5月8日消息，国家知识产权局信息显示，沈阳芯源微电子设备股份有限公司申请一项名为“一种用于半导体清洗设备的支撑装置和半导体清洗设备”的专利，授权公告号CN224205577U，授权公告日为2026年5月5日。申请号为CN202520880520.X，申请公布日期为2026年5月5日，申请日期为2025年5月7日，发明人赵旭、郝岩松、郭生洋，专利代理机构上海恒锐佳知识产权代理事务所（普通合伙），专利代理师黄海霞，分类号H10P72/00、H10P72/76、H10P72/78、B08B11/02、B08B13/00。

专利摘要显示，本实用新型提供了一种用于半导体清洗设备的支撑装置和半导体清洗设备，包括：盘体和支撑件，支撑件设置在盘体上，用于支撑晶圆；盘体具有缺口，用于在机械手取片或放片过程中允许机械手的手指从缺口穿过。本实用新型的用于半导体清洗设备的支撑装置通过在支撑晶圆的盘体的外边缘设置用于避让机械手手指的缺口，该缺口在机械手取片或放片过程中允许所述机械手的手指从所述缺口穿过，有效避免了机械手取片或放片过程中与盘体的干涉问题。相对于现有技术的晶圆支撑装置，本实用新型一方面简化了支撑装置的结构，另一方面也简化了取片的步骤，提高工艺节拍，进而进一步提升了晶圆清洗的效率。

芯源微成立于2002年12月17日，于2019年12月16日在上海证券交易所上市，注册地址和办公地址均位于辽宁省沈阳市。它是国内半导体专用设备领域的领先企业，专注于半导体专用设备研发制造，拥有多项核心技术，技术壁垒高。

芯源微主营业务为半导体专用设备的研发、生产和销售，所属申万行业为电子 - 半导体 - 半导体设备，涉及高带宽存储器HBM、先进封装、半导体设备等概念板块。

2025年，芯源微实现营业收入19.48亿元，在25家同行业公司中排名第12，远低于第一名北方华创的393.53亿元和第二名中微公司的123.85亿元，高于行业中位数14.26亿元，略低于行业平均数41.44亿元。其主营业务中，电子工艺装备收入18.79亿元，占比96.42%；产品备件收入4762.91万元，占比2.44%；其他(补充)收入2216.11万元，占比1.14%。净利润方面，2025年为7068.2万元，在同行业25家公司中排名第18，与第一名北方华创的54.09亿元和第二名中微公司的20.64亿元差距较大，低于行业平均数6.09亿元和中位数1.77亿元。

沈阳芯源微电子设备股份有限公司近期专利情况如下：

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