盛美上海申请基板涂覆设备相关专利，基板涂覆设备改善基板涂覆效果_商业

盛美上海申请基板涂覆设备相关专利，基板涂覆设备改善基板涂覆效果

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2026-03-29 09:17:06

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3月29日消息，国家知识产权局信息显示，盛美半导体设备（上海）股份有限公司申请一项名为“基板涂覆设备及涂覆方法”的专利。申请公布号为CN121732363A，申请号为CN202411341745.4，申请公布日期为2026年3月27日，申请日期为2024年9月24日，发明人耿其健、刘畅、王杰、仰庶、张晓燕、王尧、吴雷，专利代理机构上海专利商标事务所有限公司，专利代理师杜娟，分类号B05B16/20、B05B13/02、B05D3/02、B05D1/00、B05B14/00、H10W74/01。

专利摘要显示，本申请公开了一种基板涂覆设备及涂覆方法。基板涂覆设备包括：涂覆腔，涂覆腔内设置有涂覆喷嘴、洗边喷嘴和基板承载装置，基板承载装置用于支撑并带动基板旋转，基板包括封装材料和若干芯片，若干芯片镶嵌于封装材料，涂覆喷嘴用于对基板喷射涂覆液以进行涂覆处理，洗边喷嘴用于对基板喷射洗边药液以进行洗边处理；控制器，与涂覆腔通信连接，控制器被配置为：控制涂覆腔对基板进行涂覆处理和洗边处理，其中，在进行所述涂覆处理和所述洗边处理期间，所述基板始终由所述基板承载装置承载；在所述基板完成涂覆处理和洗边处理后，将所述基板移出所述涂覆腔，进而改善了基板的涂覆效果。

天眼查数据显示，盛美半导体设备（上海）股份有限公司成立日期2005年5月17日，法定代表人HUI WANG，所属行业为专用设备制造业，企业规模为大型，注册资本48016.4789万人民币，实缴资本48016.4789万人民币，注册地址为中国（上海）自由贸易试验区丹桂路999弄5、6、7、8号全幢。盛美半导体设备（上海）股份有限公司共对外投资了16家企业，参与招投标项目175次，财产线索方面有商标信息39条，专利信息690条，拥有行政许可31个。

盛美半导体设备（上海）股份有限公司近期专利情况如下：

序号	专利名称	专利类型	法律状态	申请号	申请日期	公开(公告)号	公开(公告)日期	发明人
1	基片湿法处理装置及基片处理设备	发明专利	实质审查的生效、公布	CN202511696240.4	2025-11-19	CN121149062A	2025-12-16	李亚洲、贾社娜、王俊、林金木、方波、李昱
2	一种传感器校准装置及基板清洗机	发明专利	公布	CN202511565215.2	2025-10-30	CN121540106A	2026-02-17	陈远、赵运翔、何西登
3	基板处理装置	发明专利	实质审查的生效、公布	CN202511376375.2	2025-09-25	CN120878605A	2025-10-31	苏政、贾社娜、邓新平
4	处理液供给机构及涂覆装置	发明专利	实质审查的生效、公布	CN202511292109.1	2025-09-11	CN120790418A	2025-10-17	程成、吴均、赵中旭、徐飞、王坚、李康植
5	供液装置、清洗装置、清洗方法及计算机可读介质	发明专利	授权	CN202511292108.7	2025-09-11	CN120767230B	2026-01-27	苏政、贾社娜、李彬、邓新平
6	排气用防腐组件及炉管设备	发明专利	授权	CN202511100391.9	2025-08-07	CN120591755B	2025-12-12	段航、周冬成
7	单片晶圆干燥设备及干燥方法	发明专利	实质审查的生效、公布	CN202510873904.3	2025-06-27	CN120403215A	2025-08-01	谢翔、张晓燕、胡海波、陶泽魏、李兴、宗源
8	薄膜沉积装置及薄膜沉积方法	发明专利	授权、实质审查的生效、公布	CN202510874680.8	2025-06-27	CN120366747B	2025-09-23	戴明宇、周培垄、李天天、费红财、陈更明、成康、金京俊
9	基片盒存储装置、工作方法及基片处理设备	发明专利	授权、公布	CN202510780743.3	2025-06-12	CN120319704B	2025-10-17	许创威、贾社娜、张大海
10	密封件	外观专利	授权	CN202530280752.7	2025-05-19	CN309744402S	2026-01-23	付延奇、贺斌、杨配贤、崔玉民
11	双级溅液监测系统、方法及计算机可读介质	发明专利	授权、实质审查的生效、公布	CN202510594876.1	2025-05-09	CN120127033B	2025-08-15	谢翔、张晓燕、胡海波、陶泽魏、宗源
12	晶圆卡匣调整装置及晶圆浸泡装置	发明专利	授权、实质审查的生效、公布	CN202510526003.7	2025-04-25	CN120072715B	2025-07-25	王双五、苏飘、朱国辉、宗源、胡海波、张晓燕
13	化学液供应系统、换液方法、基板处理装置和介质	发明专利	授权、实质审查的生效、公布	CN202510432151.2	2025-04-08	CN119934438B	2025-08-08	陶泽魏、胡海波、张晓燕
14	炉管设备	发明专利	授权、实质审查的生效、公布	CN202510312070.9	2025-03-17	CN119824390B	2025-07-11	杨扬、贾社娜、张大海
15	进气管及炉管设备	发明专利	授权、实质审查的生效、公布	CN202510295477.5	2025-03-13	CN119800332B	2025-07-04	蒯蔚、周冬成、蒋攀辉
16	基板处理设备及方法	发明专利	实质审查的生效、实质审查的生效、公布	CN202510114602.8	2025-01-23	CN120143565A	2025-06-13	徐飞、李康植、吴均、杨仁政、程成、王坚
17	晶圆缓冲层边缘的清洗方法和设备	发明专利	授权、实质审查的生效、公布	CN202510066274.9	2025-01-16	CN119480619B	2025-04-25	戴奔、刘畅、仰庶、张晓燕
18	基板处理装置	发明专利	实质审查的生效、公布	CN202411383228.3	2024-09-29	CN120033106A	2025-05-23	王晖、陶晓峰、黄天宇、韩阳、何西登、贾社娜、刘文博、张晓燕、胡海波、刘阳、吴杨
19	用于方形基板的卡盘	发明专利	实质审查的生效、公布	CN202411358048.X	2024-09-26	CN121192044A	2025-12-23	王晖、王坚、吴均、杨宏超、杨小亚、刁建华
20	遮蔽排气环及反应腔结构	发明专利	公布	CN202411356693.8	2024-09-26	CN121737675A	2026-03-27	董智超、张山、陈宇、白晛祐、金京俊、周培垄、王晖
21	晶圆检测装置	发明专利	公布	CN202411352377.3	2024-09-26	CN121740133A	2026-03-27	刘宁、焦欣欣、侯瀚、王俊、吴均、王晖
22	喷淋头校准装置及方法	发明专利	公布	CN202411362969.3	2024-09-26	CN121732471A	2026-03-27	谢翔、张晓燕、胡海波、陶泽魏、宗源、王晖
23	基板对中装置与基板对中方法	发明专利	公布	CN202411362921.2	2024-09-26	CN121752017A	2026-03-27	杨小亚、杨宏超、刁建华、王蔚、贾照伟、王坚、王晖
24	支撑装置及基板退火设备	发明专利	授权	CN202411351739.7	2024-09-25	CN119920747B	2025-11-14	顾昱、王玉玺、杨宏超、王晖、王坚
25	基板涂覆设备及涂覆方法	发明专利	公布	CN202411341745.4	2024-09-24	CN121732363A	2026-03-27	耿其健、刘畅、王杰、仰庶、张晓燕、王尧、吴雷
26	基板承载片、晶舟及炉管设备	发明专利	公布	CN202411339305.5	2024-09-24	CN121752006A	2026-03-27	王晖、杨超繁、贾社娜、张大海、全钟赫、沈周燮、金睿娜、尹炡友
27	晶圆清洗装置及晶圆清洗方法	发明专利	公布	CN202411321721.2	2024-09-20	CN121728996A	2026-03-24	胡韬、张晓燕、胡海波、李兴
28	基板处理方法及基板处理装置	发明专利	公布	CN202411320298.4	2024-09-20	CN121729006A	2026-03-24	周世豪、刘阳、胡海波、张晓燕
29	电镀设备及电镀方法	发明专利	公布	CN202411303916.4	2024-09-18	CN121700484A	2026-03-20	吴勐、陶向宇、杨宏超、贾照伟、王坚、王晖
30	晶圆边缘清洗装置及方法	发明专利	公布	CN202411305262.9	2024-09-18	CN121729005A	2026-03-24	庞博、肖登、初振明、张晓燕、王晖
31	液体稀释装置及液体稀释方法	发明专利	公布	CN202411290600.6	2024-09-13	CN121648771A	2026-03-13	邱殿涛、徐时座、初振明、张晓燕、王晖
32	电镀装置	发明专利	公布	CN202411289409.X	2024-09-13	CN121653800A	2026-03-13	王晖、王坚、贾照伟、杨宏超、刁建华、肖炎
33	基板处理装置	发明专利	公布	CN202411290587.4	2024-09-13	CN121693037A	2026-03-17	赵利萍、徐园园、刘文博、王文军、张晓燕
34	基板升降机构及基板处理装置	发明专利	公布	CN202411282607.3	2024-09-12	CN121693034A	2026-03-17	李亚洲、王俊、贾社娜、王晖
35	加热机构的工艺参数获取装置和方法	发明专利	公布	CN202411282612.4	2024-09-12	CN121693035A	2026-03-17	徐磊、张晓燕、王文军
36	加热机构及基板处理装置	发明专利	公布	CN202411281509.8	2024-09-12	CN121693032A	2026-03-17	刘鼎新、樊昌昊、何西登、朱星
37	基片干燥方法和装置	发明专利	公布	CN202411281496.4	2024-09-12	CN121693031A	2026-03-17	徐园园、赵利萍
38	基板干燥装置及基板干燥方法	发明专利	公布	CN202411239194.0	2024-09-04	CN121665951A	2026-03-13	陶泽魏、胡海波、刘阳、张晓燕
39	晶圆检测方法和装置	发明专利	公布	CN202411217130.0	2024-08-30	CN121632974A	2026-03-10	陈浩天、任正博、王晖、石轶、金一诺
40	清洗方法及清洗设备	发明专利	公布	CN202411217003.0	2024-08-30	CN121649163A	2026-03-13	贾照伟、陆陈华、麻森朋、杨宏超、王坚、王晖
41	密封性检测装置及其使用方法	发明专利	公布	CN202411206282.0	2024-08-29	CN121632482A	2026-03-10	杨宏超、高大恩、商祥志
42	药液循环系统及湿法设备	发明专利	公布	CN202411204289.9	2024-08-29	CN121665944A	2026-03-13	王晖、吴雷、吴均、陈泽辉、巫鳌飞、李春凯
43	基板处理装置	发明专利	公布	CN202411204300.1	2024-08-29	CN121665945A	2026-03-13	金银花、王文军、张晓燕、曾娟、吴旭东
44	晶舟及炉管设备	发明专利	公布	CN202411206276.5	2024-08-29	CN121665989A	2026-03-13	邱浩、周冬成
45	清洗装置及电镀装置	发明专利	公布	CN202411140793.7	2024-08-19	CN121593146A	2026-03-03	杨宏超、花宇、王坚、王晖
46	芯片堆叠结构处理方法和装置	发明专利	公布	CN202411141948.9	2024-08-19	CN121620283A	2026-03-06	吴勐、贾照伟、王坚、王晖
47	一种处理液供给装置	发明专利	公布	CN202411128720.6	2024-08-15	CN121620116A	2026-03-06	仲召明、赵前、刘鑫、陈中强
48	管路拆装工装	发明专利	授权	CN202411028309.1	2024-07-29	CN119927842B	2025-12-19	杨超繁、贾社娜、张大海
49	炉管设备	发明专利	公布	CN202411027169.6	2024-07-29	CN121442982A	2026-01-30	刘满成、刘权、孙旭海
50	排液装置及基板处理设备	发明专利	公布	CN202411028300.0	2024-07-29	CN121432816A	2026-01-30	徐飞、吴均、隋涛、程成、王晖、李康植

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