华海清科取得减薄设备相关专利，减薄设备实现晶圆进出、磨削、抛光及清洗
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2026-05-17 10:08:45
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5月17日消息，国家知识产权局信息显示，华海清科股份有限公司申请一项名为“一种减薄设备”的专利，授权公告号CN116079556B，授权公告日为2026年5月15日。申请公布号为CN116079556A，申请号为CN202310253217.2，申请公布日期为2026年5月15日，申请日期为2023年3月16日，发明人刘远航、马旭、李森、靳凯强、路新春，分类号B24B27/00、B24B41/02、B24B41/04、B24B41/06、B24B47/12、B24B1/00。

专利摘要显示，本发明公开了一种减薄设备，包括：设备前端模块，用于实现晶圆的进出，所述设备前端模块设置在所述减薄设备的前端；磨削模块，用于对至少两片晶圆同时进行粗磨削和/或精磨削，所述磨削模块设置在所述减薄设备的末端；抛光模块，用于在完成磨削之后对至少两片晶圆同时进行化学机械抛光，所述抛光模块邻接所述磨削模块设置；两个对称分布的清洗模块，位于抛光模块和设备前端模块之间；两个对称分布的传输模块，分别位于抛光模块的两侧。

华海清科成立于2013年4月10日，于2022年6月8日在上海证券交易所上市，注册地址和办公地址均为天津市。它是国内半导体CMP设备龙头企业，核心产品化学机械抛光设备技术领先，打破国外垄断。

华海清科从事半导体专用设备的研发、生产、销售及技术服务，所属申万行业为电子 - 半导体 - 半导体设备，涉及半导体设备、半导体设备概念、先进封装等概念板块。

2025年，华海清科营业收入46.48亿元，行业排名7/25，高于行业平均数41.44亿元和中位数14.26亿元，与第一名北方华创393.53亿元、第二名中微公司123.85亿元有差距。主营业务中，半导体装备40.54亿元占比87.22%，半导体服务5.94亿元占比12.78%。净利润10.83亿元，行业排名5/25，高于行业平均数6.09亿元和中位数1.77亿元，与第一名北方华创54.09亿元、第二名中微公司20.64亿元有差距。

华海清科股份有限公司近期专利情况如下：

序号专利名称专利类型法律状态申请号申请日期公开(公告)号公开(公告)日期发明人
1晶圆翻转装置、晶圆翻转方法及晶圆处理设备发明专利公布CN202610432475.02026-04-03CN121969113A2026-05-01南奇童、张龙华、张鑫、申兵兵
2抛光液分布预测方法、化学机械抛光方法及设备发明专利公布CN202610366890.02026-03-24CN122033825A2026-05-15张力飞、王同庆、赵南皓
3晶圆清洗装置及晶圆清洗方法发明专利授权CN202610230602.92026-02-27CN121752004B2026-05-15王同庆、陈贺、刘颖、曹自立、李长坤
4晶圆化学机械抛光设备及方法发明专利实质审查的生效、公布CN202610203298.92026-02-12CN121870631A2026-04-17路新春、李长坤、王科、李俊卿、王同庆、赵德文
5化学机械抛光设备、晶圆加工方法和化学机械抛光系统发明专利公布CN202610204916.12026-02-12CN121946355A2026-05-01路新春、李长坤、王科、李俊卿、王同庆
6化学机械抛光设备、晶圆加工方法和化学机械抛光系统发明专利实质审查的生效、公布CN202610198479.72026-02-11CN121893158A2026-04-21路新春、李长坤、王科、李俊卿、王同庆
7一种化学机械抛光设备和抛光方法发明专利实质审查的生效、公布CN202610188222.32026-02-10CN121893155A2026-04-21刘晟桤、李俊卿、李长坤、王科
8一种化学机械抛光设备和抛光方法发明专利实质审查的生效、公布CN202610182595.X2026-02-09CN121893154A2026-04-21霍恩彬、李长坤、李俊卿、申兵兵、王剑
9一种具有小体积气液分离箱的晶圆处理设备及晶圆处理方法发明专利实质审查的生效、公布CN202610049289.92026-01-15CN121513539A2026-02-13陈贺、姚福聪、曹自立、李长坤
10抛光方法、电子设备及存储介质发明专利实质审查的生效、公布CN202610009656.22026-01-06CN121608055A2026-03-06王同庆、吴兴、李长坤、李俊卿、王科
11抛光装置和晶圆加工设备发明专利实质审查的生效、公布CN202610009659.62026-01-06CN121848277A2026-04-14路新春、吴兴、王同庆、李俊卿、李长坤
12晶圆修边装置、晶圆加工设备及加工方法发明专利实质审查的生效、公布CN202511925734.52025-12-19CN121729009A2026-03-24路新春、王同庆、赵德文、刘远航、请求不公布姓名、鲍伟成
13晶圆边缘动态修整方法和晶圆修边装置发明专利实质审查的生效、公布CN202511925732.62025-12-19CN121848541A2026-04-14赵德文、高亚磊、李森、刘远航、欧阳亮
14晶圆修边装置、晶圆加工设备及加工方法发明专利实质审查的生效、公布CN202511923156.12025-12-19CN121925066A2026-04-24刘远航、请求不公布姓名、鲍伟成、赵德文、路新春
15晶圆边缘修整方法、边缘修整装置和加工设备发明专利公布CN202511830466.92025-12-06CN121649858A2026-03-13欧阳亮、高亚磊、王玉、檀广节
16一种用于化学机械抛光的承载头和抛光系统发明专利实质审查的生效、公布CN202511830467.32025-12-06CN121715974A2026-03-24王宇、刘宏伟、孟松林、金军、张洪蛟
17一种晶圆处理设备、空气洁净度控制方法和空气清洁系统发明专利实质审查的生效、公布CN202511830465.42025-12-06CN121756222A2026-03-31王同庆、孙传恽、张丛
18一种用于电化学机械抛光的承载头和抛光装置发明专利公布CN202511789495.52025-12-01CN121821233A2026-04-10刘二朋、王浩、王国栋、许振杰
19一种修整盘装卸装置、智能维护系统和方法发明专利公布CN202511718719.32025-11-21CN121670521A2026-03-17王科、李丹、陈映松、王怀锋、成鹏
20一种晶圆抛光方法、抛光单元和处理设备发明专利实质审查的生效、公布CN202511696760.52025-11-19CN121447528A2026-02-03路新春、江鹏、周斌、谭锐
21一种化学机械抛光装置、抛光设备和抛光方法发明专利实质审查的生效、公布CN202511680481.X2025-11-17CN121608057A2026-03-06曹自立、李长坤
22一种晶圆后处理装置、抛光设备和抛光方法发明专利公布CN202511680510.22025-11-17CN121693049A2026-03-17曹自立、李长坤
23晶圆划切设备、晶圆加工方法及控制装置发明专利实质审查的生效、公布CN202511649635.92025-11-12CN121340478A2026-01-16刘远航、鲍伟成、朱林、赵德文、路新春
24一种弹性膜、承载头、化学机械抛光设备和方法发明专利实质审查的生效、公布CN202511629574.X2025-11-08CN121179339A2025-12-23王宇、张浩、左少杰、金军、张洪蛟
25一种晶圆膜厚测量方法、装置和化学机械抛光设备发明专利实质审查的生效、公布CN202511553470.52025-10-29CN121104883A2025-12-12窦华成、田芳馨、王科
26抛光装置和晶圆加工设备发明专利发明专利申请公布后的撤回、实质审查的生效、公布CN202511556082.22025-10-29CN121132497A2025-12-16路新春、吴兴、王同庆、李俊卿、李长坤
27抛光方法、电子设备及存储介质发明专利发明专利申请公布后的撤回、实质审查的生效、公布CN202511556080.32025-10-29CN121132496A2025-12-16王同庆、吴兴、李长坤、李俊卿、王科
28一种方形承载头和化学机械抛光系统发明专利授权CN202511524648.32025-10-24CN121004541B2026-02-06程子政、孟松林、金军
29一种晶圆清洗装置、清洗方法和处理设备发明专利公布CN202511361499.32025-09-23CN121018398A2025-11-28张丰达、王剑、李长坤
30一种用于化学机械抛光的承载头及抛光系统发明专利实质审查的生效、公布CN202511270350.42025-09-08CN120862556A2025-10-31刘鑫博、李润豪、金军、张洪蛟
31一种用于化学机械抛光的承载头及抛光系统发明专利实质审查的生效、公布CN202511270348.72025-09-08CN120862555A2025-10-31刘鑫博、李润豪、金军、张洪蛟
32一种用于化学机械抛光的弹性膜和承载头发明专利公布CN202511270349.12025-09-08CN120985523A2025-11-21刘鑫博、李润豪、金军、张洪蛟
33晶圆刷洗方法、装置、电子设备和计算机存储介质发明专利公布CN202511127407.52025-08-13CN120977917A2025-11-18路新春、李长坤、曹自立、王科
34竖直抛光装置及竖直抛光方法发明专利实质审查的生效、公布CN202511039838.62025-07-28CN120680396A2025-09-23辛宇航、郭垒、周朝龙
35一种晶圆夹持装置、处理装置和化学机械抛光设备发明专利实质审查的生效、公布CN202511021830.72025-07-24CN120734904A2025-10-03陈贺、曹自立、李灯、李长坤
36一种用于晶圆贴膜的移动装置和晶圆贴膜设备发明专利公布CN202511001321.82025-07-21CN121969092A2026-05-01李森、刘志动、付永旭、刘远航、赵德文
37一种抛光液供应装置、化学机械抛光单元和晶圆处理设备发明专利实质审查的生效、公布CN202510962318.62025-07-14CN120791640A2025-10-17谭锐、孙少雪、徐海洋、王科
38卷带替换方法、卷带装置、晶圆边缘抛光方法及设备发明专利实质审查的生效、公布CN202510964002.02025-07-14CN120841269A2025-10-28田鑫涛、周朝龙、张子彤、辛宇航、郭垒
39用于电涡流传感器的大量程标定方法、测量方法及设备发明专利公布CN202510925240.02025-07-05CN120962533A2025-11-18王超、路新春、田芳馨
40一种晶圆传输装置和化学机械抛光系统发明专利实质审查的生效、公布CN202510914634.62025-07-03CN120715804A2025-09-30路新春、李长坤、王剑、李俊卿、王科
41一种晶圆处理方法发明专利实质审查的生效、公布CN202510914728.32025-07-03CN120715797A2025-09-30路新春、李长坤、王剑、李俊卿、王科
42一种晶圆传输装置和具有该传输装置的CMP系统发明专利实质审查的生效、公布CN202510900113.52025-07-01CN120816419A2025-10-21王剑、李俊卿、李长坤
43一种晶圆传输方法发明专利公布CN202510900110.12025-07-01CN120985526A2025-11-21王剑、李俊卿、李长坤
44一种晶圆传输单元、清洗装置和处理设备发明专利公布CN202510757567.12025-06-09CN120674375A2025-09-19孙传恽、张海鹏、许振杰、王科、刘晟桤
45一种晶圆承载单元、后处理装置、翻转方法和处理设备发明专利授权、实质审查的生效、公布CN202510732613.22025-06-04CN120244826B2025-08-19路新春、南奇童、申兵兵、李长坤、王科
46一种晶圆后处理装置、承载单元、翻转方法和处理设备发明专利实质审查的生效、公布CN202510732612.82025-06-04CN120637307A2025-09-12路新春、南奇童、申兵兵、李长坤、王科
47一种晶圆抛光方法、抛光装置和处理设备发明专利授权、实质审查的生效、公布CN202510662276.42025-05-22CN120170629B2025-08-19熊伟、张俊杰、王佩佩
48一种晶圆后处理装置、背面擦洗设备、方法和处理设备发明专利授权、实质审查的生效、公布CN202510647400.X2025-05-20CN120170636B2025-08-19王科、曹自立、李长坤、刘洪旺
49一种用于电化学机械抛光的弹性膜和承载头发明专利实质审查的生效、公布CN202510600887.62025-05-12CN120311287A2025-07-15张金鑫、孟松林、王宇、张洪蛟、金军、左少杰
50一种电化学机械抛光头、抛光装置和抛光方法发明专利授权、实质审查的生效、公布CN202510600889.52025-05-12CN120134208B2025-08-19张金鑫、孟松林、王宇、张洪蛟、金军、左少杰

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