国泰中证半导体材料设备主题ETF（159516）、易方达中证半导体材料设备主题ETF（159558）、广发中证半导体材料设备ETF（560780）、华夏中证半导体材料设备主题ETF（562590）、万家中证半导体材料设备主题ETF（159327），规模、流动性、近期资金净申购情况如下：

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