3月29日消息，国家知识产权局信息显示，合肥芯碁微电子装备股份有限公司申请一项名为“基于提前测距的动态追焦光学测量系统、方法及设备”的专利。申请公布号为CN121741698A，申请号为CN202512001839.8，申请公布日期为2026年3月27日，申请日期为2025年12月29日，发明人谢鹍、张润晨、石庆林，专利代理机构北京景闻知识产权代理有限公司，专利代理师王雪兰，分类号G01S7/481、G01S17/08。

专利摘要显示，本发明公开了一种基于提前测距的动态追焦光学测量系统、方法及设备，该系统包括：光源，用于提供光信号；反射镜，用于将光信号反射至待曝光物体的表面，并形成聚焦点；物镜，用于对待曝光物体的表面进行扫描，以对聚焦点进行曝光；物镜对焦调节模块，用于对物镜的焦距进行调节；探测器组件，用于接收光信号经待曝光物体的表面反射后的反射光信号，基于反射光信号得到聚焦点与物镜之间的距离，将距离传输至物镜对焦调节模块；物镜对焦调节模块还用于基于距离对物镜的焦距进行调节，以使物镜的焦距在其达到对聚焦点进行曝光的目标位置前与距离相等。本发明避免了因延迟导致的曝光或视觉检测不同步现象，提升了系统的稳定性和可靠性。

芯碁微装成立于2015年6月30日，于2021年4月1日在上海证券交易所上市，注册地址和办公地址均涉及安徽省合肥市。该公司是国内微纳直写光刻设备领域的领先企业，核心业务为光刻设备及服务，具备技术与全产业链优势。

芯碁微装所属申万行业为机械设备-专用设备-其他专用设备，涉及PCB概念、年度强势、光刻机等概念板块。公司主要从事以微纳直写光刻为技术核心的直接成像设备及直写光刻设备的研发、制造、销售及维保服务，产品功能覆盖多领域光刻环节。

2025年，芯碁微装营业收入达14.08亿元，在行业6家公司中排名第3，行业第一名科达制造为173.89亿元，第二名冀东装备为27.79亿元，行业平均数为39.3亿元，中位数为12.27亿元。主营业务中，PCB系列营收10.8亿元，占比76.69%；泛半导体系列2.33亿元，占比16.58%；租赁及其他8739.3万元，占比6.21%；其他（补充）738.1万元，占比0.52%。净利润方面，2025年为2.9亿元，行业排名第2，行业第一名科达制造为21.67亿元，行业平均数为4.38亿元，中位数为6265.8万元。

合肥芯碁微电子装备股份有限公司近期专利情况如下：

声明：市场有风险，投资需谨慎。本文为AI大模型基于第三方数据库自动发布，不代表Hehson财经观点，任何在本文出现的信息均只作为参考，不构成个人投资建议。如有出入请以实际公告为准。如有疑问，请联系biz@staff.sina.com.cn。