数据显示，3月31日，华夏中证半导体材料设备主题ETF(562590)获净申购4377.76万元，位居当日股票ETF净流入排名51/1153。最新规模24.77亿元，前一日规模25.32亿元，当日资金净流入额占前一日规模的比例为1.73%。

近5日，华夏中证半导体材料设备主题ETF(562590)遭净赎回872.69万元，位居股票ETF净流出排名第302/1153。近10日，华夏中证半导体材料设备主题ETF(562590)遭净赎回9470.2万元，位居股票ETF净流出排名第123/1153。近20日，华夏中证半导体材料设备主题ETF(562590)获净申购8643.58万元，位居股票ETF净流入排名第140/1153。

华夏中证半导体材料设备主题ETF（562590）成立于2023年10月9日，基金全称为华夏中证半导体材料设备主题交易型开放式指数证券投资基金，基金简称为华夏中证半导体材料设备主题ETF。该基金管理费率每年0.50%，托管费率每年0.10%。华夏中证半导体材料设备主题ETF（562590）跟踪标的指数为半导体材料设备（931743）。

规模方面，截止3月31日，华夏中证半导体材料设备主题ETF（562590）最新份额为14.41亿份，最新规模为24.77亿元。回顾2025年12月31日，华夏中证半导体材料设备主题ETF（562590）份额为4.9亿份，规模为7.91亿元。即该基金今年以来份额增加194.22%，规模增加212.98%。

流动性方面，截止3月31日，华夏中证半导体材料设备主题ETF（562590）近20个交易日累计成交金额24.08亿元，日均成交金额1.2亿元；今年以来，56个交易日，累计成交金额99.38亿元，日均成交金额1.77亿元。

华夏中证半导体材料设备主题ETF（562590）现任基金经理为单宽之。单宽之自2024年6月11日管理（或拟管理）该基金，任职期内收益88.60%。

最新定期报告显示，华夏基金（562590）重仓股包括北方华创、中微公司、拓荆科技、长川科技、沪硅产业、华海清科、中科飞测、南大光电、安集科技、芯源微，持仓占比如下：

跟踪半导体材料设备（931743）的ETF包括国泰中证半导体材料设备主题ETF（159516）、易方达中证半导体材料设备主题ETF（159558）、广发中证半导体材料设备ETF（560780）、华夏中证半导体材料设备主题ETF（562590）、万家中证半导体材料设备主题ETF（159327），规模、流动性、近期资金净申购情况如下：

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