华海清科、华海清科(北京)申请晶圆贴膜装置相关专利,移动装置实现晶圆加工件抓取、位移与夹持
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2026-05-08 09:29:09
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5月8日消息,国家知识产权局信息显示,华海清科股份有限公司、华海清科(北京)科技有限公司申请一项名为“一种用于晶圆贴膜的移动装置和晶圆贴膜设备”的专利。申请公布号为CN121969092A,申请号为CN202511001321.8,申请公布日期为2026年5月1日,申请日期为2025年7月21日,发明人李森、刘志动、付永旭、刘远航、赵德文,分类号H10P72/30、H10P72/50、H10P72/76。

专利摘要显示,本申请公开一种用于晶圆贴膜的移动装置和晶圆贴膜设备,涉及晶圆制造技术领域。该移动装置包括:位移模块、翻转模块和夹持模块,夹持模块包括:至少两个夹持子模块;夹持子模块包括:固定板、驱动机构、抓取机构和夹持机构,驱动机构,用于在抓取晶圆加工件前驱动夹持机构张开,并在晶圆加工件进入夹持机构的抓取区域后停止对夹持机构的驱动,以使夹持机构夹紧晶圆加工件,在抓取机构停止对晶圆加工件的抓取后驱动夹持机构张开,并在晶圆加工件离开夹持机构的抓取区域后停止对夹持机构的驱动;抓取机构,用于在位移模块带动翻转模块位移,且翻转模块带动夹持模块位移,以带动晶圆加工件位移的过程中,对晶圆加工件进行抓取。

华海清科成立于2013年4月10日,于2022年6月8日在上海证券交易所上市,注册地址和办公地址均为天津市。它是国内半导体CMP设备领域龙头,打破国外长期垄断,拥有核心技术与自主知识产权。

华海清科从事半导体专用设备的研发、生产、销售及技术服务,所属申万行业为电子 - 半导体 - 半导体设备,涉及增持回购、中盘股、专精特新等概念板块。

2025年,华海清科营业收入46.48亿元,行业排名7/25,高于行业平均数41.44亿元和中位数14.26亿元,与第一名北方华创393.53亿元、第二名中微公司123.85亿元有差距。主营业务中,半导体装备40.54亿元占比87.22%,半导体服务5.94亿元占比12.78%。净利润10.83亿元,行业排名5/25,高于行业平均数6.09亿元和中位数1.77亿元,与第一名北方华创54.09亿元、第二名中微公司20.64亿元存在差距。

华海清科股份有限公司近期专利情况如下:

序号专利名称专利类型法律状态申请号申请日期公开(公告)号公开(公告)日期发明人
1晶圆翻转装置、晶圆翻转方法及晶圆处理设备发明专利公布CN202610432475.02026-04-03CN121969113A2026-05-01南奇童、张龙华、张鑫、申兵兵
2晶圆清洗装置及晶圆清洗方法发明专利实质审查的生效、公布CN202610230602.92026-02-27CN121752004A2026-03-27王同庆、陈贺、刘颖、曹自立、李长坤
3晶圆化学机械抛光设备及方法发明专利实质审查的生效、公布CN202610203298.92026-02-12CN121870631A2026-04-17路新春、李长坤、王科、李俊卿、王同庆、赵德文
4化学机械抛光设备、晶圆加工方法和化学机械抛光系统发明专利公布CN202610204916.12026-02-12CN121946355A2026-05-01路新春、李长坤、王科、李俊卿、王同庆
5化学机械抛光设备、晶圆加工方法和化学机械抛光系统发明专利公布CN202610198479.72026-02-11CN121893158A2026-04-21路新春、李长坤、王科、李俊卿、王同庆
6一种化学机械抛光设备和抛光方法发明专利公布CN202610188222.32026-02-10CN121893155A2026-04-21刘晟桤、李俊卿、李长坤、王科
7一种化学机械抛光设备和抛光方法发明专利公布CN202610182595.X2026-02-09CN121893154A2026-04-21霍恩彬、李长坤、李俊卿、申兵兵、王剑
8一种具有小体积气液分离箱的晶圆处理设备及晶圆处理方法发明专利实质审查的生效、公布CN202610049289.92026-01-15CN121513539A2026-02-13陈贺、姚福聪、曹自立、李长坤
9抛光方法、电子设备及存储介质发明专利实质审查的生效、公布CN202610009656.22026-01-06CN121608055A2026-03-06王同庆、吴兴、李长坤、李俊卿、王科
10抛光装置和晶圆加工设备发明专利实质审查的生效、公布CN202610009659.62026-01-06CN121848277A2026-04-14路新春、吴兴、王同庆、李俊卿、李长坤
11晶圆修边装置、晶圆加工设备及加工方法发明专利实质审查的生效、公布CN202511925734.52025-12-19CN121729009A2026-03-24路新春、王同庆、赵德文、刘远航、请求不公布姓名、鲍伟成
12晶圆边缘动态修整方法和晶圆修边装置发明专利实质审查的生效、公布CN202511925732.62025-12-19CN121848541A2026-04-14赵德文、高亚磊、李森、刘远航、欧阳亮
13晶圆修边装置、晶圆加工设备及加工方法发明专利公布CN202511923156.12025-12-19CN121925066A2026-04-24刘远航、请求不公布姓名、鲍伟成、赵德文、路新春
14晶圆边缘修整方法、边缘修整装置和加工设备发明专利公布CN202511830466.92025-12-06CN121649858A2026-03-13欧阳亮、高亚磊、王玉、檀广节
15一种用于化学机械抛光的承载头和抛光系统发明专利实质审查的生效、公布CN202511830467.32025-12-06CN121715974A2026-03-24王宇、刘宏伟、孟松林、金军、张洪蛟
16一种晶圆处理设备、空气洁净度控制方法和空气清洁系统发明专利实质审查的生效、公布CN202511830465.42025-12-06CN121756222A2026-03-31王同庆、孙传恽、张丛
17一种用于电化学机械抛光的承载头和抛光装置发明专利公布CN202511789495.52025-12-01CN121821233A2026-04-10刘二朋、王浩、王国栋、许振杰
18一种修整盘装卸装置、智能维护系统和方法发明专利公布CN202511718719.32025-11-21CN121670521A2026-03-17王科、李丹、陈映松、王怀锋、成鹏
19一种晶圆抛光方法、抛光单元和处理设备发明专利实质审查的生效、公布CN202511696760.52025-11-19CN121447528A2026-02-03路新春、江鹏、周斌、谭锐
20一种化学机械抛光装置、抛光设备和抛光方法发明专利实质审查的生效、公布CN202511680481.X2025-11-17CN121608057A2026-03-06曹自立、李长坤
21一种晶圆传输装置和具有该传输装置的CMP系统发明专利实质审查的生效、公布CN202510900113.52025-07-01CN120816419A2025-10-21王剑、李俊卿、李长坤
22一种晶圆传输方法发明专利公布CN202510900110.12025-07-01CN120985526A2025-11-21王剑、李俊卿、李长坤
23一种晶圆传输单元、清洗装置和处理设备发明专利公布CN202510757567.12025-06-09CN120674375A2025-09-19孙传恽、张海鹏、许振杰、王科、刘晟桤
24一种晶圆承载单元、后处理装置、翻转方法和处理设备发明专利授权、实质审查的生效、公布CN202510732613.22025-06-04CN120244826B2025-08-19路新春、南奇童、申兵兵、李长坤、王科
25一种晶圆后处理装置、承载单元、翻转方法和处理设备发明专利实质审查的生效、公布CN202510732612.82025-06-04CN120637307A2025-09-12路新春、南奇童、申兵兵、李长坤、王科
26一种晶圆抛光方法、抛光装置和处理设备发明专利授权、实质审查的生效、公布CN202510662276.42025-05-22CN120170629B2025-08-19熊伟、张俊杰、王佩佩
27一种晶圆后处理装置、背面擦洗设备、方法和处理设备发明专利授权、实质审查的生效、公布CN202510647400.X2025-05-20CN120170636B2025-08-19王科、曹自立、李长坤、刘洪旺
28一种用于电化学机械抛光的弹性膜和承载头发明专利实质审查的生效、公布CN202510600887.62025-05-12CN120311287A2025-07-15张金鑫、孟松林、王宇、张洪蛟、金军、左少杰
29一种电化学机械抛光头、抛光装置和抛光方法发明专利授权、实质审查的生效、公布CN202510600889.52025-05-12CN120134208B2025-08-19张金鑫、孟松林、王宇、张洪蛟、金军、左少杰
30一种电化学机械抛光头、抛光装置和抛光方法发明专利实质审查的生效、公布CN202511100159.52025-05-12CN120734903A2025-10-03张金鑫、孟松林、王宇、张洪蛟、金军、左少杰
31一种电化学机械抛光头、抛光装置和抛光方法发明专利实质审查的生效、公布CN202511100160.82025-05-12CN121083504A2025-12-09张金鑫、孟松林、王宇、张洪蛟、金军、左少杰
32一种用于电化学机械抛光的弹性膜和承载头实用新型授权CN202520915865.42025-05-12CN224186321U2026-05-01张金鑫、孟松林、王宇、张洪蛟、金军、左少杰
33一种晶圆边缘抛光系统发明专利实质审查的生效、实质审查的生效、公布CN202510529334.62025-04-25CN120095665A2025-06-06路新春、郭垒、邢浩鑫、杨洪建
34一种晶圆边缘抛光装置和抛光方法发明专利公布CN202510529349.22025-04-25CN120287146A2025-07-11路新春、郭垒、邢浩鑫、杨洪建
35一种晶圆边缘抛光系统实用新型授权CN202520801054.12025-04-25CN224102545U2026-04-10路新春、郭垒、邢浩鑫、杨洪建
36化学机械抛光设备、抛光液检测方法及抛光方法、介质发明专利授权CN202510496644.22025-04-21CN120116137B2025-11-21崔云鑫、王春龙、徐海洋、王科
37一种晶圆抛光方法、抛光单元和处理设备发明专利公布CN202510467309.X2025-04-15CN120287204A2025-07-11李俊卿、王科、赵德文
38晶圆装载杯、抛光单元、抛光方法和处理设备发明专利实质审查的生效、公布CN202510461628.X2025-04-14CN120307195A2025-07-15沈德乾、王春龙、彭泽明、徐海洋
39一种晶圆后处理装置和方法发明专利实质审查的生效、公布CN202510461693.22025-04-14CN120306306A2025-07-15曹自立、李灯、李长坤
40晶圆自动刷洗方法、装置、电子设备和计算机存储介质发明专利实质审查的生效、公布CN202510461678.82025-04-14CN120306302A2025-07-15曹自立、李长坤

天眼查数据显示,华海清科(北京)科技有限公司成立日期2019年3月1日,法定代表人刘福生,所属行业为科技推广和应用服务业,企业规模为中型,注册资本15000万人民币,实缴资本15000万人民币,注册地址为北京市北京经济技术开发区地盛北街1号院40号楼11层1107室。华海清科(北京)科技有限公司共对外投资了0家企业,参与招投标项目84次,财产线索方面有商标信息0条,专利信息129条,拥有行政许可9个。

华海清科(北京)科技有限公司近期专利情况如下:

序号专利名称专利类型法律状态申请号申请日期公开(公告)号公开(公告)日期发明人
1晶圆加工装置、晶圆减薄设备及晶圆处理方法发明专利公布CN202610416799.52026-04-01CN121946307A2026-05-01王同庆、赵德文、刘远航、靳凯强、周鹏飞
2晶圆加工装置、供液组件及晶圆加工方法发明专利公布CN202610353247.42026-03-23CN121925072A2026-04-24张美美、徐俊成、王鹏、卢潇潇
3晶圆加工系统及方法、修整器组件、化学机械抛光设备发明专利公布CN202610320010.62026-03-17CN121893176A2026-04-21郑烨、刘杰、王春龙
4一种晶圆夹持机构和晶圆清洗装置发明专利公布CN202610115453.12026-01-28CN121925091A2026-04-24徐俊成、刘福生、刘效岩
5晶圆加工装置、方法、电子设备及计算机介质发明专利公布CN202610083727.32026-01-22CN121552242A2026-02-24田云、辜声攀、张标、吕嘉峰
6晶圆加工系统、方法、电子设备及计算机介质发明专利授权CN202610083655.22026-01-22CN121572172B2026-04-28王超、田芳馨、窦华成
7抛光终点检测方法、化学机械抛光设备及存储介质发明专利实质审查的生效、公布CN202610019802.X2026-01-08CN121468390A2026-02-06王同庆、窦华成、刘志、田芳馨
8基板处理装置、清洗装置及清洗方法发明专利实质审查的生效、公布CN202511999350.82025-12-29CN121419596A2026-01-27徐俊成、刘福生
9一种晶圆夹持机构和晶圆后处理装置发明专利公布CN202511885779.42025-12-15CN121843481A2026-04-10刘婷婷、贾洪杰、王鹏、徐俊成、王延华
10一种晶圆清洗装置和清洗方法发明专利公布CN202511833144.X2025-12-08CN121693028A2026-03-17张国伟、徐俊成、王鹏、卢潇潇
11一种晶圆夹持机构、晶圆清洗装置和清洗方法发明专利公布CN202511833145.42025-12-08CN121843480A2026-04-10张江勇、徐俊成
12晶圆划切设备、晶圆加工方法及控制装置发明专利实质审查的生效、公布CN202511649635.92025-11-12CN121340478A2026-01-16刘远航、鲍伟成、朱林、赵德文、路新春
13一种用于晶圆贴膜的移动装置和晶圆贴膜设备发明专利公布CN202511001321.82025-07-21CN121969092A2026-05-01李森、刘志动、付永旭、刘远航、赵德文
14磨轮自锐性增强方法、装置及晶圆减薄设备发明专利授权、实质审查的生效、公布CN202510679798.52025-05-26CN120206405B2025-08-19沈午祺、李森、刘远航
15磨轮自锐性增强方法、装置及晶圆减薄设备发明专利实质审查的生效、公布CN202511307082.92025-05-26CN121083522A2025-12-09沈午祺、李森、刘远航
16化学机械抛光设备及晶圆传输方法发明专利授权、实质审查的生效、公布CN202510647339.92025-05-20CN120170631B2025-08-19路新春、王同庆、夏佳琪、李长坤、王科
17化学机械抛光设备及晶圆传输方法发明专利公布CN202511268736.12025-05-20CN120941269A2025-11-14路新春、王同庆、夏佳琪、李长坤、王科
18化学机械抛光设备及晶圆传输方法发明专利公布CN202511268735.72025-05-20CN120941268A2025-11-14路新春、王同庆、夏佳琪、李长坤、王科
19化学机械抛光设备及化学机械抛光方法发明专利授权、实质审查的生效、公布CN202510632674.12025-05-16CN120134207B2025-08-19李洪阳、陈映松、许振杰、李长坤、王科
20化学机械抛光设备及化学机械抛光方法发明专利实质审查的生效、公布CN202511214277.92025-05-16CN120862551A2025-10-31李洪阳、陈映松、许振杰、李长坤、王科
21竖直擦洗装置、晶圆擦洗方法、晶圆加工设备及存储介质发明专利实质审查的生效、公布CN202510489702.92025-04-18CN120221468A2025-06-27李灯、刘洪旺、曹自立、李长坤
22竖直擦洗装置、晶圆加工设备、晶圆擦洗方法及存储介质发明专利授权、实质审查的生效、公布CN202510489709.02025-04-18CN120033122B2025-08-19李灯、刘洪旺、曹自立、李长坤
23竖直擦洗装置、晶圆加工设备、晶圆擦洗方法及存储介质发明专利公布CN202511178930.02025-04-18CN121035009A2025-11-28李灯、刘洪旺、曹自立、李长坤
24一种晶圆清洗系统和清洗方法发明专利实质审查的生效、公布CN202510467827.12025-04-15CN120072714A2025-05-30刘福生、徐俊成、刘效岩
25边缘打磨装置、边缘打磨方法、晶圆切边设备及切边方法发明专利授权、实质审查的生效、公布CN202510428498.X2025-04-08CN119927758B2025-06-13赵德文、陈铁、刘远航、鲍伟成
26接触式测量器及晶圆减薄设备发明专利授权、实质审查的生效、公布CN202510428497.52025-04-08CN119952610B2025-07-15路新春、赵德文、马帅、陈超
27边缘打磨装置、边缘打磨方法、晶圆切边设备及切边方法发明专利实质审查的生效、公布CN202510962400.92025-04-08CN120791590A2025-10-17赵德文、陈铁、刘远航、鲍伟成
28接触式测量器及晶圆减薄设备发明专利公布CN202511067640.92025-04-08CN120985536A2025-11-21路新春、赵德文、马帅、陈超
29晶圆清洗方法、装置和设备发明专利授权、实质审查的生效、公布CN202510360459.02025-03-26CN119870026B2025-07-15刘丰迪、徐俊成、王延华、王鹏
30晶圆清洗方法、装置和设备发明专利实质审查的生效、公布CN202510745594.72025-03-26CN120618927A2025-09-12刘丰迪、徐俊成、王延华、王鹏
31一种晶圆清洗装置和处理设备发明专利实质审查的生效、实质审查的生效、公布CN202510349141.22025-03-24CN120089624A2025-06-03刘丰迪、徐俊成、王延华、杨雪梅
32装载端口装置、前端装载装置、晶圆加工设备及检测方法发明专利授权、实质审查的生效、公布CN202510162295.02025-02-14CN119650481B2025-06-17路新春、赵德文、韩晓铠、马旭
33装载端口装置、前端装载装置、晶圆加工设备及检测方法发明专利实质审查的生效、公布CN202510932949.32025-02-14CN120933197A2025-11-11路新春、赵德文、韩晓铠、马旭
34一种晶圆后处理装置和后处理方法发明专利授权、实质审查的生效、公布CN202510081400.82025-01-20CN119542205B2025-05-13张美美、王延华、徐俊成
35一种晶圆后处理装置和后处理方法发明专利实质审查的生效、公布CN202510428606.32025-01-20CN120319688A2025-07-15张美美、王延华、徐俊成
36晶圆清洗装置、系统、方法和化学机械抛光设备发明专利实质审查的生效、公布CN202411976834.62024-12-31CN119852209A2025-04-18杨雪梅、刘福生、刘丰迪
37一种晶圆定位机构、定位方法以及晶圆处理装置发明专利实质审查的生效、公布CN202411976837.X2024-12-31CN119864313A2025-04-22王鹏、王延华、徐俊成、刘丰迪
38一种晶圆夹持机构、晶圆后处理装置及晶圆后处理方法发明专利授权、实质审查的生效、公布CN202411918399.12024-12-25CN119361523B2025-04-15张美美、徐俊成、郭鹏
39一种晶圆夹持机构、晶圆后处理装置及晶圆后处理方法发明专利实质审查的生效、公布CN202510365484.82024-12-25CN120199723A2025-06-24张美美、徐俊成、郭鹏
40夹持机构以及晶圆清洗装置发明专利实质审查的生效、公布CN202411900765.02024-12-23CN119480775A2025-02-18张美美、徐俊成、王鹏、刘豫东
41夹持机构以及晶圆清洗装置实用新型授权CN202423175212.12024-12-23CN223612410U2025-11-28张美美、徐俊成、王鹏、刘豫东
42压力检测装置、真空系统及晶圆减薄设备发明专利实质审查的生效、公布CN202411879327.02024-12-19CN119495610A2025-02-21李小娟、赵德文、付永旭、靳凯强、刘远航
43晶圆传输机械手、晶圆传输方法及装置发明专利实质审查的生效、公布CN202411879330.22024-12-19CN119748319A2025-04-04许刚、马旭、靳凯强、刘远航、赵德文
44防护装置、晶圆磨削模块、减薄设备及方法、处理设备发明专利授权CN202411879312.42024-12-19CN119734161B2025-11-21李小娟、靳凯强、刘远航、赵德文、路新春
45防护装置、晶圆磨削模块、减薄设备及方法、处理设备发明专利公布CN202511845874.12024-12-19CN121893161A2026-04-21李小娟、靳凯强、刘远航、赵德文、路新春
46晶圆减薄设备发明专利实质审查的生效、公布CN202411843413.62024-12-14CN119369252A2025-01-28韩理文、付永旭、马旭、刘远航、路新春
47晶圆减薄设备实用新型授权CN202423087736.52024-12-14CN223876747U2026-02-06韩理文、付永旭、马旭、刘远航、路新春
48晶圆抓取装置发明专利实质审查的生效、公布CN202411785661.X2024-12-06CN119447017A2025-02-14张国伟、徐俊成、张美美、王鹏
49晶圆抓取装置发明专利实质审查的生效、公布CN202411785665.82024-12-06CN119447018A2025-02-14张国伟、徐俊成、张美美、王鹏
50晶圆抓取装置实用新型授权CN202423004681.72024-12-06CN223487036U2025-10-28张国伟、徐俊成、张美美、王鹏

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