胜科纳米申请晶圆储存装置相关专利，分割腔室通惰性气，实现晶圆超高安全储存
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2026-02-28 09:39:05
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2月28日消息，国家知识产权局信息显示，胜科纳米（苏州）股份有限公司申请一项名为“一种半导体集成电路晶圆的储存装置”的专利。申请公布号为CN121573327A，申请号为CN202511718249.0，申请公布日期为2026年2月27日，申请日期为2025年11月21日，发明人华佑南、王传增、陈隆基、陈超、李晓旻，专利代理机构北京品源专利代理有限公司，专利代理师刘逸卿，分类号B65D81/20、B65D25/02、B65D53/00。
专利摘要显示，本发明提供一种半导体集成电路晶圆的储存装置，所述储存装置包括箱体；所述箱体上设置有惰性气体总进气口；所述箱体被分割成若干个具有独立密闭空间的腔室，所述腔室由具有开口的腔室壁和可封闭所述开口的柜门组成；所述腔室的底部、侧壁和顶部连通形成惰性气体进气管道，且所述腔室的顶部与底部均设置有若干个惰性气体分进气口，以在所述腔室形成静压气帘；所述惰性气体包括氩气、氪气或氙气中的任意一种。通过将箱体分割成若干个具有独立密闭空间的小腔室，每个腔室的顶部与底部均设置有若干个惰性气体分进气口，且惰性气体采用氩气、氪气或氙气，可杜绝晶圆储存期间的任何化学反应，实现超高安全级别的晶圆储存，满足最严苛的环境要求。
天眼查数据显示，胜科纳米（苏州）股份有限公司成立日期2012年8月17日，法定代表人李晓旻，所属行业为专业技术服务业，企业规模为大型，注册资本40331.1486万人民币，实缴资本36298.0337万人民币，注册地址为苏州工业园区朝前路9号。胜科纳米（苏州）股份有限公司共对外投资了6家企业，参与招投标项目44次，财产线索方面有商标信息66条，专利信息107条，拥有行政许可25个。
胜科纳米（苏州）股份有限公司近期专利情况如下：
| 序号 | 专利名称 | 专利类型 | 法律状态 | 申请号 | 申请日期 | 公开(公告)号 | 公开(公告)日期 | 发明人 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 1 | 一种半导体集成电路晶圆的储存装置 | 发明专利 | 公布 | CN202511718249.0 | 2025-11-21 | CN121573327A | 2026-02-27 | 华佑南、王传增、陈隆基、陈超、李晓旻 |
| 2 | 一种表面非平整材料的DSIMS样品制备方法 | 发明专利 | 授权 | CN202511248062.9 | 2025-09-03 | CN120741106B | 2025-11-11 | 廖金枝、朱雷、李雯、张兮、华佑南、李晓旻 |
| 3 | 半导体微观结构尺寸测量方法及装置 | 发明专利 | 授权、公布 | CN202511134504.7 | 2025-08-14 | CN120726112B | 2025-11-04 | 朱文飞、张俊林、王玉柱、李晓旻 |
| 4 | 一种服务任务生成方法、装置、电子设备及存储介质 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202511131558.8 | 2025-08-13 | CN121010387A | 2025-11-25 | 吕尤、张俊林、王玉柱、李晓旻 |
| 5 | 一种薄膜的结合力检测方法、装置、设备及存储介质 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202511022747.1 | 2025-07-24 | CN120820481A | 2025-10-21 | 张兮、林子霖、廖金枝、刘兵海、李晓旻 |
| 6 | 一种芯片截面结构研磨中精确定位的无损方法 | 发明专利 | 授权、实质审查的生效、公布 | CN202510999351.6 | 2025-07-21 | CN120480677B | 2025-09-16 | 朱雷、王岩松、梁伟德、李晓旻 |
| 7 | 一种金焊盘的互联质量检测方法、装置、设备及存储介质 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202510993872.0 | 2025-07-18 | CN120685937A | 2025-09-23 | 张兮、潘京方、朱雷、廖金枝、刘兵海、李晓旻 |
| 8 | 一种用于刻蚀深孔内微量元素分析的制样及检测方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202510967585.2 | 2025-07-14 | CN120651620A | 2025-09-16 | 赵弇斐、许海磊、朱雷、王志愿、袁晖鸿、黄晋华、孙杰、李晓旻 |
| 9 | 一种TEM样品及其制备方法和应用 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202510673237.4 | 2025-05-23 | CN120538900A | 2025-08-26 | 陈晓彬、廖晓强、刘兵海、施志洋、李京军、李晓旻 |
| 10 | 一种颗粒物的能谱分析方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202510392430.0 | 2025-03-31 | CN120009324A | 2025-05-16 | 施志洋、李唯杰、李京军、廖晓强、李晓旻 |
| 11 | 一种缺陷检测方法、装置、设备及存储介质 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202510217141.7 | 2025-02-26 | CN120044270A | 2025-05-27 | 朱雷、徐可、陈永鸿、谢家伦、李晓旻 |
| 12 | 一种半导体芯片样品截面的定位研磨系统及方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202510116707.7 | 2025-01-24 | CN119734193A | 2025-04-01 | 朱雷、王岩松、梁伟德、李晓旻 |
| 13 | X射线无损分析装置 | 实用新型 | 授权 | CN202422226967.3 | 2024-09-11 | CN223065205U | 2025-07-04 | 陈超、陈隆基、华佑南、李晓旻 |
| 14 | 一种芯片缺陷区域确定方法、装置、设备及存储介质 | 发明专利 | 授权、公布 | CN202411245302.5 | 2024-09-06 | CN118762014B | 2024-12-03 | 刘霖、朱文飞、王玉柱、谢紫敏、张兮、李晓旻 |
| 15 | 芯片研磨清洗装置 | 实用新型 | 授权 | CN202422017447.1 | 2024-08-20 | CN223236003U | 2025-08-19 | 吴梅花、陈超、陈隆基、华佑南、李晓旻 |
| 16 | 能谱成像方法、装置、设备和存储介质 | 发明专利 | 授权、实质审查的生效、公布 | CN202410726079.X | 2024-06-06 | CN118298425B | 2024-10-11 | 朱文飞、刘兵海、王玉柱、华佑南、李晓旻 |
| 17 | 一种SCM测试样品及其制备方法和应用 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202410512763.8 | 2024-04-26 | CN118425564A | 2024-08-02 | 朱雷、许峻达、王岩松、梁伟德、徐可、赵弇斐、李晓旻 |
| 18 | 一种片材夹具、片材夹持方法以及热机械分析仪 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202410469349.3 | 2024-04-18 | CN118357868A | 2024-07-19 | 杨慧、杨凌、刘凌霄、乔明胜、李晓旻 |
| 19 | 一种电路板中的盲孔失效分析方法 | 发明专利 | 授权、实质审查的生效、公布 | CN202410444853.8 | 2024-04-15 | CN118032863B | 2024-06-14 | 谢紫敏、杨春梅、卫素素、仲跃、张兮、李晓旻 |
| 20 | 一种微型麦克风多层载板的短路失效分析方法 | 发明专利 | 授权、实质审查的生效、公布 | CN202410447658.0 | 2024-04-15 | CN118032857B | 2024-06-14 | 谢紫敏、仲跃、王丽雪、李晓旻 |
| 21 | 一种半导体芯片研磨用的自动点珠装置 | 实用新型 | 授权 | CN202420709028.1 | 2024-04-08 | CN222038115U | 2024-11-22 | 罗晓丹、陈超、李晓旻 |
| 22 | 一种用于失效分析研磨制样的半导体样品及其制备方法和用途 | 发明专利 | 授权、公布 | CN202410416105.9 | 2024-04-08 | CN118294235B | 2025-01-28 | 罗晓丹、崔康伟、陈超、华佑南、李晓旻 |
| 23 | 一种基于硅不同掺杂类型膜层刻蚀残留的检测方法 | 发明专利 | 授权、公布 | CN202410400790.6 | 2024-04-03 | CN118280863B | 2025-01-28 | 赵弇斐、朱雷、李晓旻 |
| 24 | FIB预处理制样盒 | 实用新型 | 授权 | CN202420655723.4 | 2024-04-01 | CN222232146U | 2024-12-24 | 施志洋、廖晓强、李晓旻 |
| 25 | 一种线切割装置 | 实用新型 | 授权 | CN202420505106.6 | 2024-03-15 | CN221911337U | 2024-10-29 | 李京军、施志洋、彭城、李晓旻 |
| 26 | 一种晶圆中心定位装置、晶圆检测设备及中心定位方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202311822663.7 | 2023-12-27 | CN117637571A | 2024-03-01 | 赵弇斐、朱雷、李晓旻 |
| 27 | 一种晶圆中心定位装置及晶圆检测设备 | 实用新型 | 授权 | CN202323589140.0 | 2023-12-27 | CN221486466U | 2024-08-06 | 赵弇斐、朱雷、李晓旻 |
| 28 | 一种封装芯片的三维截面样品及其制备方法 | 发明专利 | 授权、公布 | CN202311431857.4 | 2023-10-31 | CN117476490B | 2025-08-19 | 刘媛媛、张林华、华佑南、施志洋、孙杰、陈超、罗晓丹、李晓旻 |
| 29 | 一种光纤异物检测装置及其制备方法 | 发明专利 | 授权、实质审查的生效、公布 | CN202311089085.0 | 2023-08-28 | CN116773577B | 2023-10-31 | 朱雷、张玲玲、赵弇斐、李晓旻 |
| 30 | 一种热电子器件 | 实用新型 | 授权 | CN202321660558.3 | 2023-06-28 | CN220173717U | 2023-12-12 | 朱雷、梁伟德、郭晋豪、迪内史瓦兰·奈度·古纳兰、阿图·拉格·阿南德、张兮、李晓旻 |
| 31 | 一种用于半导体芯片透射电镜样品分析的样品架 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202310755692.X | 2023-06-26 | CN116559496A | 2023-08-08 | 罗晓丹、朱超、曹后平、华佑南、李晓旻 |
| 32 | 一种用于半导体芯片透射电镜样品分析的样品架 | 实用新型 | 授权 | CN202321631986.3 | 2023-06-26 | CN219935883U | 2023-10-31 | 罗晓丹、朱超、曹后平、华佑南、李晓旻 |
| 33 | 一种3DNADA闪存垂直通道的超薄电镜样品及其制样方法 | 发明专利 | 授权、实质审查的生效、公布 | CN202310381406.8 | 2023-04-11 | CN116337903B | 2023-12-22 | 黄萍、董磊磊、黄晋华、郑海鹏、华佑南、李晓旻 |
| 34 | 一种高阶芯片的失效分析方法 | 发明专利 | 授权、实质审查的生效、公布 | CN202310339554.3 | 2023-03-31 | CN116298810B | 2023-11-21 | 张林华、刘瑶、侯增、华佑南、李晓旻 |
| 35 | 一种平面透射电镜样品的制备方法及平面透射电镜样品 | 发明专利 | 授权、实质审查的生效、公布 | CN202310339799.6 | 2023-03-31 | CN116242683B | 2024-06-11 | 李金磊、李晓敏、金灵芝、徐聪、黄晋华、华佑南、李晓旻 |
| 36 | 一种超薄悬空膜透射电镜样品的制备方法 | 发明专利 | 授权、实质审查的生效、公布 | CN202310336556.7 | 2023-03-31 | CN116380582B | 2024-09-20 | 李金磊、李晓敏、缪睿、黄晋华、郑海鹏、华佑南、李晓旻 |
| 37 | 一种芯片检测及失效分析过程中的剥层方法 | 发明专利 | 发明专利申请公布后的驳回、实质审查的生效、公布 | CN202310328809.6 | 2023-03-30 | CN116337910A | 2023-06-27 | 刘瑶、赵一成、张林华、华佑南、李晓旻 |
| 38 | 一种填胶装置 | 实用新型 | 授权 | CN202320664191.6 | 2023-03-30 | CN219291870U | 2023-07-04 | 刘兵海、张兮、华佑南、李晓旻 |
| 39 | 一种填胶装置 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202310326784.6 | 2023-03-30 | CN116371676A | 2023-07-04 | 刘兵海、张兮、华佑南、李晓旻 |
| 40 | 一种测试盘及芯片失效分析测试的方法 | 发明专利 | 授权、实质审查的生效、公布 | CN202310328968.6 | 2023-03-30 | CN116338262B | 2023-12-12 | 居赛、穆燕、罗晓丹、华佑南、李晓旻 |
| 41 | 一种夹具及X射线成像系统 | 实用新型 | 授权 | CN202320643895.5 | 2023-03-28 | CN219475447U | 2023-08-04 | 张林华、施志洋、顾秋燕、华佑南、李晓旻 |
| 42 | 一种用于有机体器件内部异物分析的制样及检测方法 | 发明专利 | 授权、实质审查的生效、公布 | CN202310305846.5 | 2023-03-27 | CN116577300B | 2024-08-20 | 朱雷、潘京方、陈永鸿、刘兵海、梁伟德、华佑南、李晓旻 |
| 43 | 一种采用红外光谱分析表面分散污染物的方法 | 发明专利 | 授权、实质审查的生效、公布 | CN202310297986.2 | 2023-03-24 | CN116223427B | 2023-12-19 | 潘京方、朱雷、华佑南、李晓旻 |
| 44 | 一种芯片去层方法 | 发明专利 | 授权、实质审查的生效、公布 | CN202310297123.5 | 2023-03-24 | CN116230528B | 2024-01-09 | 赵一成、邓龙、戴最初、宋健、李晓旻 |
| 45 | 一种待XPS能谱分析的样品和分析定位方法 | 发明专利 | 授权、实质审查的生效、公布 | CN202310290092.0 | 2023-03-23 | CN116297598B | 2024-06-25 | 朱雷、赵弇斐、胡团桥、刘瑶、黄凡、李晓旻 |
| 46 | 一种具有梳齿结构芯片的梳齿层去除方法 | 发明专利 | 授权、实质审查的生效、公布 | CN202310063255.1 | 2023-01-18 | CN115849298B | 2023-05-09 | 赵一成、徐万里、赵雪冰、李晓旻 |
| 47 | 一种缺陷分析方法、装置、电子设备及存储介质 | 发明专利 | 授权、实质审查的生效、公布 | CN202211739371.2 | 2022-12-30 | CN115908402B | 2023-10-03 | 刘媛媛、王玉柱、施志洋、华佑南、罗晓丹、李晓旻 |
| 48 | 一种缺陷定位方法、装置、电子设备及存储介质 | 发明专利 | 授权、实质审查的生效、公布 | CN202211719253.5 | 2022-12-30 | CN116013800B | 2024-02-27 | 许仕轩、侯增、张沛、罗晓丹、华佑南、李晓旻 |
| 49 | 一种半导体芯片样品剖面的研磨制样方法 | 发明专利 | 授权、实质审查的生效、公布 | CN202211691068.X | 2022-12-27 | CN115808341B | 2024-01-26 | 崔康伟、宋健、孙杰、华佑南、张兮、李晓旻 |
| 50 | 一种芯片开裂的失效根因溯源的分析方法及设备 | 发明专利 | 授权、实质审查的生效、公布 | CN202211462990.1 | 2022-11-22 | CN115656331B | 2023-03-14 | 张兮、梁伟德、西蒂拉西娜·尼拉弗、萧凯翔、廖金枝、华佑南、李晓旻 |
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